公开(公告)号：US07109486B1

公开(公告)日：2006-09-19

申请号：US10907525

申请日：2005-04-04

申请人： James Spallas ,  Lawrence Muray

发明人： James Spallas ,  Lawrence Muray

IPC分类号： H01J37/304

CPC分类号： H01J37/04 ,  H01J37/3007 ,  H01J2237/03 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/1205

摘要： An electron beam column package comprises a plurality of layers having components, such as lenses, coupled thereto. The layers may be made of LTCC, HTCC or other layer technology.

摘要翻译： 电子束列封装包括具有耦合到其上的诸如透镜的部件的多个层。 这些层可以由LTCC，HTCC或其他层技术制成。

公开(公告)号：US07332729B1

公开(公告)日：2008-02-19

申请号：US11160227

申请日：2005-06-14

申请人： Lawrence Muray ,  James Spallas

发明人： Lawrence Muray ,  James Spallas

IPC分类号： G01N23/00

CPC分类号： G01N23/225 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3045 ,  H01J37/3174

摘要： A beam column array included alignment marks within to enable alignment of beams with respect to each other. Specifically, the array includes an array of beam columns, each column having at least once lens. A plurality of alignment marks are located beneath the lens. A method of using the array includes: scanning a plurality of beams in a beam column array over a plurality of alignment marks; and determining beam centroid positions of the beams with respect to each other based on data from the scanning.

摘要翻译： 光束列阵列包括对准标记，以使光束能够相对于彼此对准。 具体来说，该阵列包括一束光束列，每列具有至少一次透镜。 多个对准标记位于透镜下方。 使用阵列的方法包括：在多个对准标记上扫描光束列阵列中的多个光束; 以及基于来自所述扫描的数据来确定所述光束相对于彼此的光束重心位置。

公开(公告)号：US07045794B1

公开(公告)日：2006-05-16

申请号：US10908397

申请日：2005-05-10

申请人： James Spallas ,  Lawrence Muray

发明人： James Spallas ,  Lawrence Muray

IPC分类号： H01J37/26

CPC分类号： H01J37/04 ,  H01J2237/038 ,  H01J2237/1205 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/3175

摘要： A micro-electrical system, such as a lens stack for use in a scanning electron microscope, analysis tool, etc., comprises recesses and/or serrations that increase the surface path breakdown, thereby increasing reliability and enabling high voltage operations.

摘要翻译： 用于扫描电子显微镜，分析工具等的微电子系统包括增加表面路径击穿的凹槽和/或锯齿，从而增加可靠性并实现高电压操作。

公开(公告)号：US20080054180A1

公开(公告)日：2008-03-06

申请号：US11751619

申请日：2007-05-21

申请人： Charles Silver ,  Lawrence Muray ,  James Spallas

发明人： Charles Silver ,  Lawrence Muray ,  James Spallas

IPC分类号： G21K5/04

CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J2237/03 ,  H01J2237/3175

摘要： A charged particle beam column package includes an assembly (e.g., comprising a plurality of layers, which can have a component coupled to one of the layers), and a solid state detector coupled to the assembly. Further, at least one of the layers has interconnects thereon.

摘要翻译： 带电的粒子束列包装包括组件（例如，包括多个层，其可以具有耦合到层之一的部件）和耦合到组件的固态检测器。 此外，这些层中的至少一个在其上具有互连。

公开(公告)号：US07335895B1

公开(公告)日：2008-02-26

申请号：US11277148

申请日：2006-03-22

申请人： James Spallas ,  Lawrence Muray

发明人： James Spallas ,  Lawrence Muray

IPC分类号： H01J37/26

CPC分类号： H01J37/04 ,  H01J2237/038 ,  H01J2237/1205 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/3175

摘要： A micro-electrical system, such as a lens stack for use in a scanning electron microscope, analysis tool, etc., comprises recesses and/or serrations that increase the surface path breakdown, thereby increasing reliability and enabling high voltage operations.

摘要翻译： 用于扫描电子显微镜，分析工具等的微电子系统包括增加表面路径击穿的凹槽和/或锯齿，从而增加可靠性并实现高电压操作。