公开(公告)号：US20130164898A1

公开(公告)日：2013-06-27

申请号：US13773558

申请日：2013-02-21

申请人： Ravi Pillarisetty ,  Mantu Hudait ,  Marko Radosavljevic ,  Gilbert Dewey ,  Jack T. Kavelieros

发明人： Ravi Pillarisetty ,  Mantu Hudait ,  Marko Radosavljevic ,  Gilbert Dewey ,  Jack T. Kavelieros

IPC分类号： H01L29/66

CPC分类号： H01L29/66522 ,  H01L29/1054 ,  H01L29/122 ,  H01L29/205 ,  H01L29/66477

摘要： A surface channel transistor is provided in a semiconductive device. The surface channel transistor is either a PMOS or an NMOS device. Epitaxial layers are disposed above the surface channel transistor to cause an increased bandgap phenomenon nearer the surface of the device. A process of forming the surface channel transistor includes grading the epitaxial layers.

摘要翻译： 表面沟道晶体管设置在半导体器件中。 表面沟道晶体管是PMOS或NMOS器件。 外延层设置在表面沟道晶体管的上方，导致更接近器件表面的带隙现象增加。 形成表面沟道晶体管的工艺包括对外延层进行分级。

公开(公告)号：US20100163927A1

公开(公告)日：2010-07-01

申请号：US12319097

申请日：2008-12-30

申请人： Ravi Pillarisetty ,  Mantu Hudait ,  Marko Radosavljevic ,  Willy Rachmady ,  Gilbert Dewey ,  Jack Kavalieros

发明人： Ravi Pillarisetty ,  Mantu Hudait ,  Marko Radosavljevic ,  Willy Rachmady ,  Gilbert Dewey ,  Jack Kavalieros

IPC分类号： H01L29/778 ,  H01L21/335

CPC分类号： H01L29/155 ,  H01L21/823807 ,  H01L21/823892 ,  H01L29/0653 ,  H01L29/205 ,  H01L29/207 ,  H01L29/66431 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/66795 ,  H01L29/7831

摘要： Embodiments of an apparatus and methods for providing three-dimensional complementary metal oxide semiconductor devices comprising modulation doped transistors are generally described herein. Other embodiments may be described and claimed.

摘要翻译： 本文通常描述用于提供包括调制掺杂晶体管的三维互补金属氧化物半导体器件的装置和方法的实施例。 可以描述和要求保护其他实施例。

公开(公告)号：US08633471B2

公开(公告)日：2014-01-21

申请号：US13032777

申请日：2011-02-23

申请人： Ravi Pillarisetty ,  Mantu Hudait ,  Marko Radosavljevic ,  Willy Rachmady ,  Gilbert Dewey ,  Jack Kavalieros

发明人： Ravi Pillarisetty ,  Mantu Hudait ,  Marko Radosavljevic ,  Willy Rachmady ,  Gilbert Dewey ,  Jack Kavalieros

IPC分类号： H01L29/12

CPC分类号： H01L29/155 ,  H01L21/823807 ,  H01L21/823892 ,  H01L29/0653 ,  H01L29/205 ,  H01L29/207 ,  H01L29/66431 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/66795 ,  H01L29/7831

摘要： Embodiments of an apparatus and methods for providing three-dimensional complementary metal oxide semiconductor devices comprising modulation doped transistors are generally described herein. Other embodiments may be described and claimed, which may include a modulation doped heterostructure, wherein the modulation doped heterostructure may comprise an active portion having a first bandgap and a delta doped portion having a second bandgap.

摘要翻译： 本文通常描述用于提供包括调制掺杂晶体管的三维互补金属氧化物半导体器件的装置和方法的实施例。 可以描述和要求保护其他实施例，其可以包括调制掺杂异质结构，其中调制掺杂异质结构可以包括具有第一带隙的有源部分和具有第二带隙的δ掺杂部分。

公开(公告)号：US08258498B2

公开(公告)日：2012-09-04

申请号：US13017862

申请日：2011-01-31

申请人： Prashant Majhi ,  Mantu Hudait ,  Jack T. Kavalieros ,  Ravi Pillarisetty ,  Marko Radosavljevic ,  Gilbert Dewey ,  Titash Rakshit ,  Willman Tsai

发明人： Prashant Majhi ,  Mantu Hudait ,  Jack T. Kavalieros ,  Ravi Pillarisetty ,  Marko Radosavljevic ,  Gilbert Dewey ,  Titash Rakshit ,  Willman Tsai

IPC分类号： H01L29/06 ,  H01L31/072 ,  H01L31/0336 ,  H01L31/0328 ,  H01L31/109

CPC分类号： H01L29/66431 ,  H01L21/28518 ,  H01L21/76802 ,  H01L21/76805 ,  H01L21/76897 ,  H01L29/152 ,  H01L29/165 ,  H01L29/41766 ,  H01L29/517 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/7783 ,  H01L29/7848 ,  H01L29/802

摘要： Embodiments described include straining transistor quantum well (QW) channel regions with metal source/drains, and conformal regrowth source/drains to impart a uni-axial strain in a MOS channel region. Removed portions of a channel layer may be filled with a junction material having a lattice spacing different than that of the channel material to causes a uni-axial strain in the channel, in addition to a bi-axial strain caused in the channel layer by a top barrier layer and a bottom buffer layer of the quantum well.

