公开(公告)号：US20100200768A1

公开(公告)日：2010-08-12

申请号：US12370555

申请日：2009-02-12

申请人： JAMES BUFF ,  SVETLANA RADOVANOV ,  BON-WOONG KOO ,  WILHELM PLATOW ,  FRANK SINCLAIR ,  JEFFREY D. LISCHER ,  CRAIG CHANEY ,  STEVEN BORICHEVSKY ,  ERIC R. COBB ,  MAYUR JAGTAP ,  KENNETH PURSER ,  VICTOR M. BENVENISTE ,  SHARDUL S. PATEL

发明人： JAMES BUFF ,  SVETLANA RADOVANOV ,  BON-WOONG KOO ,  WILHELM PLATOW ,  FRANK SINCLAIR ,  JEFFREY D. LISCHER ,  CRAIG CHANEY ,  STEVEN BORICHEVSKY ,  ERIC R. COBB ,  MAYUR JAGTAP ,  KENNETH PURSER ,  VICTOR M. BENVENISTE ,  SHARDUL S. PATEL

IPC分类号： H01J27/00

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J27/024 ,  H01J37/08 ,  H01J37/09 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/083 ,  H01J2237/24542

摘要： Techniques for improving extracted ion beam quality using high-transparency electrodes are disclosed. In one particular exemplary embodiment, the techniques may be realized as an apparatus for ion implantation. The apparatus may comprise an ion source for generating an ion beam, wherein the ion source comprises a faceplate with an aperture for the ion beam to travel therethrough. The apparatus may also comprise a set of extraction electrodes comprising at least a suppression electrode and a high-transparency ground electrode, wherein the set of extraction electrodes may extract the ion beam from the ion source via the faceplate, and wherein the high-transparency ground electrode may be configured to optimize gas conductance between the suppression electrode and the high-transparency ground electrode for improved extracted ion beam quality.

摘要翻译： 公开了使用高透明电极提高离子束质量的技术。 在一个特定的示例性实施例中，技术可以被实现为用于离子注入的装置。 该装置可以包括用于产生离子束的离子源，其中离子源包括具有离子束穿过其中的孔的面板。 该装置还可以包括至少包括抑制电极和高透明度接地电极的一组提取电极，其中所述提取电极组可以经由面板从离子源提取离子束，并且其中高透明度接地 电极可以被配置为优化抑制电极和高透明度接地电极之间的气体传导，以改善提取的离子束质量。