公开(公告)号：US20130082338A1

公开(公告)日：2013-04-04

申请号：US13250078

申请日：2011-09-30

申请人： Lung Yuan Pan ,  Lan-Lin Chao ,  Chia-Shiung Tsai

发明人： Lung Yuan Pan ,  Lan-Lin Chao ,  Chia-Shiung Tsai

IPC分类号： H01L29/84 ,  H01L21/02

CPC分类号： H01G5/18 ,  B81B3/001 ,  B81B2201/0221 ,  H01L28/60

摘要： A device includes a micro-electro-mechanical system (MEMS) device, which includes a movable element and a fixed element. The movable element and the fixed element form two capacitor plates of a capacitor, with an air-gap between the movable element and the fixed element acting as a capacitor insulator of the capacitor. At least one of the movable element and the fixed element has a rugged surface.

摘要翻译： 一种装置包括微电子机械系统（MEMS）装置，其包括可移动元件和固定元件。 可移动元件和固定元件形成电容器的两个电容器板，可动元件和固定元件之间的气隙用作电容器的电容器绝缘体。 可移动元件和固定元件中的至少一个具有粗糙的表面。

公开(公告)号：US08836055B2

公开(公告)日：2014-09-16

申请号：US13250078

申请日：2011-09-30

申请人： Lung Yuan Pan ,  Lan-Lin Chao ,  Chia-Shiung Tsai

发明人： Lung Yuan Pan ,  Lan-Lin Chao ,  Chia-Shiung Tsai

IPC分类号： H01L31/115

CPC分类号： H01G5/18 ,  B81B3/001 ,  B81B2201/0221 ,  H01L28/60

摘要： A device includes a micro-electro-mechanical system (MEMS) device, which includes a movable element and a fixed element. The movable element and the fixed element form two capacitor plates of a capacitor, with an air-gap between the movable element and the fixed element acting as a capacitor insulator of the capacitor. At least one of the movable element and the fixed element has a rugged surface.

摘要翻译： 一种装置包括微电子机械系统（MEMS）装置，其包括可移动元件和固定元件。 可移动元件和固定元件形成电容器的两个电容器板，可动元件和固定元件之间的气隙用作电容器的电容器绝缘体。 可移动元件和固定元件中的至少一个具有粗糙的表面。

公开(公告)号：US20130277770A1

公开(公告)日：2013-10-24

申请号：US13450728

申请日：2012-04-19

申请人： Shang-Ying Tsai ,  Jung-Huei Peng ,  Hsin-Ting Huang ,  Yao-Te Huang ,  Lung Yuan Pan ,  Hung-Hua Lin

发明人： Shang-Ying Tsai ,  Jung-Huei Peng ,  Hsin-Ting Huang ,  Yao-Te Huang ,  Lung Yuan Pan ,  Hung-Hua Lin

IPC分类号： H01L29/84 ,  H01L21/02

CPC分类号： B81B7/0006 ,  B81B2203/0307 ,  B81C1/00039 ,  B81C1/00134 ,  B81C1/00166 ,  B81C1/00341 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0871 ,  H01G5/18 ,  H01L28/60

摘要： A device includes a substrate, a routing conductive line over the substrate, a dielectric layer over the routing conductive line, and an etch stop layer over the dielectric layer. A Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) device has a portion over the etch stop layer. A contact plug penetrates through the etch stop layer and the dielectric layer. The contact plug connects the portion of the MEMS device to the routing conductive line. An escort ring is disposed over the etch stop layer and under the MEMS device, wherein the escort ring encircles the contact plug.

公开(公告)号：US08853801B2

公开(公告)日：2014-10-07

申请号：US13450728

申请日：2012-04-19

申请人： Shang-Ying Tsai ,  Jung-Huei Peng ,  Hsin-Ting Huang ,  Yao-Te Huang ,  Lung Yuan Pan ,  Hung-Hua Lin

发明人： Shang-Ying Tsai ,  Jung-Huei Peng ,  Hsin-Ting Huang ,  Yao-Te Huang ,  Lung Yuan Pan ,  Hung-Hua Lin

IPC分类号： H01L29/788

CPC分类号： B81B7/0006 ,  B81B2203/0307 ,  B81C1/00039 ,  B81C1/00134 ,  B81C1/00166 ,  B81C1/00341 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0871 ,  H01G5/18 ,  H01L28/60

摘要： A device includes a substrate, a routing conductive line over the substrate, a dielectric layer over the routing conductive line, and an etch stop layer over the dielectric layer. A Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) device has a portion over the etch stop layer. A contact plug penetrates through the etch stop layer and the dielectric layer. The contact plug connects the portion of the MEMS device to the routing conductive line. An escort ring is disposed over the etch stop layer and under the MEMS device, wherein the escort ring encircles the contact plug.

摘要翻译： 器件包括衬底，衬底上的布线导线，路由导线上的电介质层以及介电层上的蚀刻停止层。 微机电系统（MEMS）器件具有超过蚀刻停止层的部分。 接触插塞穿过蚀刻停止层和电介质层。 接触插头将MEMS器件的部分连接到布线导线。 保护环设置在蚀刻停止层上方和MEMS器件下方，其中护送环环绕接触插塞。