公开(公告)号：US07201018B2

公开(公告)日：2007-04-10

申请号：US10753315

申请日：2004-01-09

申请人： Vladimir Yliy Gershtein ,  Alexander Schwarz ,  Wayne Thomas McDermott ,  John Frederick Cirucci ,  John Christopher Ivankovits

发明人： Vladimir Yliy Gershtein ,  Alexander Schwarz ,  Wayne Thomas McDermott ,  John Frederick Cirucci ,  John Christopher Ivankovits

IPC分类号： F25J1/00 ,  F17C5/00 ,  F17C7/00

CPC分类号： F17C7/04 ,  C01B32/50 ,  F04B15/08 ,  F04B19/24 ,  F04D7/00 ,  F17C6/00 ,  F17C7/02 ,  F17C2221/013 ,  F17C2223/0153 ,  F17C2223/035 ,  F17C2223/036

摘要： The invention relates to a process and apparatus for delivering an ultra high purity fluid comprising at least one component to a point of use at a required pressure without mechanical pumping. In one embodiment, a high purity feed comprising at least one component in gaseous or liquid form is charged into a vessel and at least partially converted to a solid phase source. As the feed is converted to a solid phase source, additional feed may be added until the vessel is at least substantially filled with a solid phase source or slush. Once filled, the solid phase source or slush may be isochorically heated whereby the solid phase source is converted to a product at an elevated pressure.

摘要翻译： 本发明涉及用于将包含至少一种组分的超高纯度流体在所需压力下输送到使用点而不进行机械泵送的方法和装置。 在一个实施方案中，将包含至少一种气态或液态组分的高纯度原料装入容器中，并至少部分转化成固相源。 当进料转化为固相源时，可以加入另外的进料，直到容器至少基本上用固相源或浆料填充。 一旦填充，固相源或浆液可以被等压加热，从而固相源在升高的压力下转化成产物。

公开(公告)号：US07076969B2

公开(公告)日：2006-07-18

申请号：US10760771

申请日：2004-01-19

申请人： Vladimir Yliy Gershtein ,  Paul Anthony Mattiola ,  John Frederick Cirucci ,  John Christopher Ivankovits

发明人： Vladimir Yliy Gershtein ,  Paul Anthony Mattiola ,  John Frederick Cirucci ,  John Christopher Ivankovits

IPC分类号： F25J3/00

CPC分类号： F25J3/08 ,  B01D11/0203 ,  C01B32/50 ,  F25J2205/84 ,  F25J2215/80 ,  F25J2235/80 ,  F25J2245/02 ,  F25J2260/80 ,  F25J2290/42 ,  F25J2290/50 ,  Y10S62/928

摘要： A system for the supply and delivery of a high or a ultrahigh purity (UHP) carbon dioxide product stream to at least one process tool within a manufacturing facility and method comprising same is disclosed herein. In one embodiment, the system is comprised of the following sub-systems: a carbon dioxide source, a carbon dioxide delivery system, and the point of use (POU) containing at least one process tool.

摘要翻译： 本文公开了一种用于向制造设施内的至少一个工艺工具供应和输送高纯度或超高纯度（UHP）二氧化碳产品流的系统及其方法。 在一个实施方案中，该系统由以下子系统组成：二氧化碳源，二氧化碳输送系统和含有至少一种加工工具的使用点（POU）。

公开(公告)号：US20070193026A1

公开(公告)日：2007-08-23

申请号：US11481444

申请日：2006-07-06

申请人： Chun Christine Dong ,  Eugene Joseph Karwacki ,  Richard E. Patrick ,  David Allen Roberts ,  Robert Krantz Pinschmidt ,  John Anthony Thomas Norman ,  John Christopher Ivankovits

发明人： Chun Christine Dong ,  Eugene Joseph Karwacki ,  Richard E. Patrick ,  David Allen Roberts ,  Robert Krantz Pinschmidt ,  John Anthony Thomas Norman ,  John Christopher Ivankovits

IPC分类号： B23K35/38

CPC分类号： H05K3/105 ,  C23C18/08 ,  H01L21/4867 ,  H05K2203/087 ,  H05K2203/1157 ,  H05K2203/121 ,  Y10T29/49117 ,  Y10T29/49126 ,  Y10T29/49128 ,  Y10T29/49155

摘要： This invention is directed to a method of forming electrical conductors comprised of conductive metals generally carried on a substrate. In the method, a conductor formulation generally comprised of metal particles or metal precursor or mixture thereof, typically in the form of an ink or paste, is applied to the substrate and converted into a conductive metal by application of sufficient heat and for a sufficient time to effect sintering thereof while in the presence of a negatively charged ionic reducing gas.

摘要翻译： 本发明涉及一种形成电导体的方法，该导体由通常载于衬底上的导电金属组成。 在该方法中，通常由金属颗粒或金属前体或其混合物（通常为油墨或糊状物）组成的导体制剂施加到基底上，并通过施加足够的热量并足够的时间转化为导电金属 在负电荷的离子还原气体的存在下进行烧结。