公开(公告)号：US4605194A

公开(公告)日：1986-08-12

申请号：US505533

申请日：1983-06-17

申请人： Gerd Binnig ,  Christoph Gerber ,  Heinrich Rohrer ,  Edmund Weibel

发明人： Gerd Binnig ,  Christoph Gerber ,  Heinrich Rohrer ,  Edmund Weibel

IPC分类号： F16F15/02 ,  F16F7/10 ,  F16F15/04 ,  G01Q30/18 ,  F16M13/00

CPC分类号： G01Q30/18 ,  B82Y35/00 ,  F16F15/046

摘要： The vibration filter comprises an inner ring (27) on which vibration-sensitive equipment may be installed, the ring (27) being suspended from a plurality of springs (24, 25, 26) elastically supported by posts (18, 19, 20) in turn mounted on an outer ring (1) which is spring-suspended the same as the inner ring (27) from a rigid bench (8). The springs (12, 13, 14; 24, 25, 26) and other elastic members (9, 10, 11; 15, 16, 17; 21, 22, 23; 28, 29, 30) have differing resonant frequencies.Between the bench (8) and the outer ring (1), and between the outer and inner rings (1, 27) there may be provided eddy current brakes consisting of strong permanent magnets (46, 48) arranged opposite individual copper or aluminum blocks (5, 47).

摘要翻译： 振动过滤器包括内环（27），振动敏感设备可以安装在其上，环（27）悬挂在由柱（18,19,20）弹性支撑的多个弹簧（24,25,26）中， 又安装在从刚性工作台（8）弹簧悬挂与内圈（27）相同的外圈（1）上。 弹簧（12,13,14; 24,25,26）和其它弹性构件（9,10,11; 15,16,17; 21,22,23; 28,29,30）具有不同的谐振频率。 在工作台（8）和外圈（1）之间以及在外圈和内圈（1,27）之间，可以设置涡流制动器，其由相对于单独的铜或铝块排列的强永磁体（46,48）组成 （5,47）。

公开(公告)号：US4422002A

公开(公告)日：1983-12-20

申请号：US406653

申请日：1982-08-09

申请人： Gerd Binnig ,  Hermann Nievergelt ,  Heinrich Rohrer ,  Edmund Weibel

发明人： Gerd Binnig ,  Hermann Nievergelt ,  Heinrich Rohrer ,  Edmund Weibel

IPC分类号： H01J37/20 ,  G01Q10/04 ,  G12B1/00 ,  H01L21/68 ,  H01L41/09 ,  H02N2/12 ,  H01L41/08

CPC分类号： G01Q10/04 ,  B82Y35/00 ,  G12B1/00 ,  H02N2/0095 ,  H02N2/023 ,  H02N2/101

摘要： The travelling support (1) comprises a piezo-electric plate (2) resting on three legs (6) whose bottom surface is insulated from the bench (8) on which the support is to travel, by a dielectric (7). The piezo-electric plate (2) can be caused to contract by means of an actuating voltage applied via sliders (9, 10) to top and bottom electrodes on the plate (2). By applying a voltage to the legs (6), these may be clamped selectively by electrostatic forces effective across the dielectric (7). Appropriate control of the actuating and clamping voltages causes the support (1) to either move in a linear or rotary fashion. The displacements the support can perform per step are in the nanometer range.

摘要翻译： 行进支撑件（1）包括一个压电板（2），其位于三个腿部（6）上，底板表面通过电介质（7）与支架所要行进的工作台（8）绝缘。 压电板（2）可以通过通过滑块（9,10）施加到板（2）上的顶部和底部电极的致动电压而收缩。 通过向腿部（6）施加电压，可以通过在电介质（7）上有效的静电力选择性地夹持这些电压。 对致动和钳位电压的适当控制导致支撑件（1）以线性或旋转方式移动。 支撑件可以在每个步骤中执行的位移在纳米范围内。

公开(公告)号：US4539089A

公开(公告)日：1985-09-03

申请号：US626177

申请日：1984-06-29

申请人： Gerd K. Binnig ,  Christoph E. Gerber ,  Heinrich Rohrer ,  Edmund Weibel

发明人： Gerd K. Binnig ,  Christoph E. Gerber ,  Heinrich Rohrer ,  Edmund Weibel

IPC分类号： C23C14/22 ,  B82B3/00 ,  C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  C23C26/00 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  H01J37/317 ,  H01L21/203 ,  H01L21/285 ,  C23C15/00

CPC分类号： B82B3/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C23C14/04 ,  C23C14/048 ,  C23C14/24 ,  H01J37/3178 ,  Y10S430/143

摘要： This method involves the deposition of free metal atoms (4) from the apex (5) of a pointed tip (1) supported at a distance of 10 to 20 nm from a substrate (2). The atoms (4) are being field-desorbed under the influence of a strong electric field existing between the tip (1) and the substrate (2). With the tip (1) being moved across the substrate (2), a narrow trace (6) of metal atoms will be deposited on the substrate.

摘要翻译： 该方法涉及从基板（2）以10至20nm的距离支撑的尖端（1）的顶点（5）沉积游离金属原子（4）。 原子（4）在尖端（1）和衬底（2）之间存在的强电场的影响下被场解吸。 当尖端（1）移动穿过衬底（2）时，金属原子的窄轨迹（6）将沉积在衬底上。