公开(公告)号：US20140166840A1

公开(公告)日：2014-06-19

申请号：US13716044

申请日：2012-12-14

申请人： INTERMOLECULAR, INC.

发明人： Wayne R. French ,  Kent Riley Child ,  Alonzo T. Collins ,  Jay B. Dedontney ,  Richard R. Endo ,  Aaron T. Francis ,  Zachary Fresco ,  Edward L. Haywood ,  Ashley David Lacey ,  Monica Sawkar Mathur ,  James Tsung ,  Danny Wang ,  Kenneth A. Williams ,  Maosheng Zhao

IPC分类号： H01L21/687

CPC分类号： H01L21/68728 ,  H01L21/68757

摘要： A substrate carrier is provided. The substrate carrier includes a base for supporting a substrate. A plurality of support tabs is affixed to a surface of the base. The plurality of support tabs have a cavity defined within an inner region of each support tab of the plurality of support tabs. A plurality of protrusions extends from the surface of the base, wherein one of the plurality of protrusions mates with one cavity to support one of the plurality of support tabs. A film is deposited over the surface of the base, surfaces of the plurality of support tabs and surfaces of the plurality of protrusions.

摘要翻译： 提供衬底载体。 衬底载体包括用于支撑衬底的基底。 多个支撑片固定到基座的表面上。 多个支撑突片具有限定在多个支撑突片中的每个支撑突片的内部区域内的空腔。 多个突起从基座的表面延伸，其中多个突起中的一个与一个空腔配合，以支撑多个支撑突片中的一个。 薄膜沉积在基底的表面上，多个支撑突片的表面和多个突起的表面。