公开(公告)号：US07538273B2

公开(公告)日：2009-05-26

申请号：US11500495

申请日：2006-08-08

申请人： Hans Butler ,  Martinus Van Duijnhoven ,  Johan Hendrik Geerke ,  Joost De Pee ,  Cornelius Adrianus Lambertus De Hoon

发明人： Hans Butler ,  Martinus Van Duijnhoven ,  Johan Hendrik Geerke ,  Joost De Pee ,  Cornelius Adrianus Lambertus De Hoon

IPC分类号： H02G15/08

CPC分类号： G03F7/709 ,  G03F7/70691 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70991

摘要： A cable connection between a first object and a second object includes a cable bundle of one or more cables having a certain length. One end of the cable bundle is fixed to the first object and another end of the bundle is fixed to the second object. A cable bundle holder configured to hold the cable bundle at a certain location along the length of the cable bundle, and a control system configured to control the position of the cable bundle holder with respect to the second object are presented. A control system for cable connection, and a method of reducing the transfer of vibrations from a first object to a second object via a cable connection are also presented.

摘要翻译： 第一物体和第二物体之间的电缆连接包括具有一定长度的一根或多根电缆的电缆束。 电缆束的一端固定在第一物体上，束束的另一端固定在第二物体上。 电缆束保持器被配置为沿着电缆束的长度将电缆束保持在特定位置，并且呈现配置为控制电缆束保持器相对于第二对象的位置的控制系统。 还提出了用于电缆连接的控制系统以及通过电缆连接减少振动从第一物体传递到第二物体的方法。

公开(公告)号：US08743344B2

公开(公告)日：2014-06-03

申请号：US12470773

申请日：2009-05-22

申请人： Hans Butler ,  Martinus Van Duijnhoven ,  Johan Hendrik Geerke ,  Joost De Pee ,  Cornelius Adrianus Lambertus De Hoon

发明人： Hans Butler ,  Martinus Van Duijnhoven ,  Johan Hendrik Geerke ,  Joost De Pee ,  Cornelius Adrianus Lambertus De Hoon

IPC分类号： G03B27/32

CPC分类号： G03F7/709 ,  G03F7/70691 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70991

摘要： A cable connection between a first object and a second object includes a cable bundle of one or more cables having a certain length. One end of the cable bundle is fixed to the first object and another end of the bundle is fixed to the second object. A cable bundle holder configured to hold the cable bundle at a certain location along the length of the cable bundle, and a control system configured to control the position of the cable bundle holder with respect to the second object are presented. A control system for cable connection, and a method of reducing the transfer of vibrations from a first object to a second object via a cable connection are presented.

摘要翻译： 第一物体和第二物体之间的电缆连接包括具有一定长度的一根或多根电缆的电缆束。 电缆束的一端固定在第一物体上，另一端固定在第二物体上。 电缆束保持器被配置为沿着电缆束的长度将电缆束保持在特定位置，并且呈现配置为控制电缆束保持器相对于第二对象的位置的控制系统。 提出了一种用于电缆连接的控制系统，以及通过电缆连接减少振动从第一物体传递到第二物体的方法。

公开(公告)号：US20080035372A1

公开(公告)日：2008-02-14

申请号：US11500495

申请日：2006-08-08

申请人： Hans Butler ,  Martinus Van Duijnhoven ,  Johan Hendrik Geerke ,  Joost De Pee ,  Cornelius Adrianus Lambertus De Hoon

发明人： Hans Butler ,  Martinus Van Duijnhoven ,  Johan Hendrik Geerke ,  Joost De Pee ,  Cornelius Adrianus Lambertus De Hoon

IPC分类号： H01R4/00

CPC分类号： G03F7/709 ,  G03F7/70691 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70991

摘要： A cable connection between a first object and a second object includes a cable bundle of one or more cables having a certain length, one end of the bundle fixed to the first object and another end of the bundle fixed to the second object, a cable bundle holder configured to hold the bundle at a location along the length of the bundle, and a control system configured to control a position of the cable bundle holder with respect to the second object. A control system for a cable connection, and a method of reducing the transfer of vibrations from a first object to a second object via a cable connection are also presented.

