公开(公告)号：US07332417B2

公开(公告)日：2008-02-19

申请号：US10765372

申请日：2004-01-27

申请人： Richard Westhoff ,  Christopher J. Vineis ,  Matthew T. Currie ,  Vicky T. Yang ,  Christopher W. Leitz

发明人： Richard Westhoff ,  Christopher J. Vineis ,  Matthew T. Currie ,  Vicky T. Yang ,  Christopher W. Leitz

IPC分类号： H01L21/20 ,  H01L21/36 ,  H01L21/30

CPC分类号： H01L21/324 ,  C30B25/02 ,  C30B29/52 ,  H01L21/0237 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02439 ,  H01L21/0245 ,  H01L21/02507 ,  H01L21/0251 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/3247

摘要： Semiconductor structures are formed with semiconductor layers having reduced compositional variation. Top surfaces of the semiconductor layers are substantially haze-free.

摘要翻译： 半导体结构由具有降低的组成变化的半导体层形成。 半导体层的顶表面基本上是无雾的。