公开(公告)号：US20060210102A1

公开(公告)日：2006-09-21

申请号：US11358675

申请日：2006-02-20

申请人： Maxim Zalalutdinov ,  Keith Aubin ,  Robert Reichenbach ,  Jeevak Parpia ,  Harold Craighead

发明人： Maxim Zalalutdinov ,  Keith Aubin ,  Robert Reichenbach ,  Jeevak Parpia ,  Harold Craighead

IPC分类号： H04R25/00

CPC分类号： G01S5/26 ,  A61B5/0031 ,  A61B5/07 ,  A61B5/073 ,  A61B8/0833 ,  G01S5/0036

摘要： Position tracking of a receiving device within a gas or fluidic environment (for example a human body), is performed by measuring acoustic wave propagation parameters to provide real time, high precision telemetry. Multiple synchronized acoustic sources at different known locations transmit signals that are received by a receiver on the device to be located. The coordinates of the receiver can be determined by measuring a difference in the amplitude (coarse positioning) or phase (precise positioning) of the acoustic waves coming from different sources using triangulation calculations.

摘要翻译： 通过测量声波传播参数来实现气体或流体环境（例如人体）中的接收装置的位置跟踪，以提供实时，高精度的遥测。 在不同已知位置处的多个同步声源传送由要被定位的设备上的接收机接收的信号。 可以通过使用三角测量计算来测量来自不同源的声波的振幅（粗定位）或相位（精确定位）的差异来确定接收器的坐标。

公开(公告)号：US20070200648A1

公开(公告)日：2007-08-30

申请号：US11598097

申请日：2006-11-09

申请人： Robert Reichenbach ,  Keith Aubin ,  Maxim Zalalutdinov ,  Jeevak Parpia ,  Harold Craighead

发明人： Robert Reichenbach ,  Keith Aubin ,  Maxim Zalalutdinov ,  Jeevak Parpia ,  Harold Craighead

IPC分类号： H03H9/70

CPC分类号： H03H9/02401 ,  G01S7/032 ,  H01Q3/26 ,  H03H3/0072 ,  H03H9/2436

摘要： An array of micromechanical oscillators have different resonant frequencies based on their geometries. In one embodiment, a micromechanical oscillator has a resonant frequency defined by an effective spring constant that is modified by application of heat. In one embodiment, the oscillator is disc of material supported by a pillar of much smaller diameter than the disc. The periphery of the disc is heated to modify the resonant frequency (or equivalently the spring constant or stiffness) of the disc. Continuous control of the output phase and frequency may be achieved when the oscillator becomes synchronized with an imposed sinusoidal force of close frequency. The oscillator frequency can be detuned to produce an easily controlled phase differential between the injected signal and the oscillator feedback. A phased array radar may be produced using independent phase controllable oscillators.

摘要翻译： 微机械振荡器阵列根据其几何形状具有不同的谐振频率。 在一个实施例中，微机械振荡器具有由通过施加热来修改的有效弹簧常数限定的谐振频率。 在一个实施例中，振荡器是由比该盘小得多的直径支柱支撑的材料盘。 加热盘的周边以改变盘的共振频率（或等效地为弹簧常数或刚度）。 当振荡器与施加的接近频率的正弦力同步时，可以实现输出相位和频率的连续控制。 振荡器频率可以失谐，以在注入的信号和振荡器反馈之间产生容易控制的相位差。 可以使用独立的相位可控振荡器来产生相控阵雷达。

公开(公告)号：US20060239635A1

公开(公告)日：2006-10-26

申请号：US11358299

申请日：2006-02-20

申请人： Maxim Zalalutdinov ,  Robert Reichenbach ,  Keith Aubin ,  Brian Houston ,  Jeevak Parpia ,  Harold Craighead

发明人： Maxim Zalalutdinov ,  Robert Reichenbach ,  Keith Aubin ,  Brian Houston ,  Jeevak Parpia ,  Harold Craighead

IPC分类号： G02B6/00

CPC分类号： H03D1/00 ,  G02B26/0858 ,  H03B5/30 ,  H03C1/46 ,  H03D1/02 ,  H03D3/34 ,  H03H3/0072 ,  H03H9/02259 ,  H03H9/2405 ,  H03H9/2436 ,  H03H2009/02488 ,  H03H2009/02511

摘要： A micromechanical resonator is formed on a substrate. The resonator has a partial spherical shell clamped on an outside portion of the shell to the substrate. In other embodiments, a flat disc or other shape may be used. Movement is induced in a selected portion of the disc, inducing easily detectible out-of-plane motion. A laser is used in one embodiment to heat the selected portion of the disc and induce the motion. The motion may be detected by capacitive or interferometric techniques.