摘要翻译： 第一物体和第二物体之间的电缆连接包括具有一定长度的一根或多根电缆的电缆束，束的一端固定到第一物体，另一端固定在第二物体上，电缆束 保持器构造成将束保持在沿着束的长度的位置处;以及控制系统，被配置为控制电缆束保持器相对于第二物体的位置。 还提出了一种用于电缆连接的控制系统，以及通过电缆连接减少振动从第一物体传递到第二物体的方法。

公开(公告)号：US20100020525A1

公开(公告)日：2010-01-28

申请号：US12470773

申请日：2009-05-22

申请人： Hans BUTLER ,  Martinus Van Duijnhoven ,  Johan Hendrik Geerke ,  Joost De Pee ,  Cornelius Adrianus Lambertus De Hoon

发明人： Hans BUTLER ,  Martinus Van Duijnhoven ,  Johan Hendrik Geerke ,  Joost De Pee ,  Cornelius Adrianus Lambertus De Hoon

IPC分类号： H02B1/20 ,  G03B27/00

CPC分类号： G03F7/709 ,  G03F7/70691 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70991

摘要： A cable connection between a first object and a second object includes a cable bundle of one or more cables having a certain length. One end of the cable bundle is fixed to the first object and another end of the bundle is fixed to the second object. A cable bundle holder configured to hold the cable bundle at a certain location along the length of the cable bundle, and a control system configured to control the position of the cable bundle holder with respect to the second object are presented. A control system for cable connection, and a method of reducing the transfer of vibrations from a first object to a second object via a cable connection are presented.

摘要翻译： 第一物体和第二物体之间的电缆连接包括具有一定长度的一根或多根电缆的电缆束。 电缆束的一端固定在第一物体上，另一端固定在第二物体上。 电缆束保持器被配置为沿着电缆束的长度将电缆束保持在特定位置，并且呈现配置为控制电缆束保持器相对于第二对象的位置的控制系统。 提出了一种用于电缆连接的控制系统，以及通过电缆连接减少振动从第一物体传递到第二物体的方法。

公开(公告)号：US20090180092A1

公开(公告)日：2009-07-16

申请号：US12267809

申请日：2008-11-10

申请人： Hans BUTLER ,  Marc Wilhelmus Maria Van Der Wijst ,  Joost De Pee ,  Cornelius Adrianus Lambertus De Hoon ,  Stijn Boschker

发明人： Hans BUTLER ,  Marc Wilhelmus Maria Van Der Wijst ,  Joost De Pee ,  Cornelius Adrianus Lambertus De Hoon ,  Stijn Boschker

IPC分类号： G03B27/52 ,  G03B27/54

CPC分类号： G03F7/709 ,  F16F15/002

摘要： An active damping system to dampen a vibration of at least a part of the structure, including a device to determine a position quantity of the structure and an actuator to exert a force on the structure in dependency of the determined position quantity, wherein the device is a calculation device configured to calculate the position quantity of the structure on the basis of actuator signals.

摘要翻译： 一种用于抑制结构的至少一部分的振动的主动阻尼系统，包括确定结构的位置量的装置和致动器，以依据确定的位置量对结构施加力，其中该装置是 计算装置，被配置为基于致动器信号计算结构的位置量。

公开(公告)号：US08059259B2

公开(公告)日：2011-11-15

申请号：US12268622

申请日：2008-11-11

申请人： Hans Butler ,  Marc Wilhelmus Maria Van Der Wijst ,  Joost De Pee ,  Cornelius Adrianus Lambertus De Hoon ,  Stijn Boschker

发明人： Hans Butler ,  Marc Wilhelmus Maria Van Der Wijst ,  Joost De Pee ,  Cornelius Adrianus Lambertus De Hoon ,  Stijn Boschker

