公开(公告)号：US20150132928A1

公开(公告)日：2015-05-14

申请号：US14600676

申请日：2015-01-20

申请人： Joseph M. Jacobson ,  David Kong ,  Vikas Anant ,  Ashley Salomon ,  Saul Griffith ,  Will DelHagen ,  Vikrant Agnihotri

发明人： Joseph M. Jacobson ,  David Kong ,  Vikas Anant ,  Ashley Salomon ,  Saul Griffith ,  Will DelHagen ,  Vikrant Agnihotri

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/285

CPC分类号： H01L21/02631 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C23C14/024 ,  C23C14/048 ,  C23C14/228 ,  C23C16/047 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45555 ,  H01L21/02225 ,  H01L21/02266 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/02351 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02664 ,  H01L21/2633 ,  H01L21/2855 ,  H01L21/28556 ,  H01L27/30 ,  H01L51/0002 ,  Y10S977/888 ,  Y10S977/891

摘要： A technique for forming nanostructures including introducing a plurality of molecular-size scale and/or nanoscale building blocks to a region near a substrate and simultaneously scanning a pattern on the substrate with an energy beam, wherein the energy beam causes a change in at least one physical property of at least a portion of the building blocks, such that a probability of the portion of the building blocks adhering to the pattern scanned by the energy beam is increased, and wherein the building blocks adhere to the pattern to form the structure. The energy beam and at least a portion of the building blocks may interact by electrostatic interaction to form the structure.

摘要翻译： 一种用于形成纳米结构的技术，包括将多个分子尺度尺度和/或纳米尺度结构单元引入到衬底附近的区域，同时用能量束扫描衬底上的图案，其中能量束引起至少一个 构造块的至少一部分的物理性质，使得构成块的部分附着到由能量束扫描的图案的概率增加，并且其中构建块粘附到图案以形成结构。 能量束和至少一部分构建块可通过静电相互作用而形成结构。

公开(公告)号：US08937001B2

公开(公告)日：2015-01-20

申请号：US13347662

申请日：2012-01-10

申请人： Joseph M. Jacobson ,  David Kong ,  Vikas Anant ,  Ashley Salomon ,  Saul Griffith ,  Will DelHagen ,  Vikrant Agnihotri

发明人： Joseph M. Jacobson ,  David Kong ,  Vikas Anant ,  Ashley Salomon ,  Saul Griffith ,  Will DelHagen ,  Vikrant Agnihotri

IPC分类号： H01L21/20 ,  B82Y10/00 ,  C23C14/02 ,  C23C14/04 ,  C23C14/22 ,  C23C16/04 ,  C23C16/455

CPC分类号： H01L21/02631 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C23C14/024 ,  C23C14/048 ,  C23C14/228 ,  C23C16/047 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45555 ,  H01L21/02225 ,  H01L21/02266 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/02351 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02664 ,  H01L21/2633 ,  H01L21/2855 ,  H01L21/28556 ,  H01L27/30 ,  H01L51/0002 ,  Y10S977/888 ,  Y10S977/891

摘要： A technique for forming nanostructures including a definition of a charge pattern on a substrate and introduction of charged molecular scale sized building blocks (MSSBBs) to a region proximate the charge pattern so that the MSSBBs adhere to the charge pattern to form the feature.

摘要翻译： 一种用于形成纳米结构的技术，其包括在衬底上的电荷图案的定义，以及将电荷分子尺度的结构单元（MSSBB）引入邻近电荷图案的区域，使得MSSBB粘附于电荷图案以形成特征。

公开(公告)号：US20160079060A1

公开(公告)日：2016-03-17

申请号：US14788723

申请日：2015-06-30

申请人： Joseph M. Jacobson ,  David Kong ,  Vikas Anant ,  Ashley Salomon ,  Saul Griffith ,  Will DelHagen ,  Vikrant Agnihotri

发明人： Joseph M. Jacobson ,  David Kong ,  Vikas Anant ,  Ashley Salomon ,  Saul Griffith ,  Will DelHagen ,  Vikrant Agnihotri

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/285 ,  H01L21/263

CPC分类号： H01L21/02631 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C23C14/024 ,  C23C14/048 ,  C23C14/228 ,  C23C16/047 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45555 ,  H01L21/02225 ,  H01L21/02266 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/02351 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02664 ,  H01L21/2633 ,  H01L21/2855 ,  H01L21/28556 ,  H01L27/30 ,  H01L51/0002 ,  Y10S977/888 ,  Y10S977/891

摘要： A technique for forming nanostructures including introducing a plurality of molecular-size scale and/or nanoscale building blocks to a region near a substrate and simultaneously scanning a pattern on the substrate with an energy beam, wherein the energy beam causes a change in at least one physical property of at least a portion of the building blocks, such that a probability of the portion of the building blocks adhering to the pattern scanned by the energy beam is increased, and wherein the building blocks adhere to the pattern to form the structure. The energy beam and at least a portion of the building blocks may interact by electrostatic interaction to form the structure.

