利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册

搜索结果

10 条记录 (耗时 0.027 秒)

    Projection exposure device
    1.
    发明授权
    Projection exposure device 失效

    公开(公告)号：US06636367B2

    公开(公告)日：2003-10-21

    申请号：US09955921

    申请日：2001-09-19

    申请人： Ulrich Drodofsky ,  Nils Dieckmann ,  Martin Antoni ,  Hans-Joachim Miesner

    发明人： Ulrich Drodofsky ,  Nils Dieckmann ,  Martin Antoni ,  Hans-Joachim Miesner

    IPC分类号： G02B702

    CPC分类号： G03F7/70133 ,  G03F7/70141

    摘要： A projection exposure device (1), in particular for micro-lithography, serves to produce an image of an object (2) in an image plane (11) positioned in an object plane (10). For this reason the projection exposure device (1) has a radiation source (4) emitting projection radiation (5). Illumination optics (6) are positioned between the radiation source (4) and the object plane (10) and projection optics (8) are positioned between the object plane (10) and the image plane (11). A detection device (30) is provided to measure the illumination angle distribution of the projection radiation (5) in a field plane (10). This communicates via at least one control device (34, 18) with at least one manipulator (20, 45, 47). The latter serves to move at least one optical component (7, 41) within the projection ray path (5, 9). The illumination angle distribution changes as a result of the controlled movement of the optical component (7, 41). This can therefore be adjusted depending on the measurement result and for example adapted to the object structure.

    Devices for the magnified viewing of an object
    2.
    发明授权
    Devices for the magnified viewing of an object 有权
    用于放大观看对象的设备

    公开(公告)号：US07706064B2

    公开(公告)日：2010-04-27

    申请号：US11660390

    申请日：2005-08-11

    申请人： Ulrich Drodofsky ,  Gerd Gstoehl ,  Dusan Zadravec

    发明人： Ulrich Drodofsky ,  Gerd Gstoehl ,  Dusan Zadravec

    IPC分类号： G02B23/04

    CPC分类号： G02B23/10 ,  G02B23/18

    摘要： A device for the magnified viewing of an object, from which object rays originate, includes a lens system (1) for collecting object rays. In one embodiment of the invention, the device includes: a display (2) from which display rays (14) originate, and; a left eyepiece (3) and a right eyepiece (3), via which a left-eye and right-eye beam (5 and 6) of visual field rays are projected into the left and right eye of a user of the device. According to this inventive embodiment, an optical component (7, 8, 9, 10, 11) is provided with a physical ray distributing surface (12) on which a beam of collected object rays (13) and a beam of display rays (14) can be superimposed and can be divided up into the left-eye beam and right-eye beam (5, 6) of the visual field rays. This enables a reduction in losses of display rays and object rays.

    摘要翻译： 用于放大观看物体的物体的装置包括用于收集物体光线的透镜系统（1）。 在本发明的一个实施例中，该装置包括：显示器（2），显示射线（14）从该显示器发出; 左目镜（3）和右目镜（3），通过其将视野射线的左眼和右眼光束（5和6）投射到装置的使用者的左眼和右眼中。 根据本发明的实施例，光学部件（7,8,9,10,11）设置有物理射线分布表面（12），收集的物体射线（13）和显示射线束（14） ）可以叠加并且可以分成视野射线的左眼光束和右眼光束（5,6）。 这使得能够减少显示射线和物体射线的损耗。

    Devices for the Magnified Viewing of an Object
    5.
    发明申请
    Devices for the Magnified Viewing of an Object 有权
    用于放大查看对象的设备

    公开(公告)号：US20070273968A1

    公开(公告)日：2007-11-29

    申请号：US11660390

    申请日：2005-08-11

    申请人： Ulrich Drodofsky ,  Gerd Gstoehl ,  Dusan Zadravec

    发明人： Ulrich Drodofsky ,  Gerd Gstoehl ,  Dusan Zadravec

    IPC分类号： G02B23/04

    CPC分类号： G02B23/10 ,  G02B23/18

    摘要： A device for the magnified viewing of an object, from which object rays originate, includes a lens system (1) for collecting object rays. In one embodiment of the invention, the device includes: a display (2) from which display rays (14) originate, and; a left eyepiece (3) and a right eyepiece (3), via which a left-eye and right-eye beam (5 and 6) of visual field rays are projected into the left and right eye of a user of the device. According to this inventive embodiment, an optical component (7, 8, 9, 10, 11) is provided with a physical ray distributing surface (12) on which a beam of collected object rays (13) and a beam of display rays (14) can be superimposed and can be divided up into the left-eye beam and right-eye beam (5, 6) of the visual field rays. This enables a reduction in losses of display rays and object rays.

