Drop Deposition Control
    3.
    发明申请
    Drop Deposition Control 审中-公开
    滴沉积控制

    公开(公告)号:US20100104747A1

    公开(公告)日:2010-04-29

    申请号:US12579569

    申请日:2009-10-15

    IPC分类号: B05D7/22

    摘要: A dispense controller and a tool controller may aid in providing a drop pattern of fluid on a substrate. The dispense controller may provide dispense coordinates to a fluid dispense system based on the drop pattern. The tool controller may control movement of a stage and also provide synchronization pulses to the fluid dispense system. The fluid dispense system may provide the drop pattern of fluid on the substrate using the dispense coordinates and the synchronization pulses.

    摘要翻译: 分配控制器和工具控制器可以有助于在衬底上提供液体滴落图案。 分配控制器可以基于滴液模式向流体分配系统提供分配坐标。 工具控制器可以控制平台的移动并且还向流体分配系统提供同步脉冲。 流体分配系统可以使用分配坐标和同步脉冲在衬底上提供流体的液滴模式。