公开(公告)号：US09070556B2

公开(公告)日：2015-06-30

申请号：US14600676

申请日：2015-01-20

申请人： Joseph M. Jacobson ,  David Kong ,  Vikas Anant ,  Ashley Salomon ,  Saul Griffith ,  Will DelHagen ,  Vikrant Agnihotri

发明人： Joseph M. Jacobson ,  David Kong ,  Vikas Anant ,  Ashley Salomon ,  Saul Griffith ,  Will DelHagen ,  Vikrant Agnihotri

IPC分类号： H01L51/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/285 ,  H01L27/30

CPC分类号： H01L21/02631 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C23C14/024 ,  C23C14/048 ,  C23C14/228 ,  C23C16/047 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45555 ,  H01L21/02225 ,  H01L21/02266 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/02351 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02664 ,  H01L21/2633 ,  H01L21/2855 ,  H01L21/28556 ,  H01L27/30 ,  H01L51/0002 ,  Y10S977/888 ,  Y10S977/891

摘要： A technique for forming nanostructures including introducing a plurality of molecular-size scale and/or nanoscale building blocks to a region near a substrate and simultaneously scanning a pattern on the substrate with an energy beam, wherein the energy beam causes a change in at least one physical property of at least a portion of the building blocks, such that a probability of the portion of the building blocks adhering to the pattern scanned by the energy beam is increased, and wherein the building blocks adhere to the pattern to form the structure. The energy beam and at least a portion of the building blocks may interact by electrostatic interaction to form the structure.

摘要翻译： 一种用于形成纳米结构的技术，包括将多个分子尺度尺度和/或纳米尺度结构单元引入到衬底附近的区域，同时用能量束扫描衬底上的图案，其中能量束引起至少一个 构造块的至少一部分的物理性质，使得构成块的部分附着到由能量束扫描的图案的概率增加，并且其中构建块粘附到图案以形成结构。 能量束和至少一部分构建块可通过静电相互作用而形成结构。

公开(公告)号：US20120108041A1

公开(公告)日：2012-05-03

申请号：US13347662

申请日：2012-01-10

申请人： Joseph M. Jacobson ,  David Kong ,  Vikas Anant ,  Ashley Salomon ,  Saul Griffith ,  Will DelHagen ,  Vikrant Agnihotri

发明人： Joseph M. Jacobson ,  David Kong ,  Vikas Anant ,  Ashley Salomon ,  Saul Griffith ,  Will DelHagen ,  Vikrant Agnihotri

IPC分类号： H01L21/20

CPC分类号： H01L21/02631 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C23C14/024 ,  C23C14/048 ,  C23C14/228 ,  C23C16/047 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45555 ,  H01L21/02225 ,  H01L21/02266 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/02351 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02664 ,  H01L21/2633 ,  H01L21/2855 ,  H01L21/28556 ,  H01L27/30 ,  H01L51/0002 ,  Y10S977/888 ,  Y10S977/891

摘要： A technique for forming nanostructures including a definition of a charge pattern on a substrate and introduction of charged molecular scale sized building blocks (MSSBBs) to a region proximate the charge pattern so that the MSSBBs adhere to the charge pattern to form the feature.

摘要翻译： 一种用于形成纳米结构的技术，其包括基板上的电荷图案的定义，以及将电荷分子尺度的结构单元（MSSBB）引入邻近电荷图案的区域，使得MSSBB粘附于电荷图案以形成特征。

公开(公告)号：US08093144B2

公开(公告)日：2012-01-10

申请号：US10444176

申请日：2003-05-23

申请人： Joseph M. Jacobson ,  David Kong ,  Vikas Anant ,  Ashley Salomon ,  Saul Griffith ,  Will DelHagen ,  Vikrant Agnihotri

发明人： Joseph M. Jacobson ,  David Kong ,  Vikas Anant ,  Ashley Salomon ,  Saul Griffith ,  Will DelHagen ,  Vikrant Agnihotri

IPC分类号： H01L21/20

CPC分类号： H01L21/02631 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C23C14/024 ,  C23C14/048 ,  C23C14/228 ,  C23C16/047 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45555 ,  H01L21/02225 ,  H01L21/02266 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/02351 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02664 ,  H01L21/2633 ,  H01L21/2855 ,  H01L21/28556 ,  H01L27/30 ,  H01L51/0002 ,  Y10S977/888 ,  Y10S977/891

摘要： A technique for forming nanostructures including a definition of a charge pattern on a substrate and introduction of charged molecular scale sized building blocks (MSSBBs) to a region proximate the charge pattern so that the MSSBBs adhere to the charge pattern to form the feature.

摘要翻译： 一种用于形成纳米结构的技术，其包括在衬底上的电荷图案的定义，以及将电荷分子尺度的结构单元（MSSBB）引入邻近电荷图案的区域，使得MSSBB粘附于电荷图案以形成特征。