公开(公告)号：US07307027B1

公开(公告)日：2007-12-11

申请号：US11201378

申请日：2005-08-11

申请人： Minh Van Ngo ,  Alexander Nickel ,  Hieu Pham ,  Jean Yang ,  Hirokazu Tokuno ,  Weidong Qian

发明人： Minh Van Ngo ,  Alexander Nickel ,  Hieu Pham ,  Jean Yang ,  Hirokazu Tokuno ,  Weidong Qian

IPC分类号： H01L21/31

CPC分类号： H01L21/31625 ,  H01L21/02129 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/02304 ,  H01L21/76837 ,  H01L27/115 ,  H01L27/11521 ,  H01L27/11568

摘要： A method of forming a dielectric between memory cells in a device includes forming multiple memory cells, where a gap is formed between each of the multiple memory cells. The method further includes performing a high density plasma deposition (HDP) process to fill at least a portion of the gap between each of the multiple memory cells with a dielectric material.

摘要翻译： 在器件中的存储器单元之间形成电介质的方法包括形成多个存储器单元，其中在多个存储器单元中的每一个之间形成间隙。 该方法还包括执行高密度等离子体沉积（HDP）工艺以用电介质材料填充每个多个存储器单元之间的间隙的至少一部分。

公开(公告)号：US07432178B2

公开(公告)日：2008-10-07

申请号：US11254769

申请日：2005-10-21

申请人： Angela T. Hui ,  Jean Yang ,  Yu Sun ,  Mark T. Ramsbey ,  Weidong Qian

发明人： Angela T. Hui ,  Jean Yang ,  Yu Sun ,  Mark T. Ramsbey ,  Weidong Qian

IPC分类号： H01L21/04

CPC分类号： H01L27/11568 ,  H01L27/115

摘要： A method for performing a bit line implant is disclosed. The method includes forming a group of structures on an oxide-nitride-oxide stack of a semiconductor device. Each structure of the group of structures includes a polysilicon portion and a hard mask portion. A first structure of the group of structures is separated from a second structure of the group of structures by less than 100 nanometers. The method further includes using the first structure and the second structure to isolate a portion of the semiconductor device for the bit line implant.

摘要翻译： 公开了一种用于执行位线植入的方法。 该方法包括在半导体器件的氧化物 - 氮化物 - 氧化物堆叠上形成一组结构。 该组结构的每个结构包括多晶硅部分和硬掩模部分。 该组结构的第一结构与该组结构的第二结构分开小于100纳米。 该方法还包括使用第一结构和第二结构来隔离位线植入物的半导体器件的一部分。

公开(公告)号：US20070093042A1

公开(公告)日：2007-04-26

申请号：US11254769

申请日：2005-10-21

申请人： Angela Hui ,  Jean Yang ,  Yu Sun ,  Mark Ramsbey ,  Weidong Qian

发明人： Angela Hui ,  Jean Yang ,  Yu Sun ,  Mark Ramsbey ,  Weidong Qian

IPC分类号： H01L21/04

CPC分类号： H01L27/11568 ,  H01L27/115

摘要： A method for performing a bit line implant is disclosed. The method includes forming a group of structures on an oxide-nitride-oxide stack of a semiconductor device. Each structure of the group of structures includes a polysilicon portion and a hard mask portion. A first structure of the group of structures is separated from a second structure of the group of structures by less than 100 nanometers. The method further includes using the first structure and the second structure to isolate a portion of the semiconductor device for the bit line implant.

摘要翻译： 公开了一种用于执行位线植入的方法。 该方法包括在半导体器件的氧化物 - 氮化物 - 氧化物堆叠上形成一组结构。 该组结构的每个结构包括多晶硅部分和硬掩模部分。 该组结构的第一结构与该组结构的第二结构分开小于100纳米。 该方法还包括使用第一结构和第二结构来隔离位线植入物的半导体器件的一部分。

公开(公告)号：USD460249S1

公开(公告)日：2002-07-16

申请号：US29142235

申请日：2001-05-21

申请人： Jean Yang

设计人： Jean Yang

公开(公告)号：US06277661B1

公开(公告)日：2001-08-21

申请号：US09677955

申请日：2000-10-02

申请人： Jean Yang ,  Ian Dudley ,  Khoi Phan

发明人： Jean Yang ,  Ian Dudley ,  Khoi Phan

IPC分类号： H01L2166

CPC分类号： H01L22/26 ,  H01L22/12

摘要： A method for contact hole formation and inspection during integrated circuit fabrication is disclosed. The method includes defining tolerances for one or more contact hole formation processes, and then performing the formation processes to create at least one contact hole. After at least one of the formation processes is performed, a waveform is generated for the contact hole. A critical dimension (CD) and an edge width value are then generated for the contact hole from the waveform. The CD and the edge width value are then compared to the tolerances to detect and correct variations in the formation process. In a further aspect of the present invention, the edge width is compared to a predetermined limit to automatically detect contact holes having sloped sidewalls.