    摘要翻译： 用于放大观看物体的物体的装置包括用于收集物体光线的透镜系统（1）。 在本发明的一个实施例中，该装置包括：显示器（2），显示射线（14）从该显示器发出; 左目镜（3）和右目镜（3），通过其将视野射线的左眼和右眼光束（5和6）投射到装置的使用者的左眼和右眼中。 根据本发明的实施例，光学部件（7,8,9,10,11）设置有物理射线分布表面（12），收集的物体射线（13）和显示射线束（14） ）可以叠加并且可以分成视野射线的左眼光束和右眼光束（5,6）。 这使得能够减少显示射线和物体射线的损耗。

    Not temperature stabilized pulsed laser diode and all fibre power amplifier
    6.
    发明授权
    Not temperature stabilized pulsed laser diode and all fibre power amplifier 有权
    不是温度稳定的脉冲激光二极管和所有光纤功率放大器

    公开(公告)号：US07957431B2

    公开(公告)日：2011-06-07

    申请号：US11721864

    申请日：2005-09-30

    申请人： Ulrich Drodofsky ,  Marcel Zeller

    发明人： Ulrich Drodofsky ,  Marcel Zeller

    IPC分类号： H01S3/30 ,  H01S3/08

    CPC分类号： H01S3/06754 ,  G01S7/4814 ,  G01S7/4818 ,  G01S7/484 ,  G01S7/499 ,  G01S17/10 ,  H01S3/005 ,  H01S3/0078 ,  H01S3/094076 ,  H01S3/09415 ,  H01S3/1302 ,  H01S3/1305 ,  H01S5/0612 ,  H01S2301/02

    摘要： A laser system has an output/input coupler unit (49) with a circulator (37). An output of the circulator (37) is operationally connected to a detector unit (43). The input/output (EA37) of the circulator is operationally connected to a transmitter and a receiver optics 41. Laser light is input to the circulator (E37). The input (E37), output (A37) and output/input (EA37) of the circulator are optical fibers. The pulsed diode (3) is not temperature stabilized. To reduce amplified spontaneous emission (ASE) generated in the optical fiber amplifier (9), a narrow band-pass filter unit (29) is used. Filter unit (29) has a central wavelength with a temperature dependence which is matched to the temperature dependent wavelength shift of the pulsed diode (3).

    摘要翻译： 激光系统具有带循环器（37）的输出/输入耦合器单元（49）。 循环器（37）的输出可操作地连接到检测器单元（43）。 循环器的输入/输出（EA37）可操作地连接到发射器和接收器光学器件41.激光被输入到循环器（E37）。 循环器的输入（E37），输出（A37）和输出/输入（EA37）是光纤。 脉冲二极管（3）不是温度稳定的。 为了减少在光纤放大器（9）中产生的放大的自发发射（ASE），使用窄带通滤波器单元（29）。 滤波器单元（29）具有与脉冲二极管（3）的温度相关波长偏移匹配的温度依赖性的中心波长。

    Not Temperature Stabilized Pulsed Laser Diode and All Fibre Power Amplifier
    7.
    发明申请
    Not Temperature Stabilized Pulsed Laser Diode and All Fibre Power Amplifier 有权
    不是温度稳定的脉冲激光二极管和所有光纤功率放大器

    公开(公告)号：US20080259974A1

    公开(公告)日：2008-10-23

    申请号：US11721864

    申请日：2005-09-30

    申请人： Ulrich Drodofsky ,  Marcel Zeller

    发明人： Ulrich Drodofsky ,  Marcel Zeller

    IPC分类号： H01S3/10

    CPC分类号： H01S3/06754 ,  G01S7/4814 ,  G01S7/4818 ,  G01S7/484 ,  G01S7/499 ,  G01S17/10 ,  H01S3/005 ,  H01S3/0078 ,  H01S3/094076 ,  H01S3/09415 ,  H01S3/1302 ,  H01S3/1305 ,  H01S5/0612 ,  H01S2301/02

    摘要： A laser system has an output/input coupler unit (49) with a circulator (37). An output of the circulator (37) is operationally connected to a detector unit (43). The input/output (EA37) of the circulator is operationally connected to a transmitter and a receiver optics 41. Laser light is input to the circulator (E37). The input (E37), output (A37) and output/input (E A37) of the circulator are optical fibres. The pulsed diode (3) is not temperature stabilized. To reduce amplified spontaneous emission (ASE) generated in the optical fibre amplifier (9), a narrow band-pass filter unit (29) is used. Filter unit (29) has a central wavelength with a temperature dependence which is matched to the temperature dependent wavelength shift of the pulsed diode (3).