IPC分类号： G03B27/52

CPC分类号： G03F7/709 ,  F16F7/1005 ,  F16F15/02

摘要： An active damping system assembly is configured to dampen a vibration of at least part of a structure. The assembly includes a plurality of active dampers each including a sensor configured to measure a position quantity of an interface mass mounted on the structure; and an actuator configured to exert a force on the interface mass in dependency of a signal provided by the sensor, wherein each of the plurality of active damping systems is connected to the interface mass. The structure may be a projection system of a lithographic apparatus.

摘要翻译： 主动阻尼系统组件被配置为抑制结构的至少一部分的振动。 组件包括多个有源阻尼器，每个活动阻尼器包括被配置为测量安装在结构上的接口质量的位置量的传感器; 以及致动器，其被配置为根据由传感器提供的信号对接口质量施加力，其中多个主动阻尼系统中的每一个连接到界面质量块。 该结构可以是光刻设备的投影系统。

公开(公告)号：US20090207393A1

公开(公告)日：2009-08-20

申请号：US12268622

申请日：2008-11-11

申请人： Hans Butler ,  Marc Wilhelmus Maria Van Der Wijst ,  Joost De Pee ,  Cornelius Adrianus Lambertus De Hoon ,  Stijn Boschker

发明人： Hans Butler ,  Marc Wilhelmus Maria Van Der Wijst ,  Joost De Pee ,  Cornelius Adrianus Lambertus De Hoon ,  Stijn Boschker

IPC分类号： G03B27/42

CPC分类号： G03F7/709 ,  F16F7/1005 ,  F16F15/02

摘要： An active damping system assembly is configured to dampen a vibration of at least part of a structure. The assembly includes a plurality of active dampers each including a sensor configured to measure a position quantity of an interface mass mounted on the structure; and an actuator configured to exert a force on the interface mass in dependency of a signal provided by the sensor, wherein each of the plurality of active damping systems is connected to the interface mass. The structure may be a projection system of a lithographic apparatus.

摘要翻译： 主动阻尼系统组件被配置为抑制结构的至少一部分的振动。 组件包括多个有源阻尼器，每个活动阻尼器包括被配置为测量安装在结构上的接口质量的位置量的传感器; 以及致动器，其被配置为根据由传感器提供的信号对接口质量施加力，其中多个主动阻尼系统中的每一个连接到界面质量块。 该结构可以是光刻设备的投影系统。

公开(公告)号：US20090122284A1

公开(公告)日：2009-05-14

申请号：US12249399

申请日：2008-10-10

申请人： Hans Butler ,  Erik Roelof Loopstra ,  Marc Wilhelmus Maria Van Der Wijst ,  Joost De Pee ,  Cornelius Adrianus Lambertus De Hoon ,  Stijn Boschker

发明人： Hans Butler ,  Erik Roelof Loopstra ,  Marc Wilhelmus Maria Van Der Wijst ,  Joost De Pee ,  Cornelius Adrianus Lambertus De Hoon ,  Stijn Boschker

IPC分类号： G03B27/42 ,  F16F7/10

CPC分类号： G03F7/709 ,  G03F7/70883

摘要： A lithographic apparatus includes a projection system to project a patterned radiation beam onto a substrate, and a damping system to dampen a vibration of at least part of the projection system, the damping system including an interface damping mass and an active damping subsystem to dampen a vibration of at least part of the interface damping mass, the interface damping mass connected to the projection system, and the active damping subsystem connected to the interface damping mass, the active damping subsystem including a sensor to measure a position quantity of the interface damping mass and an actuator to exert a force on the interface damping mass based on a signal provided by the sensor. The damping system further includes an interface damping device connected to the interface damping mass and configured to damp a movement of the interface damping mass at an eigenfrequency of the interface damping mass.

