公开(公告)号：US20160266295A1

公开(公告)日：2016-09-15

申请号：US14846471

申请日：2015-09-04

Applicant: Samsung Display Co., Ltd.

Inventor： Sung-Won CHO ,  Jung-Ha SON ,  Su-Bin BAE ,  Yun-Jong YEO ,  Joo-Hyung LEE

IPC: G02B5/30 ,  G02F1/1335

CPC classification number: G02B5/3058 ,  B81C1/00388 ,  B81C1/00404 ,  B81C2201/0149 ,  C09K13/00 ,  C23F4/00 ,  G02F2001/133548 ,  G03F7/0041 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/3081 ,  H01L21/3088 ,  H01L21/31056 ,  H01L21/31111 ,  H01L21/31116

Abstract: A method of manufacturing a polarizer includes forming a first layer on a base substrate, forming a first partition wall layer on the first layer, forming a second partition wall layer on the first partition wall, forming a plurality of first partition wall patterns and a plurality of second partition walls disposed on the first partition wall patterns by etching the first partition wall and the second partition wall at the same time, forming a block copolymer layer on the first layer on which the plurality of first partition wall patterns are formed, forming a plurality of fine patterns from the block copolymer layer, and patterning the first layer using the fine patterns and the second partition wall patterns as a mask.

Abstract translation: 偏振片的制造方法包括在基底基板上形成第一层，在第一层上形成第一分隔壁层，在第一分隔壁上形成第二分隔壁层，形成多个第一隔壁图案和多个第一分隔壁图案 通过同时蚀刻第一分隔壁和第二分隔壁而在第一分隔壁图案上设置的第二分隔壁，在形成有多个第一分隔壁图案的第一层上形成嵌段共聚物层，形成 从嵌段共聚物层形成多个精细图案，并使用精细图案和第二分隔壁图案作为掩模对第一层图案化。