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    Concentrate of fine ceria particles for chemical mechanical polishing and preparing method thereof
    3.
    发明授权
    Concentrate of fine ceria particles for chemical mechanical polishing and preparing method thereof 失效
    精细二氧化铈微粒用于化学机械抛光及其制备方法

    公开(公告)号：US07754168B2

    公开(公告)日：2010-07-13

    申请号：US10557940

    申请日：2004-05-21

    申请人： Se-Woong Park ,  Wan-Jae Myeong ,  Jin-Soo Baik ,  Chang-Mo Chung ,  Kyu-Ho Song

    发明人： Se-Woong Park ,  Wan-Jae Myeong ,  Jin-Soo Baik ,  Chang-Mo Chung ,  Kyu-Ho Song

    IPC分类号： C01F17/00 ,  B24D3/00

    CPC分类号： C09K3/1463 ,  B82Y30/00 ,  C01F17/0043 ,  C01P2004/62 ,  C01P2004/64 ,  C01P2006/12 ,  C01P2006/80 ,  C01P2006/90 ,  C03C19/00 ,  C09K3/1409

    摘要： Disclosed are a concentrate of fine ceria particles for chemical mechanical polishing, and a method of preparing the same. The method includes reacting a reactant mixture comprising i) water, ii) an aqueous solution of water-soluble cerium salt compound, and iii) ammonia or ammonium salt at a reaction temperature of 250-700? under a reaction pressure of 180-550 bar for 0.01 sec to 10 min in a continuous reactor to obtain a solution containing the fine ceria particles, the cerium salt compound being contained at an amount of 0.01 to 20 wt % in the reactant mixture; and concentrating the solution containing the fine ceria particles in a concentrator having a filter with a pore size of 0.01 to 10?. The concentrate is advantageous in that a CMP slurry and a dispersing solution are easily produced by diluting the concentrate and adding an additive to the concentrate.

    摘要翻译： 公开了用于化学机械抛光的精细二氧化铈微粒的浓缩物及其制备方法。 该方法包括使反应混合物反应，该反应混合物包括：i）水，ii）水溶性铈盐化合物的水溶液，和iii）氨或铵盐，反应温度为250-700℃， 在连续反应器中在180-550巴的反应压力下进行0.01秒至10分钟，以获得含有细小二氧化铈颗粒的溶液，所述铈盐化合物在反应物混合物中的含量为0.01-20重量％; 并将含有细小二氧化铈颗粒的溶液浓缩在具有孔径为0.01至10埃的过滤器的浓缩器中。 浓缩物的优点在于通过稀释浓缩物并向浓缩物中加入添加剂容易地制备CMP浆料和分散溶液。

    Process for preparing fine metal oxide particles
    4.
    发明授权
    Process for preparing fine metal oxide particles 有权
    金属氧化物微粒的制备方法

    公开(公告)号：US07235224B2

    公开(公告)日：2007-06-26

    申请号：US10521642

    申请日：2003-07-08

    申请人： Wan-Jae Myeong ,  Jin-Soo Baik ,  Se-Woong Park ,  Chang-Mo Chung ,  Kyu-Ho Song

    发明人： Wan-Jae Myeong ,  Jin-Soo Baik ,  Se-Woong Park ,  Chang-Mo Chung ,  Kyu-Ho Song

    IPC分类号： C01G1/00

    CPC分类号： C01G49/0036 ,  B82Y30/00 ,  C01B13/366 ,  C01F17/0043 ,  C01G1/02 ,  C01G9/02 ,  C01G51/42 ,  C01P2004/20 ,  C01P2004/41 ,  C01P2004/62 ,  C01P2004/64 ,  Y02P20/544 ,  Y10S977/773 ,  Y10S977/775 ,  Y10S977/811

    摘要： Disclosed is a process for preparing fine metal oxide particles, comprising the following steps of reacting a reactant mixture comprising i) water, ii) at least one water-soluble metal nitrate and iii) ammonia or ammonium salt at 250–700° C. under 180–550 bar for 0.01 sec to 10 min in a reaction zone to synthesize the metal oxide particles, the metal nitrate being contained at an amount of 0.01–20 wt % in the reactant mixture; and separating and recovering the metal oxide particles from the resulting reaction products. According to the present invention, nano-sized metal oxide particles are synthesized, while the harmful by-products generated concurrently therewith are effectively decomposed in the same reactor.

    摘要翻译： 公开了一种制备金属氧化物微粒的方法，包括以下步骤：使反应物混合物反应，所述反应物混合物包含i）水，ii）至少一种水溶性金属硝酸盐和iii）氨或铵盐，在250-700℃下 180-550巴在反应区中0.01秒至10分钟以合成金属氧化物颗粒，在反应混合物中含有0.01-20重量％的金属硝酸盐; 并从所得反应产物中分离和回收金属氧化物颗粒。 根据本发明，合成纳米尺寸金属氧化物颗粒，同时产生的有害副产物在同一反应器中有效分解。

    Process for preparing fine metal oxide particles
    6.
    发明申请
    Process for preparing fine metal oxide particles 有权
    金属氧化物微粒的制备方法

    公开(公告)号：US20060182677A1

    公开(公告)日：2006-08-17

    申请号：US10521642

    申请日：2003-07-08

    申请人： Wan-Jae Myeong ,  Jin-Soo Baik ,  Se-Woong Park ,  Chnag-Mo Chung ,  Kyu-Ho Song

    发明人： Wan-Jae Myeong ,  Jin-Soo Baik ,  Se-Woong Park ,  Chnag-Mo Chung ,  Kyu-Ho Song

    IPC分类号： C01F17/00

    CPC分类号： C01G49/0036 ,  B82Y30/00 ,  C01B13/366 ,  C01F17/0043 ,  C01G1/02 ,  C01G9/02 ,  C01G51/42 ,  C01P2004/20 ,  C01P2004/41 ,  C01P2004/62 ,  C01P2004/64 ,  Y02P20/544 ,  Y10S977/773 ,  Y10S977/775 ,  Y10S977/811

    摘要： Disclosed is a process for preparing fine metal oxide particles, comprising the following steps of reacting a reactant mixture comprising i) water, ii) at least one water-soluble metal nitrate and iii) ammonia or ammonium salt at 250-700° C. under 180-550 bar for 0.01 sec to 10 min in a reaction zone to synthesize the metal oxide particles, the metal nitrate being contained at an amount of 0.01-20 wt % in the reactant mixture; and separating and recovering the metal oxide particles from the resulting reaction products. According to the present invention, nano-sized metal oxide particles are synthesized, while the harmful by-products generated concurrently therewith are effectively decomposed in the same reactor.

    摘要翻译： 公开了一种制备金属氧化物微粒的方法，包括以下步骤：使反应物混合物反应，所述反应物混合物包含i）水，ii）至少一种水溶性金属硝酸盐和iii）氨或铵盐，在250-700℃下 180-550巴在反应区中0.01秒至10分钟以合成金属氧化物颗粒，在反应混合物中含有0.01-20重量％的金属硝酸盐; 并从所得反应产物中分离和回收金属氧化物颗粒。 根据本发明，合成纳米尺寸金属氧化物颗粒，同时产生的有害副产物在同一反应器中有效分解。