公开(公告)号：US20090140429A1

公开(公告)日：2009-06-04

申请号：US12292827

申请日：2008-11-26

Applicant: Kyu-Ha Lee ,  Cha-Je Jo ,  Jeong-Woo Park

Inventor： Kyu-Ha Lee ,  Cha-Je Jo ,  Jeong-Woo Park

IPC: H01L21/768 ,  H01L23/532

CPC classification number: H01L23/53238 ,  H01L21/76843 ,  H01L21/76865 ,  H01L21/76873 ,  H01L21/76879 ,  H01L21/76885 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: A method of manufacturing a metal interconnection of a semiconductor device includes forming a base layer with at least one groove, the at least one groove having an open upper portion, forming a first metal layer in the at least one groove, forming a seed metal layer on the first metal layer in the at least one groove, the seed metal layer being only on a bottom surface of the at least one groove, and forming a metal pattern grown from the seed metal layer to fill the at least one grove.

Abstract translation: 一种制造半导体器件的金属互连的方法包括：形成具有至少一个沟槽的基底层，所述至少一个沟槽具有开放的上部，在所述至少一个沟槽中形成第一金属层，形成种子金属层 在所述至少一个沟槽中的所述第一金属层上，所述籽晶金属层仅在所述至少一个沟槽的底表面上，并且形成从种子金属层生长以填充所述至少一个沟槽的金属图案。

公开(公告)号：US07960273B2

公开(公告)日：2011-06-14

申请号：US12292827

申请日：2008-11-26

Applicant: Kyu-Ha Lee ,  Cha-Je Jo ,  Jeong-Woo Park

Inventor： Kyu-Ha Lee ,  Cha-Je Jo ,  Jeong-Woo Park

IPC: H01L21/44 ,  H01L21/4763

CPC classification number: H01L23/53238 ,  H01L21/76843 ,  H01L21/76865 ,  H01L21/76873 ,  H01L21/76879 ,  H01L21/76885 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: A method of manufacturing a metal interconnection of a semiconductor device includes forming a base layer with at least one groove, the at least one groove having an open upper portion, forming a first metal layer in the at least one groove, forming a seed metal layer on the first metal layer in the at least one groove, the seed metal layer being only on a bottom surface of the at least one groove, and forming a metal pattern grown from the seed metal layer to fill the at least one grove.

Abstract translation: 一种制造半导体器件的金属互连的方法包括：形成具有至少一个沟槽的基底层，所述至少一个沟槽具有开放的上部，在所述至少一个沟槽中形成第一金属层，形成种子金属层 在所述至少一个沟槽中的所述第一金属层上，所述籽晶金属层仅在所述至少一个沟槽的底表面上，并且形成从种子金属层生长以填充所述至少一个沟槽的金属图案。