公开(公告)号：US3248669A

公开(公告)日：1966-04-26

申请号：US23407062

申请日：1962-10-30

Applicant: IBM

Inventor： DUMKE WILLIAM P ,  HAERING RUDOLPH R

IPC: H01S5/32

CPC classification number: H01S5/32

公开(公告)号：US3196384A

公开(公告)日：1965-07-20

申请号：US17601162

申请日：1962-02-27

Applicant: IBM

Inventor： DUMKE WILLIAM P ,  HAERING RUDOLPH R

IPC: H03F13/00

CPC classification number: H03F13/00

公开(公告)号：US3289054A

公开(公告)日：1966-11-29

申请号：US33344363

申请日：1963-12-26

Applicant: IBM

Inventor： HAERING RUDOLPH R ,  MIKSIC MARK G

IPC: H01L23/29 ,  H01L29/00 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L29/78681 ,  H01L23/29 ,  H01L29/00 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：US3303067A

公开(公告)日：1967-02-07

申请号：US33340663

申请日：1963-12-26

Applicant: IBM

Inventor： HAERING RUDOLPH R ,  MIKSIC MARK G ,  PENNEBAKER WILLIAM B

IPC: H01L21/203 ,  H01L27/00 ,  H01L27/088 ,  H01L29/00 ,  H01L29/78 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L29/78681 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02557 ,  H01L21/02631 ,  H01L21/02639 ,  H01L27/00 ,  H01L27/088 ,  H01L29/00 ,  H01L29/78 ,  Y10S148/053 ,  Y10S148/064 ,  Y10S148/15 ,  Y10S148/158 ,  Y10S148/169 ,  Y10S252/951 ,  Y10S438/909

公开(公告)号：US3289053A

公开(公告)日：1966-11-29

申请号：US33327963

申请日：1963-12-26

Applicant: IBM

Inventor： HAERING RUDOLPH R ,  MIKSIC MARK G ,  PENNEBAKER WILLIAM B

IPC: C23C14/04 ,  H01L23/29 ,  H01L29/00

CPC classification number: H01L23/29 ,  C23C14/042 ,  H01L29/00 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：US3281714A

公开(公告)日：1966-10-25

申请号：US33472263

申请日：1963-12-31

Applicant: IBM

Inventor： HAERING RUDOLPH R ,  MILLER PETER B

IPC: H01L33/00 ,  H01S5/30 ,  H01S5/32

CPC classification number: H01L33/0037 ,  H01S5/30 ,  H01S5/32