公开(公告)号：US20060209385A1

公开(公告)日：2006-09-21

申请号：US11080597

申请日：2005-03-15

申请人： Junhua Liu ,  Aroon Tungare ,  Min-Xian Zhang

发明人： Junhua Liu ,  Aroon Tungare ,  Min-Xian Zhang

IPC分类号： G02B26/00

CPC分类号： G02B26/0841

摘要： A microelectromechanical systems (MEMS) apparatus (100) having a footprint of about 1 to 10 millimeters by about 1 to 10 millimeters comprises a movable member (101) that can be stopped at either of at least two positions by electrically neutral stops (105, 107). Depending upon the needs of a given application, these stops may all be fabricated using materials deposition and removal techniques or some, though not all, may comprise an attached component.

摘要翻译： 具有约1至10毫米约1至10毫米的占地面积的微机电系统（MEMS）装置（100）包括可移动构件（101），其可通过电中性止挡件（105）停止在至少两个位置中的任一位置， 107）。 根据给定应用的需要，这些停止可以全部使用材料沉积和去除技术来制造，或者一些（尽管不是全部）可以包括附着的部件。

公开(公告)号：US06978060B2

公开(公告)日：2005-12-20

申请号：US10420078

申请日：2003-04-22

申请人： Junhua Liu ,  Aroon Tungare ,  Min-Xian Zhang

发明人： Junhua Liu ,  Aroon Tungare ,  Min-Xian Zhang

IPC分类号： G02B6/35

CPC分类号： G02B6/3566 ,  G02B6/3512 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3584

摘要： A MEMS based optical switch comprises a bottom electrode, a cantilever electrode, and a top electrode, all of which overlay a carrier board. An absence of a voltage differential between the top and bottom electrodes locates the cantilever electrode in a neutral position between the top and bottom electrodes. A presence of a voltage differential between the top and bottom electrodes locates the cantilever electrode in a position biased toward either the top electrode or the bottom electrode.

摘要翻译： 基于MEMS的光开关包括底电极，悬臂电极和顶电极，所有这些覆盖在载板上。 顶部和底部电极之间不存在电压差，将悬臂电极定位在顶部和底部电极之间的中性位置。 在顶部和底部电极之间存在电压差，将悬臂电极定位在偏向顶部电极或底部电极的位置。

公开(公告)号：US07463113B2

公开(公告)日：2008-12-09

申请号：US11276429

申请日：2006-02-28

申请人： Aroon Tungare ,  Manes Eliacin ,  Lih-Tyng Hwang ,  Robert Lempkowski ,  Junhua Liu ,  Jovica Savic

发明人： Aroon Tungare ,  Manes Eliacin ,  Lih-Tyng Hwang ,  Robert Lempkowski ,  Junhua Liu ,  Jovica Savic

IPC分类号： H01P1/10

CPC分类号： H01G5/16 ,  H01G5/011 ,  H01H59/0009

摘要： A first and second capacitor plate are provided (101 and 102). Each capacitor plate has an opening disposed therethrough with the second capacitor plate being disposed substantially opposite the first capacitor plate. A first electrically conductive path interface is then disposed (103) in one of these openings as is at least a second electrically conductive path interface (104).

摘要翻译： 提供第一和第二电容器板（101和102）。 每个电容器板具有穿过其中的开口，其中第二电容器板与第一电容器板大致相对设置。 然后，至少第二导电路径接口（104）将第一导电路径界面（103）设置在这些开口之一中。

公开(公告)号：US20080013251A1

公开(公告)日：2008-01-17

申请号：US11276429

申请日：2006-02-28

申请人： Aroon Tungare ,  Manes Eliacin ,  Lih-Tyng Hwang ,  Robert Lempkowski ,  Junhua Liu ,  Jovica Savic

发明人： Aroon Tungare ,  Manes Eliacin ,  Lih-Tyng Hwang ,  Robert Lempkowski ,  Junhua Liu ,  Jovica Savic

IPC分类号： H01G4/06

CPC分类号： H01G5/16 ,  H01G5/011 ,  H01H59/0009

摘要： A first and second capacitor plate are provided (101 and 102). Each capacitor plate has an opening disposed therethrough with the second capacitor plate being disposed substantially opposite the first capacitor plate. A first electrically conductive path interface is then disposed (103) in one of these openings as is at least a second electrically conductive path interface (104).

