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    Micromachined electromechanical device
    4.
    发明申请
    Micromachined electromechanical device 失效
    微加工机电装置

    公开(公告)号：US20050014306A1

    公开(公告)日：2005-01-20

    申请号：US10619923

    申请日：2003-07-15

    申请人： Kui Yao ,  Xujiang He ,  Jian Zhang ,  Santiranjan Shannigrahi

    发明人： Kui Yao ,  Xujiang He ,  Jian Zhang ,  Santiranjan Shannigrahi

    IPC分类号： B81C1/00 ,  B81B1/00 ,  B81B3/00 ,  H01L21/00 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  H01L41/24

    CPC分类号： B81C1/00587 ,  B81B3/0035

    摘要： A method for fabricating a MEMS device comprises providing a substrate having a back side, a front side opposite to the back side and a periphery portion. A desired microstructure is formed on the back side of the substrate. The substrate is then supported for rotation. A precursor solution is deposited on the front side of the substrate during rotation so that a thin film layer may be formed thereon. During formation of the thin film layer, the substrate is supported and rotated that the microstructure formed on the back side is protected.

    摘要翻译： 一种制造MEMS器件的方法包括提供具有背面，与背侧相对的正面和周边部分的基板。 在衬底的背面形成所需的微结构。 然后支撑基板旋转。 在旋转期间，前体溶液沉积在基板的前侧，从而可以在其上形成薄膜层。 在形成薄膜层的过程中，基板被支撑并旋转，使得在背面形成的微结构被保护。

    Micromachined electromechanical device
    5.
    发明授权
    Micromachined electromechanical device 有权
    微加工机电装置

    公开(公告)号：US07208806B2

    公开(公告)日：2007-04-24

    申请号：US11273827

    申请日：2005-11-14

    申请人： Kui Yao ,  Xujiang He ,  Jian Zhang ,  Santiranjan Shannigrahi

    发明人： Kui Yao ,  Xujiang He ,  Jian Zhang ,  Santiranjan Shannigrahi

    IPC分类号： H01L27/14 ,  B23Q3/157

    CPC分类号： B81C1/00587 ,  B81B3/0035

    摘要： A method for fabricating a MEMS device comprises providing a substrate having a back side, a front side opposite to the back side and a periphery portion. A desired microstructure is formed on the back side of the substrate. The substrate is then supported for rotation. A precursor solution is deposited on the front side of the substrate during rotation so that a thin film layer may be formed thereon. During formation of the thin film layer, the substrate is supported and rotated that the microstructure formed on the back side is protected.

    摘要翻译： 一种制造MEMS器件的方法包括提供具有背面，与背侧相对的正面和周边部分的基板。 在衬底的背面形成所需的微结构。 然后支撑基板旋转。 在旋转期间，前体溶液沉积在基板的前侧，从而可以在其上形成薄膜层。 在形成薄膜层的过程中，基板被支撑并旋转，使得在背面形成的微结构被保护。

    Micromachined electromechanical device
    6.
    发明授权
    Micromachined electromechanical device 失效
    微加工机电装置

    公开(公告)号：US07018862B2

    公开(公告)日：2006-03-28

    申请号：US10619923

    申请日：2003-07-15

    申请人： Kui Yao ,  Xujiang He ,  Jian Zhang ,  Santiranjan Shannigrahi

    发明人： Kui Yao ,  Xujiang He ,  Jian Zhang ,  Santiranjan Shannigrahi

    IPC分类号： H01L21/46

    CPC分类号： B81C1/00587 ,  B81B3/0035

    摘要： A method for fabricating a MEMS device comprises providing a substrate having a back side, a front side opposite to the back side and a periphery portion. A desired microstructure is formed on the back side of the substrate. The substrate is then supported for rotation. A precursor solution is deposited on the front side of the substrate during rotation so that a thin film layer may be formed thereon. During formation of the thin film layer, the substrate is supported and rotated that the microstructure formed on the back side is protected.

    摘要翻译： 一种制造MEMS器件的方法包括提供具有背面，与背侧相对的正面和周边部分的基板。 在衬底的背面形成所需的微结构。 然后支撑基板旋转。 在旋转期间，前体溶液沉积在基板的前侧，从而可以在其上形成薄膜层。 在形成薄膜层的过程中，基板被支撑并旋转，使得在背面形成的微结构被保护。

    Thin film photovoltaic device
    8.
    发明授权
    Thin film photovoltaic device 有权
    薄膜光伏器件

    公开(公告)号：US07851697B2

    公开(公告)日：2010-12-14

    申请号：US11386295

    申请日：2006-03-21

    申请人： Kui Yao ,  Santiranjan Shannigrahi ,  Mei M. Chen ,  Bee K. Gan

    发明人： Kui Yao ,  Santiranjan Shannigrahi ,  Mei M. Chen ,  Bee K. Gan

    IPC分类号： H01L31/0392

    CPC分类号： H01L31/0264 ,  H01L37/02 ,  H02S99/00

    摘要： The present invention provides a thin film photovoltaic device and a method of forming a thin film photovoltaic device. The thin film photovoltaic device has a substrate, a thin film layer formed on the substrate and first and second electrodes formed on one side of the thin film layer. By applying an electric field over the first and second electrodes, the thin film layer is polarized in a direction parallel to the surface plane of the film. Upon exposure to light, the thin film layer converts light energy into electricity. According to the method, a thin film layer is formed on a substrate. A first electrode and a second electrode are formed on one side of the thin film layer. By applying an electric field over the first and second electrodes, the thin film layer is polarized in a direction parallel to the surface plane of the film.