摘要翻译： 所描述的实施例包括具有金属源/漏极的应变晶体管量子阱（QW）沟道区，以及保形再生长源/漏极，以在MOS沟道区中赋予单轴应变。 沟道层的去除部分可以填充具有不同于沟道材料的晶格间隔的结合材料，以在通道中引起单轴应变，以及在沟道层中引起的双轴应变 顶部阻挡层和量子阱的底部缓冲层。

公开(公告)号：US07915642B2

公开(公告)日：2011-03-29

申请号：US12319097

申请日：2008-12-30

申请人： Ravi Pillarisetty ,  Mantu Hudait ,  Marko Radosavljevic ,  Willy Rachmady ,  Gilbert Dewey ,  Jack Kavalieros

发明人： Ravi Pillarisetty ,  Mantu Hudait ,  Marko Radosavljevic ,  Willy Rachmady ,  Gilbert Dewey ,  Jack Kavalieros

IPC分类号： H01L29/778

CPC分类号： H01L29/155 ,  H01L21/823807 ,  H01L21/823892 ,  H01L29/0653 ,  H01L29/205 ,  H01L29/207 ,  H01L29/66431 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/66795 ,  H01L29/7831

摘要： Embodiments of an apparatus and methods for providing three-dimensional complementary metal oxide semiconductor devices comprising modulation doped transistors are generally described herein. Other embodiments may be described and claimed.

摘要翻译： 本文通常描述用于提供包括调制掺杂晶体管的三维互补金属氧化物半导体器件的装置和方法的实施例。 可以描述和要求保护其他实施例。

公开(公告)号：US08501508B2

公开(公告)日：2013-08-06

申请号：US13479121

申请日：2012-05-23

申请人： Prashant Majhi ,  Mantu Hudait ,  Jack T. Kavalieros ,  Ravi Pillarisetty ,  Marko Radosavljevic ,  Gilbert Dewey ,  Titash Rakshit ,  Willman Tsai

发明人： Prashant Majhi ,  Mantu Hudait ,  Jack T. Kavalieros ,  Ravi Pillarisetty ,  Marko Radosavljevic ,  Gilbert Dewey ,  Titash Rakshit ,  Willman Tsai

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： H01L29/66431 ,  H01L21/28518 ,  H01L21/76802 ,  H01L21/76805 ,  H01L21/76897 ,  H01L29/152 ,  H01L29/165 ,  H01L29/41766 ,  H01L29/517 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/7783 ,  H01L29/7848 ,  H01L29/802

摘要： Embodiments described include straining transistor quantum well (QW) channel regions with metal source/drains, and conformal regrowth source/drains to impart a uni-axial strain in a MOS channel region. Removed portions of a channel layer may be filled with a junction material having a lattice spacing different than that of the channel material to causes a uni-axial strain in the channel, in addition to a bi-axial strain caused in the channel layer by a top barrier layer and a bottom buffer layer of the quantum well.

摘要翻译： 所描述的实施例包括具有金属源/漏极的应变晶体管量子阱（QW）沟道区，以及保形再生长源/漏极，以在MOS沟道区中赋予单轴应变。 沟道层的去除部分可以填充具有不同于沟道材料的晶格间隔的结合材料，以在通道中引起单轴应变，以及在沟道层中引起的双轴应变 顶部阻挡层和量子阱的底部缓冲层。

公开(公告)号：US08115235B2

公开(公告)日：2012-02-14

申请号：US12378828

申请日：2009-02-20

申请人： Ravi Pillarisetty ,  Titash Rakshit ,  Mantu Hudait ,  Marko Radosavljevic ,  Gilbert Dewey ,  Benjamin Chu-Kung

发明人： Ravi Pillarisetty ,  Titash Rakshit ,  Mantu Hudait ,  Marko Radosavljevic ,  Gilbert Dewey ,  Benjamin Chu-Kung

IPC分类号： H01L31/06

CPC分类号： H01L29/122 ,  B82Y10/00 ,  H01L29/045 ,  H01L29/205 ,  H01L29/207 ,  H01L29/4236 ,  H01L29/51 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/7785

摘要： A quantum well (QW) layer is provided in a semiconductive device. The QW layer is provided with a beryllium-doped halo layer in a barrier structure below the QW layer. The semiconductive device includes InGaAs bottom and top barrier layers respectively below and above the QW layer. The semiconductive device also includes a high-k gate dielectric layer that sits on the InP spacer first layer in a gate recess. A process of forming the QW layer includes using an off-cut semiconductive substrate.

