公开(公告)号：US07561009B2

公开(公告)日：2009-07-14

申请号：US11291674

申请日：2005-11-30

申请人： John D. Larson, III ,  John Choy ,  Donald E. Lee ,  Kevin J. Grannen ,  Hongjun Feng ,  Carrie A. Rogers ,  Urupattur C. Sridharan

发明人： John D. Larson, III ,  John Choy ,  Donald E. Lee ,  Kevin J. Grannen ,  Hongjun Feng ,  Carrie A. Rogers ,  Urupattur C. Sridharan

IPC分类号： H03H9/15 ,  H03H9/205 ,  H01L41/083

CPC分类号： H03H3/04 ,  H03H9/02102 ,  H03H9/131 ,  H03H9/132 ,  H03H9/173 ,  H03H9/584 ,  H03H9/587 ,  H03H9/605 ,  H03H2003/021 ,  H03H2003/0407

摘要： The temperature-compensated film bulk acoustic resonator (FBAR) device comprises an FBAR stack that comprises an FBAR characterized by a resonant frequency having a temperature coefficient and a temperature-compensating layer comprising doped silicon dioxide. The FBAR comprises opposed planar electrodes and a piezoelectric element between the electrodes. The piezoelectric element has a temperature coefficient on which the temperature coefficient of the resonant frequency of the FBAR depends at least in part.

摘要翻译： 温度补偿膜体声波谐振器（FBAR）装置包括FBAR堆叠，其包括以具有温度系数的谐振频率和包含掺杂二氧化硅的温度补偿层为特征的FBAR。 FBAR包括相对的平面电极和电极之间的压电元件。 压电元件具有温度系数，FBAR的谐振频率的温度系数至少部分地取决于该温度系数。

公开(公告)号：US20100327701A1

公开(公告)日：2010-12-30

申请号：US12494886

申请日：2009-06-30

申请人： Kevin J. Grannen ,  Carrie A. Rogers ,  John Choy

发明人： Kevin J. Grannen ,  Carrie A. Rogers ,  John Choy

IPC分类号： H01L41/04 ,  H01L41/22

CPC分类号： H03H9/02102 ,  H01L41/18 ,  H03H3/04 ,  H03H9/173 ,  H03H9/583 ,  H03H9/587 ,  H03H2003/021 ,  H03H2003/0407 ,  H03H2003/0442 ,  Y10T29/42

摘要： An electrical resonator comprises a substrate comprising a cavity. The electrical resonator comprises a resonator stack suspended over the cavity. The resonator stack comprises a first electrode; a second electrode; a piezoelectric layer; and a temperature compensating layer comprising borosilicate glass (BSG).

摘要翻译： 电谐振器包括包括空腔的基板。 电谐振器包括悬挂在空腔上的谐振器堆叠。 谐振器堆叠包括第一电极; 第二电极; 压电层; 和包含硼硅酸盐玻璃（BSG）的温度补偿层。

公开(公告)号：US07345410B2

公开(公告)日：2008-03-18

申请号：US11386372

申请日：2006-03-22

申请人： Kevin J. Grannen ,  John Choy ,  Carrie A. Rogers

发明人： Kevin J. Grannen ,  John Choy ,  Carrie A. Rogers

IPC分类号： H01L41/047

CPC分类号： H03H9/02102 ,  H03H3/04 ,  H03H9/131 ,  H03H9/173 ,  H03H2003/021 ,  H03H2003/0407

摘要： A resonator. The resonator includes a bottom electrode overlaying at least part of a substrate, a composite structure overlaying at least part of the bottom electrode, and a top electrode overlaying at least part of the composite structure. The composite structure comprises a piezoelectric layer and a compensation layer, and the compensation layer includes silicon dioxide combined with boron.

摘要翻译： 谐振器。 谐振器包括覆盖基板的至少一部分的底部电极，覆盖底部电极的至少一部分的复合结构和覆盖复合结构的至少一部分的顶部电极。 复合结构包括压电层和补偿层，补偿层包括与硼结合的二氧化硅。

公开(公告)号：US09209776B2

公开(公告)日：2015-12-08

申请号：US12494886

申请日：2009-06-30

申请人： Kevin J. Grannen ,  Carrie A. Rogers ,  John Choy

发明人： Kevin J. Grannen ,  Carrie A. Rogers ,  John Choy

IPC分类号： H04R31/00 ,  H03H9/02 ,  H03H3/04 ,  H03H9/17 ,  H03H9/58 ,  H03H3/02

CPC分类号： H03H9/02102 ,  H01L41/18 ,  H03H3/04 ,  H03H9/173 ,  H03H9/583 ,  H03H9/587 ,  H03H2003/021 ,  H03H2003/0407 ,  H03H2003/0442 ,  Y10T29/42

摘要： An electrical resonator comprises a substrate comprising a cavity. The electrical resonator comprises a resonator stack suspended over the cavity. The resonator stack comprises a first electrode; a second electrode; a piezoelectric layer; and a temperature compensating layer comprising borosilicate glass (BSG).

摘要翻译： 电谐振器包括包括空腔的基板。 电谐振器包括悬挂在空腔上的谐振器堆叠。 谐振器堆叠包括第一电极; 第二电极; 压电层; 和包含硼硅酸盐玻璃（BSG）的温度补偿层。