摘要翻译： 提供第一和第二电容器板（101和102）。 每个电容器板具有穿过其中的开口，其中第二电容器板与第一电容器板大致相对设置。 然后，至少第二导电路径接口（104）将第一导电路径界面（103）设置在这些开口之一中。

公开(公告)号：US20050134141A1

公开(公告)日：2005-06-23

申请号：US11004354

申请日：2004-12-03

申请人： Jovica Savic ,  Manes Eliacin ,  Junhua Liu ,  Aroon Tungare

发明人： Jovica Savic ,  Manes Eliacin ,  Junhua Liu ,  Aroon Tungare

IPC分类号： G02B26/08 ,  G02B26/10 ,  H01H57/00 ,  H02N1/00

CPC分类号： H02N1/006 ,  G02B26/0841

摘要： A meso-electromechanical system (900, 1100) includes a substrate (215), a standoff (405, 1160) disposed on a surface of the substrate, a first electrostatic pattern (205, 1105, 1110, 1115, 1120) disposed on the surface of the substrate, and a glass beam (810). The glass beam (810) has a fixed region (820) attached to the standoff and has a second electrostatic pattern (815, 1205, 1210, 1215, 1220) on a cantilevered location of the glass beam. The second electrostatic pattern is substantially co-extensive with and parallel to the first electrostatic pattern. The second electrostatic pattern has a relaxed separation (925) from the first electrostatic pattern when the first and second electrostatic patterns are in a non-energized state. In some embodiments, a mirror is formed by the electrostatic materials that form the second electrostatic pattern. The glass beam may be patterned using sandblasting (140).

摘要翻译： 中间机电系统（900,1100）包括衬底（215），设置在衬底的表面上的支座（405,1160），设置在衬底上的第一静电图案（205,1105,1110,1115,1120） 基板的表面和玻璃光束（810）。 玻璃束（810）具有附接到支座的固定区域（820），并且在玻璃束的悬臂位置上具有第二静电图案（815,1205,1212,1215,1220）。 第二静电图案与第一静电图案基本上共同并且平行。 当第一静电图案和第二静电图案处于非通电状态时，第二静电图案具有与第一静电图案的松弛分离（925）。 在一些实施例中，由形成第二静电图案的静电材料形成反射镜。 可以使用喷砂将玻璃束图案化（140）。

公开(公告)号：US20060226732A1

公开(公告)日：2006-10-12

申请号：US11380983

申请日：2006-05-01

申请人： Jovica Savic ,  Manes Eliacin ,  Junhua Liu ,  Aroon Tungare

发明人： Jovica Savic ,  Manes Eliacin ,  Junhua Liu ,  Aroon Tungare

IPC分类号： H02N1/00

CPC分类号： H02N1/006 ,  G02B26/0841

摘要： A meso-electromechanical system (900, 1100) includes a substrate (215), a standoff (405, 1160) disposed on a surface of the substrate, a first electrostatic pattern (205, 1105, 1110, 1115, 1120) disposed on the surface of the substrate, and a glass beam (810). The glass beam (810) has a fixed region (820) attached to the standoff and has a second electrostatic pattern (815, 1205, 1210, 1215, 1220) on a cantilevered location of the glass beam. The second electrostatic pattern is substantially co-extensive with and parallel to the first electrostatic pattern. The second electrostatic pattern has a relaxed separation (925) from the first electrostatic pattern when the first and second electrostatic patterns are in a non-energized state. In some embodiments, a mirror is formed by the electrostatic materials that form the second electrostatic pattern. The glass beam may be patterned using sandblasting (140).