摘要翻译： 在半导体器件中提供量子阱（QW）层。 QW层在QW层下面的阻挡结构中设置有铍掺杂卤素层。 半导体器件包括分别在QW层下方和上方的InGaAs底部和顶部势垒层。 半导体器件还包括位于栅极凹槽中的InP间隔物第一层上的高k栅介质层。 形成QW层的方法包括使用切断的半导体衬底。

公开(公告)号：US20100213441A1

公开(公告)日：2010-08-26

申请号：US12378828

申请日：2009-02-20

申请人： Ravi Pillarisetty ,  Titash Rakshit ,  Mantu Hudait ,  Marko Radosavljevic ,  Gilbert Dewey ,  Benjamin Chu-Kung

发明人： Ravi Pillarisetty ,  Titash Rakshit ,  Mantu Hudait ,  Marko Radosavljevic ,  Gilbert Dewey ,  Benjamin Chu-Kung

IPC分类号： H01L29/80 ,  H01L21/3205

CPC分类号： H01L29/122 ,  B82Y10/00 ,  H01L29/045 ,  H01L29/205 ,  H01L29/207 ,  H01L29/4236 ,  H01L29/51 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/7785

摘要： A quantum well (QW) layer is provided in a semiconductive device. The QW layer is provided with a beryllium-doped halo layer in a barrier structure below the QW layer. The semiconductive device includes InGaAs bottom and top barrier layers respectively below and above the QW layer. The semiconductive device also includes a high-k gate dielectric layer that sits on the InP spacer first layer in a gate recess. A process of forming the QW layer includes using an off-cut semiconductive substrate.

摘要翻译： 在半导体器件中提供量子阱（QW）层。 QW层在QW层下面的阻挡结构中设置有铍掺杂卤素层。 半导体器件包括分别在QW层下方和上方的InGaAs底部和顶部势垒层。 半导体器件还包括位于栅极凹槽中的InP间隔物第一层上的高k栅介质层。 形成QW层的方法包括使用切断的半导体衬底。

公开(公告)号：US08846480B2

公开(公告)日：2014-09-30

申请号：US13773558

申请日：2013-02-21

申请人： Ravi Pillarisetty ,  Mantu Hudait ,  Marko Radosavljevic ,  Gilbert Dewey ,  Jack T. Kavalieros

发明人： Ravi Pillarisetty ,  Mantu Hudait ,  Marko Radosavljevic ,  Gilbert Dewey ,  Jack T. Kavalieros

IPC分类号： H01L29/66 ,  H01L29/10 ,  H01L29/205

CPC分类号： H01L29/66522 ,  H01L29/1054 ,  H01L29/122 ,  H01L29/205 ,  H01L29/66477

摘要： A surface channel transistor is provided in a semiconductive device. The surface channel transistor is either a PMOS or an NMOS device. Epitaxial layers are disposed above the surface channel transistor to cause an increased bandgap phenomenon nearer the surface of the device. A process of forming the surface channel transistor includes grading the epitaxial layers.

摘要翻译： 表面沟道晶体管设置在半导体器件中。 表面沟道晶体管是PMOS或NMOS器件。 外延层设置在表面沟道晶体管的上方，导致更接近器件表面的带隙现象增加。 形成表面沟道晶体管的工艺包括对外延层进行分级。

公开(公告)号：US20110140171A1

公开(公告)日：2011-06-16

申请号：US13032777

申请日：2011-02-23

申请人： Ravi Pillarisetty ,  Mantu Hudait ,  Marko Radosavljevic ,  Willy Rachmady ,  Gilbert Dewey ,  Jack Kavalieros

发明人： Ravi Pillarisetty ,  Mantu Hudait ,  Marko Radosavljevic ,  Willy Rachmady ,  Gilbert Dewey ,  Jack Kavalieros

IPC分类号： H01L29/06

CPC分类号： H01L29/155 ,  H01L21/823807 ,  H01L21/823892 ,  H01L29/0653 ,  H01L29/205 ,  H01L29/207 ,  H01L29/66431 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/66795 ,  H01L29/7831

摘要： Embodiments of an apparatus and methods for providing three-dimensional complementary metal oxide semiconductor devices comprising modulation doped transistors are generally described herein. Other embodiments may be described and claimed.

摘要翻译： 本文通常描述用于提供包括调制掺杂晶体管的三维互补金属氧化物半导体器件的装置和方法的实施例。 可以描述和要求保护其他实施例。