公开(公告)号：US5644676A

公开(公告)日：1997-07-01

申请号：US494636

申请日：1995-06-23

申请人： Martti Blomberg ,  Markku Orpana ,  Ari Lehto ,  Hannu Kattelus

发明人： Martti Blomberg ,  Markku Orpana ,  Ari Lehto ,  Hannu Kattelus

IPC分类号： H05B3/10 ,  G01J5/52 ,  H01K1/02 ,  H01K7/00 ,  H05B3/12

CPC分类号： H01K7/00 ,  G01J5/522 ,  H01K1/02

摘要： An electrically modulatable radiant source includes an essentially planar substrate, a well or hole formed in the substrate, and at least one incandescent filament attached to the substrate. The incandescent filament is aligned with the well or hole and is formed of a metallic compound which readily oxidizes at an operating temperature of the incandescent filament. An oxidation resistant film encapsulates the incandescent filament to prevent the filament from oxidizing. Furthermore, contact pads are formed on the substrate at both ends of the incandescent filament for feeding electric current to the incandescent filament.

摘要翻译： 电可调节辐射源包括基本上平面的基板，在基板中形成的阱或孔，以及附着到基板的至少一个白炽灯丝。 白炽丝与孔或孔对准，并由在白炽灯丝的工作温度下容易氧化的金属化合物形成。 耐氧化膜封装白炽灯丝以防止灯丝氧化。 此外，在白炽灯丝两端的基板上形成接触焊盘，以将电流馈送到白炽灯丝。

公开(公告)号：US5500569A

公开(公告)日：1996-03-19

申请号：US220696

申请日：1994-03-31

申请人： Martti Blomberg ,  Markku Orpana ,  Ari Lehto ,  Anssi Korhonen

发明人： Martti Blomberg ,  Markku Orpana ,  Ari Lehto ,  Anssi Korhonen

IPC分类号： H01K1/02 ,  H01K1/04 ,  H01K1/14 ,  H01K3/02 ,  H01K7/00

CPC分类号： H01K1/04 ,  H01K1/02 ,  H01K3/02 ,  H01K7/00

摘要： A radiant source including an essentially planar substrate having a well or hole formed therein. At least one incandescent filament is mounted to the substrate and aligned at the well or hole. Contact pads are formed onto the substrate, to both ends of the incandescent filament, and feed electric current to the incandescent filament. Furthermore, each incandescent filament is doped with phosphorus to an impurity concentration of at least 5.times.10.sup.19 atoms/cm.sup.3.

摘要翻译： 一种辐射源，包括具有在其中形成的孔或孔的基本平坦的基底。 至少一个白炽灯丝安装到基板上并在孔或孔对准。 接触焊盘形成在基板上，到白炽灯丝的两端，并将电流馈送到白炽灯丝。 此外，每个白炽灯丝掺杂有至少5×1019原子/ cm3的杂质浓度的磷。

公开(公告)号：US5646729A

公开(公告)日：1997-07-08

申请号：US573759

申请日：1995-12-18

申请人： Yrjo Koskinen ,  Ari Lehto ,  Simo Tammela ,  Martti Blomberg ,  Markku Orpana ,  Altti Torkkeli

发明人： Yrjo Koskinen ,  Ari Lehto ,  Simo Tammela ,  Martti Blomberg ,  Markku Orpana ,  Altti Torkkeli

IPC分类号： G01J3/12 ,  G01J3/26 ,  G01N21/31 ,  G01N21/35 ,  G02B26/02 ,  G01B9/02 ,  G02B27/00

CPC分类号： G01J3/26 ,  G01N21/31 ,  G01N21/3504 ,  G02B26/02 ,  G01J2003/1247

摘要： A single-channel gas concentration measurement method and apparatus. According to the method, a radiant source is employed to generate a measuring signal, the measuring signal is subsequently directed to a measurement object containing a gas mixture to be measured, the measuring signal is subsequently bandpass filtered using at least two passband wavelengths, and the filtered measuring signals are detected by a detector. According to the invention, the bandpass filtering step is implemented by a single electrostatically tunable, short-resonator Fabry-Perot interferometer.

