公开(公告)号：US08933251B2

公开(公告)日：2015-01-13

申请号：US13847667

申请日：2013-03-20

申请人： Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.

发明人： Takeru Watanabe ,  Satoshi Shinachi ,  Takeshi Kinsho ,  Koji Hasegawa ,  Yuji Harada ,  Jun Hatakeyama ,  Kazunori Maeda ,  Tomohiro Kobayashi

IPC分类号： C07D319/06 ,  C07D309/10 ,  C07D311/02 ,  C07D311/96 ,  C07D307/20

CPC分类号： G03F7/11 ,  C07D307/04 ,  C07D307/77 ,  C07D315/00 ,  C07D319/06 ,  C08F14/18 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041 ,  C08F2/00

摘要： A fluorinated monomer of cyclic acetal structure has formula (1) wherein R is a C1-C20 alkyl group which may be substituted with halogen or separated by oxygen or carbonyl, and Z is a divalent organic group which forms a ring with alkylenoxy and contains a polymerizable unsaturated group. A polymer derived from the fluorinated monomer may be endowed with appropriate water repellency, water sliding property, lipophilicity, acid lability and hydrolyzability and is useful in formulating a protective coating composition and a resist composition.

摘要翻译： 环状缩醛结构的氟化单体具有式（1），其中R是可以被卤素取代或被氧或羰基分离的C1-C20烷基，Z是与亚烷氧基形成环的二价有机基团，并含有 可聚合不饱和基团。 衍生自氟化单体的聚合物可赋予适当的防水性，水滑性，亲油性，酸性和水解性，并且可用于配制保护涂料组合物和抗蚀剂组合物。