公开(公告)号：US07605084B2

公开(公告)日：2009-10-20

申请号：US11746566

申请日：2007-05-09

申请人： Jeong-Hoon Han ,  Jin-Hyuk Yoo ,  Young-Rok Kim

发明人： Jeong-Hoon Han ,  Jin-Hyuk Yoo ,  Young-Rok Kim

IPC分类号： H01L21/42

CPC分类号： H01L21/31608 ,  C23C16/045 ,  C23C16/507 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/76837

摘要： A method of filling a gap on a substrate comprises disposing the substrate, on which the gap is formed, on a susceptor in a chamber; applying a source power to the chamber to generate plasmas into the chamber; supplying a process gas into the chamber; filling a thin film into a gap by applying a first bias power to the susceptor, an amplitude of the first bias power being periodically modulated; stopping supply of the process gas and cutting off the first bias power; and extinguish the plasmas in the chamber.

摘要翻译： 在衬底上填充间隙的方法包括将其上形成有间隙的衬底设置在腔室中的基座上; 向腔室施加源功率以产生等离子体进入腔室; 将工艺气体供应到所述室中; 通过向所述基座施加第一偏置功率来将薄膜填充到间隙中，所述第一偏置功率的幅度被周期性地调制; 停止处理气体的供给并切断第一偏压功率; 并熄灭腔室中的等离子体。

公开(公告)号：US08328940B2

公开(公告)日：2012-12-11

申请号：US13041338

申请日：2011-03-04

申请人： Jae-Wook Choi ,  Young-Rok Kim

发明人： Jae-Wook Choi ,  Young-Rok Kim

IPC分类号： C23C16/00 ,  H01L21/306

CPC分类号： H01L21/67748 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/139

摘要： In one embodiment, a transfer robot for transferring a substrate includes a supporting means, a transfer robot arm including a first sub-robot arm and a second sub-robot arm arranged over the supporting means, an inner rail and an outer rail adjacent to the inner rail overlying the supporting means. The first sub-robot arm is adapted to move in a straight line motion along the inner rail and the second sub-robot arm is adapted to move in a straight line motion along the outer rail. The second sub-robot arm surrounds the first sub-robot arm.

摘要翻译： 在一个实施例中，用于传送衬底的传送机器人包括支撑装置，包括布置在支撑装置上方的第一副机器人臂和第二副机器人臂的传送机器人手臂，与所述支撑装置相邻的内轨道和外轨道 内轨覆盖支撑装置。 第一子机器人臂适于沿着内轨线以直线运动移动，并且第二副机器人手臂适于沿着外轨道以直线运动运动。 第二子机器人臂围绕第一子机器人臂。

公开(公告)号：US08155586B2

公开(公告)日：2012-04-10

申请号：US12210073

申请日：2008-09-12

申请人： Tae-Song Kim ,  Jong-Oh Park ,  Byung-Kyu Kim ,  Jin-Seok Kim ,  Han Cheung ,  Won-Woo Cho ,  Nan-Young Yoon ,  Young-Rok Kim

发明人： Tae-Song Kim ,  Jong-Oh Park ,  Byung-Kyu Kim ,  Jin-Seok Kim ,  Han Cheung ,  Won-Woo Cho ,  Nan-Young Yoon ,  Young-Rok Kim

IPC分类号： H04B5/00

CPC分类号： A61B5/0028 ,  A61B1/00016 ,  A61B1/00036 ,  A61B1/041 ,  A61B5/0031 ,  A61B5/073 ,  H04B13/005 ,  Y10S128/903

摘要： A portable device for data communication using a body as a conductor to transmit data to a receiver, the portable device includes a data receiving unit to receive data, a controller unit to control processing of data to be transmitted, a current limiting circuit to limit a current of a signal corresponding to the data to be transmitted to a predetermined value, and transmitting electrodes connected to the current limiting circuit and to contact the body to transmit the signal having the current of predetermined value to the receiver.