摘要翻译： 公开了一种在集成电路制造期间接触孔形成和检查的方法。 该方法包括确定一个或多个接触孔形成过程的公差，然后执行形成过程以产生至少一个接触孔。 在执行至少一个形成处理之后，产生用于接触孔的波形。 然后为波形的接触孔产生临界尺寸（CD）和边缘宽度值。 然后将CD和边缘宽度值与公差进行比较，以检测和纠正形成过程中的变化。 在本发明的另一方面，将边缘宽度与预定极限进行比较，以自动检测具有倾斜侧壁的接触孔。

公开(公告)号：US07998846B2

公开(公告)日：2011-08-16

申请号：US12209478

申请日：2008-09-12

申请人： Eunha Kim ,  Jeremy Wahl ,  Shenqing Fang ,  YouSeok Suh ,  Kuo-Tung Chang ,  Yi Ma ,  Rinji Sugino ,  Jean Yang

发明人： Eunha Kim ,  Jeremy Wahl ,  Shenqing Fang ,  YouSeok Suh ,  Kuo-Tung Chang ,  Yi Ma ,  Rinji Sugino ,  Jean Yang

IPC分类号： H01L21/263

CPC分类号： H01L21/02675 ,  H01L21/02592 ,  H01L21/02691

摘要： A semiconductor fabrication system and method are presented. A three dimensional multilayer integrated circuit fabrication method can include forming a first device layer and forming a second device layer on top of the first device layer with minimal detrimental heat transfer to the first layer by utilizing a controlled laser layer formation annealing process. A controlled laser crystallization process can be utilized and the controlled laser can include creating an amorphous layer; defining a crystallization area in the amorphous layer, where in the crystallization area is defined to promote single crystal growth (i.e. prevent multi-crystalline growth); and applying laser to the crystallization area, wherein the laser is applied in a manner that prevents undesired heat transfer to another layer.

摘要翻译： 提出了半导体制造系统和方法。 三维多层集成电路制造方法可以包括通过利用受控激光层形成退火工艺形成第一器件层并在第一器件层顶部形成第二器件层，并以最小的有害热传递到第一层。 可以利用受控激光结晶过程，并且受控激光器可以包括产生非晶层; 限定非晶层中的结晶区域，其中结晶区域被限定为促进单晶生长（即防止多晶生长）; 以及将激光施加到结晶区域，其中以防止不希望的热传递到另一层的方式施加激光。

公开(公告)号：USD448550S1

公开(公告)日：2001-10-02

申请号：US29139505

申请日：2001-03-30

申请人： Jean Yang

设计人： Jean Yang

公开(公告)号：USD446639S1

公开(公告)日：2001-08-21

申请号：US29138566

申请日：2001-03-15

申请人： Jean Yang

设计人： Jean Yang

公开(公告)号：US07696094B2

公开(公告)日：2010-04-13

申请号：US11616563

申请日：2006-12-27

申请人： David Matsumoto ,  Michael Brennan ,  Vidyut Gopal ,  Jean Yang

发明人： David Matsumoto ,  Michael Brennan ,  Vidyut Gopal ,  Jean Yang

IPC分类号： H01L21/302

CPC分类号： H01L21/31053 ,  H01L27/115 ,  H01L27/11521 ,  H01L27/11568

摘要： A method for forming a semiconductor device may include forming a silicon oxynitride mask layer over a first layer. The first layer may be etched using the silicon oxynitride mask layer, to form a pattern in the first layer. The pattern may be filled with a dielectric material. The dielectric material may be planarized using a ceria-based slurry and using the silicon oxynitride mask layer as a stop layer.

摘要翻译： 形成半导体器件的方法可以包括在第一层上形成氮氧化硅掩模层。 可以使用氮氧化硅掩模层来蚀刻第一层，以在第一层中形成图案。 图案可以用电介质材料填充。 介电材料可以使用二氧化铈基浆料并使用氧氮化硅掩模层作为停止层进行平面化。

公开(公告)号：US06754106B1

公开(公告)日：2004-06-22

申请号：US10245146

申请日：2002-09-16

申请人： Yider Wu ,  Jean Yang ,  Jiang Li

发明人： Yider Wu ,  Jean Yang ,  Jiang Li

IPC分类号： G11C1606

CPC分类号： G11C11/5642 ,  G11C16/28 ,  G11C2211/5634

摘要： A load circuit for compensating for source side loading effects in a non-volatile memory. Specifically, embodiments of the present invention describe a reference cell that is coupled to a plurality of load circuits. At least one of the plurality of load circuits, an mth load circuit, comprises a select transistor coupled to m resistors that are coupled in series. The mth load circuit matches a source side loading effect of a corresponding mth memory cell located m memory cells away from a source line node on a source line coupling source regions in memory cells of a row of memory cells.

摘要翻译： 用于补偿非易失性存储器中源侧负载效应的负载电路。 具体地，本发明的实施例描述了耦合到多个负载电路的参考单元。 多个负载电路中的至少一个负载电路包括耦合到串联耦合的m个电阻器的选择晶体管。 第m个负载电路将位于m个存储单元的相应的第m个存储器单元的源极负载效应与源极线上的源极线节点耦合，该源极线耦合存储器单元的行的存储器单元中的源极区域。