摘要翻译： 中间机电系统（900,1100）包括衬底（215），设置在衬底的表面上的支座（405,1160），设置在衬底上的第一静电图案（205,1105,1110,1115,1120） 基板的表面和玻璃光束（810）。 玻璃束（810）具有附接到支座的固定区域（820），并且在玻璃束的悬臂位置上具有第二静电图案（815,1205,1212,1215,1220）。 第二静电图案与第一静电图案基本上共同并且平行。 当第一静电图案和第二静电图案处于非通电状态时，第二静电图案具有与第一静电图案的松弛分离（925）。 在一些实施例中，由形成第二静电图案的静电材料形成反射镜。 可以使用喷砂将玻璃束图案化（140）。

公开(公告)号：US06800820B1

公开(公告)日：2004-10-05

申请号：US10411490

申请日：2003-04-10

申请人： Junhua Liu ,  William Olson

发明人： Junhua Liu ,  William Olson

IPC分类号： H01H5700

CPC分类号： H01H59/0009 ,  H01H2001/0073

摘要： A plurality of mesoscale MEMS switches each share a common control voltage potential electrode (such as ground). So configured, a large number of switches can be provided without incurring a significant increase in required actuation voltage. Such switches can be inter-coupled in a variety of ways. In addition, in one embodiment, stacked switches can be provided. If desired, such stacked switches can share a common movable conductive switch element.

摘要翻译： 多个中尺度MEMS开关各自共享公共控制电压电位（例如接地）。 如此配置，可以提供大量的开关，而不会导致所需的致动电压的显着增加。 这种开关可以以各种方式互连。 此外，在一个实施例中，可以提供堆叠的开关。 如果需要，这种堆叠式开关可以共用公共的可移动导电开关元件。

公开(公告)号：USD968075S1

公开(公告)日：2022-11-01

申请号：US29831013

申请日：2022-03-16

申请人： Junhua Liu

设计人： Junhua Liu

公开(公告)号：US06714105B2

公开(公告)日：2004-03-30

申请号：US10133913

申请日：2002-04-26

申请人： Manes Eliacin ,  Keryn Lian ,  Junhua Liu ,  Robert B. Lempkowski

发明人： Manes Eliacin ,  Keryn Lian ,  Junhua Liu ,  Robert B. Lempkowski

IPC分类号： H01P110

CPC分类号： H01H59/0009 ,  H01G5/16 ,  H01H2001/0073 ,  H01H2059/0054

摘要： A meso-scale MEMS device having a cantilevered beam is formed using standard printed wiring board and high density interconnect technologies and practices. The beam includes at least some polymer material to constitute its length, and in some embodiments also comprises a conductive material as a load-bearing component thereof. In varying embodiments, the beam is attached at a location proximal to an end thereof, or distal to an end thereof.

摘要翻译： 使用标准印刷线路板和高密度互连技术和实践形成具有悬臂梁的中尺度MEMS器件。 梁包括构成其长度的至少一些聚合物材料，并且在一些实施例中还包括作为其承载部件的导电材料。 在不同的实施例中，梁被附接在靠近其端部的位置处，或者远离其端部。

公开(公告)号：US08246248B2

公开(公告)日：2012-08-21

申请号：US12543106

申请日：2009-08-18

申请人： Junhua Liu ,  Shanzhi Huang

发明人： Junhua Liu ,  Shanzhi Huang

IPC分类号： H05G1/02

CPC分类号： F16H25/2015 ,  A61B6/4429 ,  Y10T74/18848

摘要： A stroke control device includes a first driving mechanism driving a carrier into a linear movement, the first driving mechanism comprising a rotating shaft arranged rotatably on a main body for receiving power input, a stopper being configured to move linearly, first and second limit switches defining a linear movement stroke of the stopper, and a second driving mechanism for driving the stopper into a linear movement, wherein the second driving mechanism includes an input member rotating synchronously with the rotating shaft and an output member on which the stopper is fixed, wherein the linear movement stroke of the stopper is less than the linear movement stroke of the carrier, and wherein the first and second limit switches are provided on the main body with a spacing therebetween and are both arranged on a path of the linear movement of the stopper.

摘要翻译： 行程控制装置包括：第一驱动机构，其将托架驱动成直线运动;第一驱动机构包括旋转轴，该旋转轴可旋转地布置在主体上用于接收动力输入;止动器，其被配置为线性移动;第一和第二限位开关， 所述止动件的线性移动行程以及用于将所述止动件驱动为线性运动的第二驱动机构，其中，所述第二驱动机构包括与所述旋转轴同步旋转的输入部件和所述止动件固定在所述输出部件上， 止动件的线性移动行程小于行星架的线性移动行程，并且其中第一和第二限位开关设置在主体上，其间具有间隔，并且均设置在止动件的线性运动的路径上。