摘要翻译： 光刻设备包括将图案化的辐射束投影到衬底上的投影系统和用于抑制至少部分投影系统的振动的阻尼系统，所述阻尼系统包括界面阻尼块和主动阻尼子系统，以阻尼 界面阻尼块的至少一部分的振动，连接到投影系统的界面阻尼质量以及连接到界面阻尼块的主动阻尼子系统，主动阻尼子系统包括测量接口阻尼块的位置量的传感器 以及致动器，其基于由传感器提供的信号对接口阻尼质量施加力。 阻尼系统还包括连接到界面阻尼块的接口阻尼装置，并且被配置为在接口阻尼块的本征频率处阻尼接口阻尼块的运动。

公开(公告)号：US08245824B2

公开(公告)日：2012-08-21

申请号：US12267809

申请日：2008-11-10

申请人： Hans Butler ,  Marc Wilhelmus Maria Van Der Wijst ,  Joost De Pee ,  Cornelius Adrianus Lambertus De Hoon ,  Stijn Boschker

发明人： Hans Butler ,  Marc Wilhelmus Maria Van Der Wijst ,  Joost De Pee ,  Cornelius Adrianus Lambertus De Hoon ,  Stijn Boschker

IPC分类号： F16F7/10 ,  G03B27/42

CPC分类号： G03F7/709 ,  F16F15/002

摘要： An active damping system to dampen a vibration of at least a part of the structure, including a device to determine a position quantity of the structure and an actuator to exert a force on the structure in dependency of the determined position quantity, wherein the device is a calculation device configured to calculate the position quantity of the structure on the basis of actuator signals.

摘要翻译： 一种用于抑制结构的至少一部分的振动的主动阻尼系统，包括确定结构的位置量的装置和致动器，以依据确定的位置量对结构施加力，其中该装置是 计算装置，被配置为基于致动器信号计算结构的位置量。

公开(公告)号：US08164737B2

公开(公告)日：2012-04-24

申请号：US12249399

申请日：2008-10-10

申请人： Hans Butler ,  Erik Roelof Loopstra ,  Marc Wilhelmus Maria Van Der Wijst ,  Joost De Pee ,  Cornelius Adrianus Lambertus De Hoon ,  Stijn Boschker

发明人： Hans Butler ,  Erik Roelof Loopstra ,  Marc Wilhelmus Maria Van Der Wijst ,  Joost De Pee ,  Cornelius Adrianus Lambertus De Hoon ,  Stijn Boschker

IPC分类号： F16F5/00 ,  F16F7/10 ,  G03B27/32 ,  G03B27/42

CPC分类号： G03F7/709 ,  G03F7/70883

摘要： A lithographic apparatus includes a projection system to project a patterned radiation beam onto a substrate, and a damping system to dampen a vibration of at least part of the projection system, the damping system including an interface damping mass and an active damping subsystem to dampen a vibration of at least part of the interface damping mass, the interface damping mass connected to the projection system, and the active damping subsystem connected to the interface damping mass, the active damping subsystem including a sensor to measure a position quantity of the interface damping mass and an actuator to exert a force on the interface damping mass based on a signal provided by the sensor. The damping system further includes an interface damping device connected to the interface damping mass and configured to damp a movement of the interface damping mass at an eigenfrequency of the interface damping mass.

摘要翻译： 光刻设备包括将图案化的辐射束投影到衬底上的投影系统和用于抑制至少部分投影系统的振动的阻尼系统，所述阻尼系统包括界面阻尼块和主动阻尼子系统，以阻尼 界面阻尼块的至少一部分的振动，连接到投影系统的界面阻尼质量以及连接到界面阻尼块的主动阻尼子系统，主动阻尼子系统包括测量接口阻尼块的位置量的传感器 以及致动器，其基于由传感器提供的信号对接口阻尼质量施加力。 阻尼系统还包括连接到界面阻尼块的接口阻尼装置，并且被配置为在接口阻尼块的本征频率处阻尼接口阻尼块的运动。