公开(公告)号：US5491425A

公开(公告)日：1996-02-13

申请号：US215774

申请日：1994-03-22

申请人： Toru Watanabe ,  Yuri Yonekura ,  Katsuya Okumura

发明人： Toru Watanabe ,  Yuri Yonekura ,  Katsuya Okumura

IPC分类号： G01R1/073 ,  G01R1/067 ,  G01R31/26 ,  H01L21/66 ,  G01R1/06

CPC分类号： G01R1/06783

摘要： A probe is attached to a support plate vertically to the surface of the support plate. A drop of a molten metal is formed at a tip portion of the probe. The support plate has a heater for setting the temperature of the probe and the drop of the molten metal at the tip portion of the probe. The probe is situated at a position corresponding to a position of an electrode of an LSI. The probe is connected to a measuring device for evaluating characteristics of the LSI by wiring. The drop of the molten metal connects the probe and the electrode of the LSI electrically.

摘要翻译： 探针垂直于支撑板的表面附接到支撑板。 在探针的尖端处形成一滴熔融金属。 支撑板具有用于将探针的温度和熔融金属的液滴设置在探针的尖端部分的加热器。 探针位于与LSI的电极的位置对应的位置。 探头连接到用于通过布线评估LSI的特性的测量装置。 熔融金属液滴将探针和LSI的电极电连接。

公开(公告)号：US20110143549A1

公开(公告)日：2011-06-16

申请号：US12963187

申请日：2010-12-08

申请人： Makiko TANGE ,  Naoya Hayamizu ,  Nobuyoshi Sato ,  Yuri Yonekura ,  Hideaki Hirabayashi ,  Yoshiaki Kurokawa ,  Nobuo Kobayashi ,  Masaaki Kato ,  Hiroki Domon

发明人： Makiko TANGE ,  Naoya Hayamizu ,  Nobuyoshi Sato ,  Yuri Yonekura ,  Hideaki Hirabayashi ,  Yoshiaki Kurokawa ,  Nobuo Kobayashi ,  Masaaki Kato ,  Hiroki Domon

IPC分类号： H01L21/302 ,  B44C1/22 ,  C23F1/00 ,  H01L21/02

CPC分类号： C25B1/22 ,  C25B9/08 ,  G03F1/80 ,  G03F7/423 ,  H01L21/02057 ,  H01L21/31133 ,  H01L21/6708

摘要： In one embodiment, an etching method is disclosed. The method can include producing an oxidizing substance by electrolyzing a sulfuric acid solution, and producing an etching solution having a prescribed oxidizing species concentration by controlling a produced amount of the produced oxidizing substance. The method can include supplying the produced etching solution to a surface of a workpiece.

摘要翻译： 在一个实施例中，公开了蚀刻方法。 该方法可以包括通过电解硫酸溶液来生产氧化物质，并通过控制生成的氧化物质的产生量来制备具有规定的氧化物质浓度的蚀刻溶液。 该方法可以包括将所产生的蚀刻溶液供应到工件的表面。