    摘要翻译： 本发明提供薄膜光伏器件和形成薄膜光伏器件的方法。 薄膜光电器件具有基板，形成在基板上的薄膜层和形成在薄膜层的一侧上的第一和第二电极。 通过在第一和第二电极上施加电场，薄膜层在平行于膜的表面平面的方向上被极化。 在曝光时，薄膜层将光能转换成电能。 根据该方法，在基板上形成薄膜层。 第一电极和第二电极形成在薄膜层的一侧上。 通过在第一和第二电极上施加电场，薄膜层在平行于膜的表面平面的方向上被极化。

    Thin film photovoltaic device
    9.
    发明申请
    Thin film photovoltaic device 有权
    薄膜光伏器件

    公开(公告)号：US20110081733A1

    公开(公告)日：2011-04-07

    申请号：US12928092

    申请日：2010-12-03

    申请人： Kui Yao ,  Santiranjan Shannigrahi ,  Mei M. Chen ,  Bee K. Gan

    发明人： Kui Yao ,  Santiranjan Shannigrahi ,  Mei M. Chen ,  Bee K. Gan

    IPC分类号： H01L31/18

    CPC分类号： H01L31/0264 ,  H01L37/02 ,  H02S99/00

    摘要： The present invention provides a thin film photovoltaic device and a method of forming a thin film photovoltaic device. The thin film photovoltaic device has a substrate, a thin film layer formed on the substrate and first and second electrodes formed on one side of the thin film layer. By applying an electric field over the first and second electrodes, the thin film layer is polarized in a direction parallel to the surface plane of the film. Upon exposure to light, the thin film layer converts light energy into electricity. According to the method, a thin film layer is formed on a substrate. A first electrode and a second electrode are formed on one side of the thin film layer. By applying an electric field over the first and second electrodes, the thin film layer is polarized in a direction parallel to the surface plane of the film.

    摘要翻译： 本发明提供薄膜光伏器件和形成薄膜光伏器件的方法。 薄膜光电器件具有基板，形成在基板上的薄膜层和形成在薄膜层的一侧上的第一和第二电极。 通过在第一和第二电极上施加电场，薄膜层在平行于膜的表面平面的方向上被极化。 在曝光时，薄膜层将光能转换成电能。 根据该方法，在基板上形成薄膜层。 第一电极和第二电极形成在薄膜层的一侧上。 通过在第一和第二电极上施加电场，薄膜层在平行于膜的表面平面的方向上被极化。

    Thin film photovoltaic device
    10.
    发明申请
    Thin film photovoltaic device 有权
    薄膜光伏器件

    公开(公告)号：US20060213549A1

    公开(公告)日：2006-09-28

    申请号：US11386295

    申请日：2006-03-21

    申请人： Kui Yao ,  Santiranjan Shannigrahi ,  Mei Chen ,  Bee Gan

    发明人： Kui Yao ,  Santiranjan Shannigrahi ,  Mei Chen ,  Bee Gan

    IPC分类号： H01L31/00

    CPC分类号： H01L31/0264 ,  H01L37/02 ,  H02S99/00

    摘要： The present invention provides a thin film photovoltaic device and a method of forming a thin film photovoltaic device. The thin film photovoltaic device has a substrate, a thin film layer formed on the substrate and first and second electrodes formed on one side of the thin film layer. By applying an electric field over the first and second electrodes, the thin film layer is polarized in a direction parallel to the surface plane of the film. Upon exposure to light, the thin film layer converts light energy into electricity. According to the method, a thin film layer is formed on a substrate. A first electrode and a second electrode are formed on one side of the thin film layer. By applying an electric field over the first and second electrodes, the thin film layer is polarized in a direction parallel to the surface plane of the film.

    摘要翻译： 本发明提供薄膜光伏器件和形成薄膜光伏器件的方法。 薄膜光电器件具有基板，形成在基板上的薄膜层和形成在薄膜层的一侧上的第一和第二电极。 通过在第一和第二电极上施加电场，薄膜层在平行于膜的表面平面的方向上被极化。 在曝光时，薄膜层将光能转换成电能。 根据该方法，在基板上形成薄膜层。 第一电极和第二电极形成在薄膜层的一侧上。 通过在第一和第二电极上施加电场，薄膜层在平行于膜的表面平面的方向上被极化。