公开(公告)号：US20160247659A1

公开(公告)日：2016-08-25

申请号：US14631330

申请日：2015-02-25

申请人： Tae Sik OH ,  Ho Seob KIM ,  Dae Wook KIM

发明人： Tae Sik OH ,  Ho Seob KIM ,  Dae Wook KIM

IPC分类号： H01J37/147 ,  H01J37/26 ,  H01J37/073

CPC分类号： H01J37/1477 ,  H01J9/02 ,  H01J37/073 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/04924 ,  H01J2237/1516

摘要： Disclosed is an electrostatic quadrupole deflector for a microcolumn. The deflector includes an electron beam passage hole, deflecting electrodes to which a deflection voltage is applied, and floating electrodes to which the deflection voltage is not applied. The deflector is structurally stable and has a simple driving system. The deflector has good performance and characteristics.

摘要翻译： 公开了用于微柱的静电四极偏转器。 偏转器包括电子束通过孔，施加偏转电压的偏转电极和不施加偏转电压的浮动电极。 导流板结构稳定，驱动系统简单。 导流板具有良好的性能和特点。

公开(公告)号：US20160247657A1

公开(公告)日：2016-08-25

申请号：US14631729

申请日：2015-02-25

申请人： Ho Seob KIM ,  Tae Sik OH ,  Dae Wook KIM ,  Seung Jun AHN ,  Hyung Woo KIM

发明人： Ho Seob KIM ,  Tae Sik OH ,  Dae Wook KIM ,  Seung Jun AHN ,  Hyung Woo KIM

IPC分类号： H01J37/063 ,  H01J37/10 ,  H01J37/147 ,  H01J37/065

CPC分类号： H01J37/063 ,  H01J37/073 ,  H01J2237/0635 ,  H01J2237/1205 ,  H01J2237/1215

摘要： Disclosed is a micro-electron column having nanostructure tips. The micro-electro column includes an electron emission source that is provided with a plurality of nanostructure tips and emits electrons, a source lens, a deflector, and a focusing lens. The nanostructure tips of the electron emission source spread over an area that is larger than that of an aperture of a first lens electrode of a source lens, which is nearest to the electron emission source.

摘要翻译： 公开了具有纳米结构尖端的微电子柱。 微电极柱包括具有多个纳米结构尖端并发射电子的电子发射源，源极透镜，偏转器和聚焦透镜。 电子发射源的纳米结构尖端分布在比离电子发射源最近的源透镜的第一透镜电极的孔径大的区域上。