公开(公告)号：US3400066A

公开(公告)日：1968-09-03

申请号：US50772965

申请日：1965-11-15

Applicant: IBM

Inventor： CASWELL HOLLIS L ,  EMANUEL STERN

IPC: C23C14/28 ,  C23C14/35 ,  H01C17/12 ,  H01J37/34 ,  H01J37/36 ,  H01L49/02

CPC classification number: H01J37/36 ,  C23C14/28 ,  C23C14/35 ,  H01C17/12 ,  H01J37/34 ,  H01L49/02

公开(公告)号：US3343256A

公开(公告)日：1967-09-26

申请号：US42145264

申请日：1964-12-28

Applicant: IBM

Inventor： SMITH MERLIN G ,  EMANUEL STERN

IPC: H01J37/34 ,  H01L21/263 ,  H01L21/60 ,  H01L21/768 ,  H01L23/48

CPC classification number: H01L24/80 ,  H01J37/34 ,  H01L21/2633 ,  H01L21/76898 ,  H01L23/481 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01039 ,  H01L2924/01072 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/12033 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/3011 ,  Y10S148/085 ,  Y10T29/49165 ,  H01L2924/00