摘要翻译： 单通道气体浓度测量方法和装置。 根据该方法，使用辐射源来产生测量信号，随后将测量信号引导到包含要测量的气体混合物的测量对象，随后使用至少两个通带波长对测量信号进行带通滤波，并且 滤波的测量信号由检测器检测。 根据本发明，带通滤波步骤由单个静电可调谐的短谐振器法布里 - 珀罗干涉仪实现。

公开(公告)号：US5561523A

公开(公告)日：1996-10-01

申请号：US386773

申请日：1995-02-10

申请人： Martti Blomberg ,  Markku Orpana ,  Ari Lehto

发明人： Martti Blomberg ,  Markku Orpana ,  Ari Lehto

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01J3/26 ,  G01N21/27 ,  G02B5/28 ,  G02B26/00

CPC分类号： G02B26/001 ,  G01J3/26

摘要： An electrostatically tunable Fabry-Perot interferometer produced by surface micromechanical techniques is used in optical material analysis as an optical sweeping filter in which the optical measurement wavelength is centered at a wavelength .lambda.. The Fabry-Perot interferometer based sensor structure comprises a body block, two essentially parallel mirrors bonded to the body block, of which mirrors at least one is partially transmitting and movable relative to the body block. The mirrors are spaced maximally by a few half-wavelengths, .lambda./2, from each other, and both of the mirror structures include integral electrode structures capable of effecting an electrostatic force between the mirror structures. The movable mirror structure is provided with structurally weakened regions surrounding the optical area of the mirror so as to facilitate keeping the optical area at a maximum degree of flatness. At least one of the electrode structures surrounds the optical area so as to achieve a mechanical lever action and avoid galvanic contact between the electrode of the movable mirror structure and the electrode of the fixed mirror structure.

摘要翻译： 通过表面微机械技术制造的静电可调法布里 - 珀罗干涉仪用于光学材料分析中，作为其中光学测量波长以波长λ为中心的光学扫描滤光器。 基于法布里 - 珀罗干涉仪的传感器结构包括主体块，两个基本上平行的结合到体块的反射镜，其中至少一个反射镜相对于身体块部分透射并且可移动。 反射镜最大限度地彼此间隔几个半波长λ/ 2，并且两个反射镜结构都包括能够在镜面结构之间产生静电力的整体电极结构。 可动镜结构设置有围绕镜的光学区域的结构弱化区域，以便于保持光学区域处于最大平坦度。 电极结构中的至少一个围绕光学区域，以实现机械杆动作，并避免可移动镜面结构的电极和固定镜结构的电极之间的电流接触。

公开(公告)号：US5934307A

公开(公告)日：1999-08-10

申请号：US913666

申请日：1997-12-17

申请人： Ari Lehto ,  Eero Halonen ,  Markku Orpana ,  Aarne Utriainen

发明人： Ari Lehto ,  Eero Halonen ,  Markku Orpana ,  Aarne Utriainen

IPC分类号： F16K17/16 ,  F16K37/00 ,  F16K17/40

CPC分类号： F16K37/00 ,  F16K17/16 ,  Y10T137/1684 ,  Y10T137/1714

摘要： The invention relates to an overpressure protector comprising a body portion (1) of single crystal silicon, a burst flow conduit (2) extending through the body portion (1), and a membrane (3) covering the burst flow conduit (2) and responding to a pressure difference. The membrane is a thin film (3), which is arranged to break when the pressure difference acting across it exceeds a predetermined value, and comprises a belt (6) whose electrical conductivity differs from that of the other material of the membrane. The belt is connected to means (9) for supplying electric current either for detecting breaking or the belt or for bursting the membrane (3) intentionally by means of heating effect of electric current.

摘要翻译： PCT No.PCT / FI96 / 00148 Sec。 371 1997年12月17日第 102（e）日期1997年12月17日PCT 1996年3月11日PCT公布。 出版物WO96 / 28677 日期1996年9月19日本发明涉及一种超压保护器，其包括单晶硅的主体部分（1），延伸穿过主体部分（1）的突发流动导管（2）和覆盖突发流 导管（2）并响应压力差。 膜是薄膜（3），其被布置为当跨过其的压力差超过预定值时断裂，并且包括其导电性不同于膜的其它材料的导电带（6）。 带子连接到用于提供电流的装置（9），用于检测断路或皮带，或者通过电流的加热效应有意地破裂膜（3）。