公开(公告)号：US06272277B1

公开(公告)日：2001-08-07

申请号：US09417056

申请日：1999-10-13

申请人： Jong Heo ,  Yong-Beom Shin ,  Se-Ho Park ,  Sun-tae Jung ,  Hyoun-soo Kim

发明人： Jong Heo ,  Yong-Beom Shin ,  Se-Ho Park ,  Sun-tae Jung ,  Hyoun-soo Kim

IPC分类号： G02B600

CPC分类号： C03C13/044 ,  C03C3/323 ,  H01S3/06716

摘要： An optical fiber for use in a light amplifier. The optical fiber is formed by doping a gerrnanium-gallium-sulfur (Ge—Ga—S) glass containing less sulfur than a GeS2—Ga2S3 stoichiometric composition line with a rare earth element, and further contains 0.1˜10 atomic % of a halogen element base on the Ge—Ga—S glass. By using optical fiber, clustering of praseodymium (Pr+3) ions can be suppressed even when the concentration of added Pr+3 is high, thereby improving light amplification efficiency.

摘要翻译： 一种用于光放大器的光纤。 光纤通过将含有比GeS2-Ga2S3化学计量组成线少的硫的锗 - 镓 - 硫（Ge-Ga-S）玻璃与稀土元素掺杂而形成，并且还含有0.1〜10原子％的卤素元素 基于Ge-Ga-S玻璃。 通过使用光纤，即使添加的Pr + 3的浓度高，也可以抑制镨（Pr + 3）离子的聚集，从而提高光放大效率。

公开(公告)号：US06347177B1

公开(公告)日：2002-02-12

申请号：US09417058

申请日：1999-10-13

申请人： Jong Heo ,  Dong-Chin Lee ,  Se-Ho Park ,  Sun-tae Jung ,  Hyoun-soo Kim

发明人： Jong Heo ,  Dong-Chin Lee ,  Se-Ho Park ,  Sun-tae Jung ,  Hyoun-soo Kim

IPC分类号： G02B600

CPC分类号： H01S3/06716 ,  C03C13/042 ,  C03C13/043 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/1613 ,  H01S3/173

摘要： An optical fiber used for an optical amplifier, is formed by doping glass with rare-earth ions. Both praseodymium ions (Pr+3) and erbium ions (Er+3) are used as the rare-earth ions, and the glass is a fluoride glass or a sulfide glass. The optical fiber can be used at wavelengths of both 1.3 &mgr;m and 1.55 &mgr;m. The light amplification efficiency of an optical amplifier made of the optical fiber can be improved compared to that of an optical amplifier formed of only Pr+3 or only Er+3.

摘要翻译： 用于光放大器的光纤通过用稀土离子掺杂玻璃形成。 使用镨离子（Pr + 3）和铒离子（Er + 3）作为稀土离子，玻璃是氟化物玻璃或硫化物玻璃。 光纤可以在1.3μm和1.55μm的波长下使用。 与仅由Pr + 3或仅Er + 3形成的光放大器相比，可以提高由光纤制成的光放大器的光放大效率。

公开(公告)号：US06384390B1

公开(公告)日：2002-05-07

申请号：US09663418

申请日：2000-09-15

申请人： Sun-tae Jung ,  Dong-wook Shin ,  Hyoun-soo Kim

发明人： Sun-tae Jung ,  Dong-wook Shin ,  Hyoun-soo Kim

IPC分类号： H05B664

CPC分类号： H01L21/67248 ,  C23C16/453 ,  C23C16/56 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/02271 ,  H01L21/02345 ,  H01L21/02356 ,  H01L21/316 ,  H01L21/31612 ,  H01L21/67115

摘要： An apparatus for forming a thin film using microwave and a method therefor are provided. The apparatus for forming a thin film on a wafer by densifying predetermined soot on a wafer, when the wafer and the soot form a sample, includes a microwave sintering furnace for sealing the sample and exposing the sample to microwave, thus sintering the sample, a sintering furnace atmosphere maker for controlling the state, being the atmosphere of air inside the microwave sintering furnace, a temperature sensor/controller for sensing a temperature inside the microwave sintering furnace, comparing the temperature with a predetermined reference temperature, and outputting an error temperature, and a microwave power source for generating microwave of a predetermined temperature with reference to the error temperature output from the temperature sensor/controller and applying the microwave to the microwave sintering furnace. It is possible to rapidly form a film of a fine and uniform structure by densification using microwave.

摘要翻译： 提供一种使用微波形成薄膜的装置及其方法。 当晶片和烟灰形成样品时，通过致密化晶片上的预定烟灰来在晶片上形成薄膜的装置包括用于密封样品并将样品暴露于微波的微波烧结炉，从而烧结样品， 用于控制状态的烧结炉气氛制造商，微波烧结炉内的空气气氛，用于感测微波烧结炉内的温度的温度传感器/控制器，将温度与预定的参考温度进行比较，并输出误差温度， 以及微波电源，用于根据从温度传感器/控制器输出的误差温度产生预定温度的微波，并将微波施加到微波烧结炉。 可以通过使用微波的致密化快速形成精细且均匀结构的膜。

公开(公告)号：US06280525B1

公开(公告)日：2001-08-28

申请号：US09104984

申请日：1998-06-26

申请人： Dong-wook Shin ,  Sun-tae Jung

发明人： Dong-wook Shin ,  Sun-tae Jung

IPC分类号： C23C1600

CPC分类号： C23C16/56 ,  C23C16/402 ,  C23C16/453

摘要： An apparatus for manufacturing a silica film is provided. The apparatus includes a conveyor including a mounting unit where a plurality of wafers are loaded. The conveyor is used for moving and transferring the mounting wafers. The apparatus also includes a deposition part for generating flames to deposit silica soot on the plurality of wafers, the deposition part being located above the conveyor, and a calcination part, adjacent to the deposition part, removing water from the silica soot, and a sintering part, adjacent to the calcination part, for deifying the calcined silica soot to form a silica film. The process of manufacturing the silica film can be continuously performed, enhancing productivity.

摘要翻译： 提供一种二氧化硅膜的制造装置。 该装置包括一个输送机，该输送机包括多个晶片被装载的安装单元。 输送机用于移动和转移安装晶片。 该设备还包括用于产生火焰以沉积在多个晶片上的二氧化硅烟灰的沉积部分，沉积部分位于输送机上方，以及与沉积部分相邻的煅烧部分，从二氧化硅烟灰中除去水，以及烧结 部分，与煅烧部分相邻，用于使煅烧的二氧化硅烟灰脱气以形成二氧化硅膜。 可以连续地进行二氧化硅膜的制造工序，提高生产率。