    摘要翻译： 激光系统具有带循环器（37）的输出/输入耦合器单元（49）。 循环器（37）的输出可操作地连接到检测器单元（43）。 循环器的输入/输出（EA 37）可操作地连接到发射器和接收器光学器件41.激光被输入到循环器（E 37）。 循环器的输入（E 37），输出（A 37）和输出/输入（E A 37）是光纤。 脉冲二极管（3）不是温度稳定的。 为了减少在光纤放大器（9）中产生的放大的自发发射（ASE），使用窄带通滤波器单元（29）。 滤波器单元（29）具有与脉冲二极管（3）的温度相关波长偏移匹配的温度依赖性的中心波长。

    Laser-system
    8.
    发明授权
    Laser-system 有权
    激光系统

    公开(公告)号：US07724354B2

    公开(公告)日：2010-05-25

    申请号：US11578585

    申请日：2005-09-30

    申请人： Ulrich Drodofsky ,  Marcel Zeller

    发明人： Ulrich Drodofsky ,  Marcel Zeller

    IPC分类号： H04B10/17 ,  G01C3/04

    CPC分类号： H01S3/06754 ,  G01S7/4814 ,  G01S7/4818 ,  G01S7/484 ,  G01S7/499 ,  G01S17/10 ,  H01S3/005 ,  H01S3/0078 ,  H01S3/094076 ,  H01S3/09415 ,  H01S3/1302 ,  H01S3/1305 ,  H01S5/0612 ,  H01S2301/02

    摘要： A laser-system comprises master-oscillator/power-amplifier (51) whereby the master-oscillator comprises a pulsed diode (3) and a pumped active optical fiber power-amplifier (9). Substantially all guides of laser light (5, 9, 31, 29, 33, 25, 35, 39, 45) are optical fibers. The pulsed diode (3) is not temperature stabilized. To reduce nevertheless amplified spontaneous emission generated in the optical fiber amplifier (9), a narrow band-pass filter unit (29) is used. Filter unit (29) has a central wavelength with a temperature dependence which is matched to the temperature dependent wavelength shift of the pulsed diode (3).

    摘要翻译： 激光系统包括主振荡器/功率放大器（51），由此主振荡器包括脉冲二极管（3）和泵浦有源光纤功率放大器（9）。 基本上所有的激光导向（5,9,31,29,33,25,35,39,45）都是光纤。 脉冲二极管（3）不是温度稳定的。 为了减少在光纤放大器（9）中产生的放大的自发发射，使用窄带通滤波器单元（29）。 滤波器单元（29）具有与脉冲二极管（3）的温度相关波长偏移匹配的温度依赖性的中心波长。

    Laser-System
    10.
    发明申请
    Laser-System 有权
    激光系统

    公开(公告)号：US20080094605A1

    公开(公告)日：2008-04-24

    申请号：US11578585

    申请日：2005-09-30

    申请人： Ulrich Drodofsky ,  Marcel Zeller

    发明人： Ulrich Drodofsky ,  Marcel Zeller

    IPC分类号： H01S3/10 ,  G01C3/08

    CPC分类号： H01S3/06754 ,  G01S7/4814 ,  G01S7/4818 ,  G01S7/484 ,  G01S7/499 ,  G01S17/10 ,  H01S3/005 ,  H01S3/0078 ,  H01S3/094076 ,  H01S3/09415 ,  H01S3/1302 ,  H01S3/1305 ,  H01S5/0612 ,  H01S2301/02

    摘要： A laser-system comprises master-oscillator/power-amplifier (51) whereby the master-oscillator comprises a pulsed diode (3) and a pumped active optical fibre power-amplifier (9). Substantially all guides of laser light (5, 9, 31, 29, 33, 25, 35, 39, 45) are optical fibres. The pulsed diode (3) is not temperature stabilized. To reduce nevertheless amplified spontaneous emission generated in the optical fibre amplifier (9), a narrow band-pass filter unit (29) is used. Filter unit (29) has a central wavelength with a temperature dependence which is matched to the temperature dependent wavelength shift of the pulsed diode (3).

    摘要翻译： 激光系统包括主振荡器/功率放大器（51），由此主振荡器包括脉冲二极管（3）和泵浦有源光纤功率放大器（9）。 基本上所有的激光导向（5,9,31,29,33,25,35,39,45）都是光纤。 脉冲二极管（3）不是温度稳定的。 为了减少在光纤放大器（9）中产生的放大的自发发射，使用窄带通滤波器单元（29）。 滤波器单元（29）具有与脉冲二极管（3）的温度相关波长偏移匹配的温度依赖性的中心波长。