摘要翻译： 在基板上形成微机械谐振器。 谐振器具有夹在壳体的外部部分到基板的部分球壳。 在其他实施例中，可以使用平盘或其它形状。 在盘的选定部分中感应运动，引起容易检测的平面外运动。 在一个实施例中使用激光器来加热盘的选定部分并且引起运动。 运动可以通过电容或干涉技术来检测。

公开(公告)号：US20060238239A1

公开(公告)日：2006-10-26

申请号：US11358917

申请日：2006-02-20

申请人： Maxim Zalalutdinov ,  Robert Reichenbach ,  Keith Aubin ,  Brian Houston ,  Jeevak Parpia ,  Harold Craighead

发明人： Maxim Zalalutdinov ,  Robert Reichenbach ,  Keith Aubin ,  Brian Houston ,  Jeevak Parpia ,  Harold Craighead

IPC分类号： H03D3/00

CPC分类号： H03D1/00 ,  G02B26/0858 ,  H03B5/30 ,  H03C1/46 ,  H03D1/02 ,  H03D3/34 ,  H03H3/0072 ,  H03H9/02259 ,  H03H9/2405 ,  H03H9/2436 ,  H03H2009/02488 ,  H03H2009/02511

摘要： A source signal is converted into a time-variant temperature field with transduction into mechanical motion. In one embodiment, the conversion of a source signal into the time-variant temperature field is provided by utilizing a micro-fabricated fast response, bolometer-type radio frequency power meter. A resonant-type micromechanical thermal actuator may be utilized for temperature read-out and demodulation.

摘要翻译： 源信号被转换成具有转换为机械运动的时变温度场。 在一个实施例中，通过利用微制造的快速响应，测辐射热表型射频功率计，提供源信号到时变温度场的转换。 谐振型微机械热致动器可用于温度读出和解调。

公开(公告)号：US20060176122A1

公开(公告)日：2006-08-10

申请号：US11275653

申请日：2006-01-20

申请人： Keith Aubin ,  Bojan Ilic ,  Maxim Zalalutdinov ,  Robert Reichenbach ,  Jeevak Parpia ,  Harold Craighead

发明人： Keith Aubin ,  Bojan Ilic ,  Maxim Zalalutdinov ,  Robert Reichenbach ,  Jeevak Parpia ,  Harold Craighead

IPC分类号： H03L1/00

CPC分类号： H03B5/30 ,  B81B3/0029 ,  B81B2203/0118 ,  H03H9/02259 ,  H03H9/2457 ,  H03H2009/02511

摘要： The temperature of a remote portion of device having a microelectromechanical oscillator is modulated to create oscillation of the oscillators. In one embodiment, a localized heat source is placed on a device layer of a multilayered stack, consisting of device, sacrificial and substrate layers. The localized heat source may be a laser beam in one embodiment. The oscillator is supported by the device layer and may be formed in the device layer in various embodiments. The oscillator may be spaced apart from the localized heat source.

摘要翻译： 具有微机电振荡器的器件的远端部分的温度被调制以产生振荡器的振荡。 在一个实施例中，将局部热源放置在由器件，牺牲层和衬底层组成的多层叠层的器件层上。 在一个实施例中，局部热源可以是激光束。 振荡器由器件层支撑，并且可以在各种实施例中形成在器件层中。 振荡器可以与局部热源间隔开。

公开(公告)号：US20070109656A1

公开(公告)日：2007-05-17

申请号：US11358689

申请日：2006-02-20

申请人： Keith Aubin ,  Maxim Zalalutdinov ,  Lidija Sekaric ,  Brian Houston ,  Alan Zehnder ,  Jeevak Parpia ,  Harold Craighead

发明人： Keith Aubin ,  Maxim Zalalutdinov ,  Lidija Sekaric ,  Brian Houston ,  Alan Zehnder ,  Jeevak Parpia ,  Harold Craighead

IPC分类号： G02B27/10

CPC分类号： H03D1/00 ,  G02B26/0858 ,  H03B5/30 ,  H03C1/46 ,  H03D1/02 ,  H03D3/34 ,  H03H3/0072 ,  H03H9/02259 ,  H03H9/2405 ,  H03H9/2436 ,  H03H2009/02488 ,  H03H2009/02511

摘要： A method of increasing a quality factor for a micromechanical resonator uses a laser beam to anneal the micromechanical resonator. In one embodiment, the micromechanical oscillator is formed by fabricating a mushroom shaped silicon oscillator supported by a substrate via a pillar. The laser beam is focused on a periphery of the mushroom shaped silicon oscillator to modify the surface of the mushroom shaped silicon oscillator. In a further embodiment, the mushroom shaped oscillator is a silicon disk formed on a sacrificial layer. Portions of the sacrificial layer are removed to free the periphery of the disk and leave a supporting pillar at the center of the disk. In further embodiments, different type resonators may be used.

摘要翻译： 提高微机械谐振器的品质因子的方法使用激光束退火微机械谐振器。 在一个实施例中，微机械振荡器通过经由支柱制造由衬底支撑的蘑菇状硅振荡器形成。 激光束聚焦在蘑菇状硅振荡器的周围，以改变蘑菇状硅振荡器的表面。 在另一个实施例中，蘑菇形振荡器是形成在牺牲层上的硅盘。 除去牺牲层的一部分以释放盘的周边，并将支撑柱留在盘的中心。 在另外的实施例中，可以使用不同类型的谐振器。