摘要翻译： 一种用于使用身体作为导体将数据发送到接收器的数据通信的便携式设备，所述便携式设备包括用于接收数据的数据接收单元，控制要发送的数据的处理的控制器单元，限制一个 与要发送的数据相对应的信号的电流为预定值，以及连接到限流电路的发送电极，并接触主体以将具有预定值的电流的信号发送到接收器。

公开(公告)号：US07463918B2

公开(公告)日：2008-12-09

申请号：US10543231

申请日：2003-12-31

申请人： Tae-Song Kim ,  Jong-Oh Park ,  Byung-Kyu Kim ,  Jin-Seok Kim ,  Han Cheung ,  Won-Woo Cho ,  Nan-Young Yoon ,  Young-Rok Kim

发明人： Tae-Song Kim ,  Jong-Oh Park ,  Byung-Kyu Kim ,  Jin-Seok Kim ,  Han Cheung ,  Won-Woo Cho ,  Nan-Young Yoon ,  Young-Rok Kim

IPC分类号： A61B5/05

CPC分类号： A61B1/041 ,  A61B5/06 ,  A61B5/063 ,  A61B5/073

摘要： The present invention provides a method and apparatus for receiving data in a human body communication system. The receiving apparatus, which comprises plural receiving electrodes, selects the optimum pair of receiving electrodes when receiving data, so that it can improve quality of received information and obtain position information of a sensor in the human body.

摘要翻译： 本发明提供一种在人体通信系统中接收数据的方法和装置。 包括多个接收电极的接收装置在接收数据时选择最佳的接收电极对，从而可以提高接收到的信息的质量并获得人体内传感器的位置信息。

公开(公告)号：US20060173265A1

公开(公告)日：2006-08-03

申请号：US10543231

申请日：2003-12-31

申请人： Tae-Song Kim ,  Jong-Oh Park ,  Byung-Kyu Kim ,  Jin-Seok Kim ,  Han Cheung ,  Won-Woo Cho ,  Nan-Young Yoon ,  Young-Rok Kim

发明人： Tae-Song Kim ,  Jong-Oh Park ,  Byung-Kyu Kim ,  Jin-Seok Kim ,  Han Cheung ,  Won-Woo Cho ,  Nan-Young Yoon ,  Young-Rok Kim

IPC分类号： A61B5/05

CPC分类号： A61B1/041 ,  A61B5/06 ,  A61B5/063 ,  A61B5/073

摘要： The present invention provides a method and apparatus for receiving data in a human body communication system. The receiving apparatus, which comprises plural receiving electrodes, selects the optimum pair of receiving electrodes when receiving data, so that it can improve quality of received information and obtain position information of a sensor in the human body.

摘要翻译： 本发明提供一种在人体通信系统中接收数据的方法和装置。 包括多个接收电极的接收装置在接收数据时选择最佳的接收电极对，从而可以提高接收到的信息的质量并获得人体内传感器的位置信息。

公开(公告)号：US20050211169A1

公开(公告)日：2005-09-29

申请号：US11083838

申请日：2005-03-16

申请人： Jae-Wook Choi ,  Young-Rok Kim

发明人： Jae-Wook Choi ,  Young-Rok Kim

IPC分类号： C23C16/00 ,  H01L21/00

CPC分类号： H01L21/67748 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/139

摘要： An apparatus for manufacturing a substrate includes: a transferring chamber extended along a long direction; at least one process chamber connected to the transferring chamber along the long direction; at least one load-lock chamber connected to the transferring chamber at least one side of the transferring chamber; and a transferring chamber robot moving along the long direction in the transferring chamber and transferring a substrate.

摘要翻译： 一种用于制造衬底的装置，包括：沿着长方向延伸的传送室; 至少一个处理室沿着长方向连接到传送室; 至少一个装载锁定室，在传送室的至少一侧连接到传送室; 以及传送室机器人在传送室中沿长度方向移动并传送基板。

公开(公告)号：US07905960B2

公开(公告)日：2011-03-15

申请号：US11083838

申请日：2005-03-16

申请人： Jae-Wook Choi ,  Young-Rok Kim

发明人： Jae-Wook Choi ,  Young-Rok Kim

IPC分类号： C23C16/00 ,  H01L21/306

CPC分类号： H01L21/67748 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/139

摘要： An apparatus for manufacturing a substrate includes: a transferring chamber extended along a long direction; at least one process chamber connected to the transferring chamber along the long direction; at least one load-lock chamber connected to the transferring chamber at least one side of the transferring chamber; and a transferring chamber robot moving along the long direction in the transferring chamber and transferring a substrate.

