公开(公告)号：US3519479A

公开(公告)日：1970-07-07

申请号：US3519479D

申请日：1966-12-06

Applicant: MATSUSHITA ELECTRONICS CORP

Inventor： INOUE MORIO ,  KANO GOTA ,  MATSUNO JINICHI ,  TAKAYANAGI SHIGETOSHI

IPC: C23C16/14 ,  C23C16/16 ,  H01L21/00 ,  H01L27/00 ,  H01L29/00 ,  H01L7/00 ,  H01L7/36

CPC classification number: H01L27/00 ,  C23C16/14 ,  C23C16/16 ,  H01L21/00 ,  H01L29/00 ,  Y10S148/049 ,  Y10S438/909 ,  Y10T428/12528 ,  Y10T428/31678

公开(公告)号：US3515583A

公开(公告)日：1970-06-02

申请号：US3515583D

申请日：1967-03-20

Applicant: MATSUSHITA ELECTRONICS CORP

Inventor： INOUE MORIO ,  KANO GOTA ,  MATSUNO JINICHI ,  TAKAYANAGI SHIGETOSHI

IPC: C23C16/12 ,  H01L21/00 ,  H01L29/00

CPC classification number: H01L21/00 ,  C23C16/12 ,  H01L29/00 ,  Y10S148/142 ,  Y10T428/31678

公开(公告)号：US3480475A

公开(公告)日：1969-11-25

申请号：US3480475D

申请日：1967-03-21

Applicant: MATSUSHITA ELECTRONICS CORP

Inventor： INOUE MORIO ,  KANO GOTA ,  MATSUNO JINICHI ,  TAKAYANAGI SHIGETOSHI

IPC: C23C16/14 ,  C23C16/16 ,  H01L21/00 ,  H01L27/00 ,  H01L29/00 ,  B44D1/14 ,  B44D1/20

CPC classification number: H01L27/00 ,  C23C16/14 ,  C23C16/16 ,  H01L21/00 ,  H01L29/00 ,  Y10S148/049 ,  Y10S438/909 ,  Y10T428/12528 ,  Y10T428/31678