摘要翻译： 一种用于制造衬底的装置，包括：沿着长方向延伸的传送室; 至少一个处理室沿着长方向连接到传送室; 至少一个装载锁定室，在传送室的至少一侧连接到传送室; 以及传送室机器人在传送室中沿长度方向移动并传送基板。

公开(公告)号：US20070051314A1

公开(公告)日：2007-03-08

申请号：US11470946

申请日：2006-09-07

申请人： Jae-Wook Choi ,  Young-Rok Kim

发明人： Jae-Wook Choi ,  Young-Rok Kim

IPC分类号： C23F1/00 ,  C23C16/00

CPC分类号： H01L21/67126 ,  C23C14/566 ,  C23C14/568 ,  C23C16/54 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67178 ,  H01L21/67196

摘要： A substrate-treating apparatus includes: at least one process chamber treating a substrate; a movable transfer chamber movable adjacent to the process chamber; a driving means moving the movable transfer chamber; and a connection means combining and separating the process chamber and the movable transfer chamber.

摘要翻译： 基板处理装置包括：处理基板的至少一个处理室; 可移动传送室，其可移动地邻近所述处理室; 移动可移动传送室的驱动装置; 以及连接装置，其组合和分离处理室和可移动传送室。

公开(公告)号：US08559900B2

公开(公告)日：2013-10-15

申请号：US13195294

申请日：2011-08-01

申请人： Tae-Song Kim ,  Jong-Oh Park ,  Byung-Kyu Kim ,  Jin-Seok Kim ,  Han Cheung ,  Won-Woo Cho ,  Nan-Young Yoon ,  Young-Rok Kim

发明人： Tae-Song Kim ,  Jong-Oh Park ,  Byung-Kyu Kim ,  Jin-Seok Kim ,  Han Cheung ,  Won-Woo Cho ,  Nan-Young Yoon ,  Young-Rok Kim

IPC分类号： G06F3/033

CPC分类号： A61B5/0028 ,  A61B1/00016 ,  A61B1/00036 ,  A61B1/041 ,  A61B5/0031 ,  A61B5/073 ,  H04B13/005 ,  Y10S128/903

摘要： A portable device for data communication using a body as a conductor to transmit data to a receiver, the portable device includes a data receiving unit to receive data, a controller unit to control processing of data to be transmitted, a current limiting circuit to limit a current of a signal corresponding to the data to be transmitted to a predetermined value, and transmitting electrodes connected to the current limiting circuit and to contact the body to transmit the signal having the current of predetermined value to the receiver.

摘要翻译： 一种用于使用身体作为导体将数据发送到接收器的数据通信的便携式设备，所述便携式设备包括用于接收数据的数据接收单元，控制要发送的数据的处理的控制器单元，限制一个 与要发送的数据相对应的信号的电流为预定值，以及连接到限流电路的发送电极，并接触主体以将具有预定值的电流的信号发送到接收器。

公开(公告)号：US08160672B2

公开(公告)日：2012-04-17

申请号：US10543143

申请日：2003-12-31

申请人： Tae-Song Kim ,  Jong-Oh Park ,  Byung-Kyu Kim ,  Jin-Seok Kim ,  Han Cheung ,  Won-Woo Cho ,  Nan-Young Yoon ,  Young-Rok Kim

发明人： Tae-Song Kim ,  Jong-Oh Park ,  Byung-Kyu Kim ,  Jin-Seok Kim ,  Han Cheung ,  Won-Woo Cho ,  Nan-Young Yoon ,  Young-Rok Kim

IPC分类号： A61B5/04

CPC分类号： A61B1/041 ,  A61B5/0028 ,  A61B5/0031 ,  H04B13/005

摘要： The present invention provides method and system for data communication in the human body and a sensor therefor. The method and system transmit information through the human body to a receiver located outside the human body using low current and voltage polarity, so that they cause no damage to the human body and achieve low power consumption and better receiving sensitivity. In addition, the sensor contains a CMOS image sensor on which all circuits are integrated without radio transmitter and antenna, so that it achieves a low-priced and small-sized capsule type endoscope.

摘要翻译： 本发明提供了用于人体中的数据通信的方法和系统及其传感器。 该方法和系统通过人体将信息传输到位于人体外部的接收器，使用低电流和电压极性，从而不会对人体造成伤害，实现低功耗和更好的接收灵敏度。 此外，传感器包含CMOS图像传感器，其中所有电路都集成在无线电发射器和天线上，从而实现了低价位和小尺寸的胶囊型内窥镜。