公开(公告)号：US08658284B2

公开(公告)日：2014-02-25

申请号：US13504579

申请日：2010-10-25

申请人： Wei Chen ,  Eric Scott Moyer ,  Binh Thanh Nguyen ,  Sheng Wang ,  Mark A. Wanous ,  Xiaobing Zhou

发明人： Wei Chen ,  Eric Scott Moyer ,  Binh Thanh Nguyen ,  Sheng Wang ,  Mark A. Wanous ,  Xiaobing Zhou

IPC分类号： B32B9/00 ,  B05D5/12 ,  C08G77/62

CPC分类号： C08G77/62 ,  C09D183/16 ,  Y10T428/31663

摘要： A polysilane-polysilazane copolymer contains a polysilane unit of formula (I), and a polysilazane unit of formula (II), where each R1 and each R2 are each independently selected from H, Si, and N atoms, R3 is selected from H, Si, or C atoms, a≧1, b≧1, and a quantity (a+b)≧2. The polysilane-polysilazane copolymer may be formulated in a composition with a solvent. The polysilane-polysilazane copolymer may be used in PMD and STI applications for trench filling, where the trenches have widths of 100 nm or less and aspect ratios of at least (6). The polysilane-polysilazane copolymer can be prepared by amination of a perchloro polysilane having (2) or more silicon atoms per molecule with a primary amine.

摘要翻译： 聚硅烷 - 聚硅氮烷共聚物含有式（I）的聚硅烷单元和式（II）的聚硅氮烷单元，其中每个R 1和R 2各自独立地选自H，Si和N原子，R 3选自H， Si或C原子，a> = 1，b> = 1，数量（a + b）> = 2。 聚硅烷 - 聚硅氮烷共聚物可以配制成具有溶剂的组合物。 聚硅烷 - 聚硅氮烷共聚物可用于PMD和STI应用于沟槽填充，其中沟槽具有100nm或更小的宽度和至少（6）的纵横比。 聚硅烷 - 聚硅氮烷共聚物可以通过每分子具有（2）个或更多个硅原子的氨氯化聚酰胺与伯胺胺化制备。

公开(公告)号：US20120214006A1

公开(公告)日：2012-08-23

申请号：US13504579

申请日：2010-10-25

申请人： Wei Chen ,  Eric Scott Moyer ,  Binh Thanh Nguyen ,  Sheng Wang ,  Mark A. Wanous ,  Xiaobing Zhou

发明人： Wei Chen ,  Eric Scott Moyer ,  Binh Thanh Nguyen ,  Sheng Wang ,  Mark A. Wanous ,  Xiaobing Zhou

IPC分类号： C08G77/62 ,  B05D5/12 ,  B32B9/00 ,  C09D183/16

CPC分类号： C08G77/62 ,  C09D183/16 ,  Y10T428/31663

摘要： A polysilane−polysilazane copolymer contains a polysilane unit of formula (I), and a polysilazane unit of formula (II), where each R1 and each R2 are each independently selected from H, Si, and N atoms, R3 is selected from H, Si, or C atoms, a≧1, b≧1, and a quantity (a+b)≧2. The polysilane−polysilazane copolymer may be formulated in a composition with a solvent. The polysilane-polysilazane copolymer may be used in PMD and STI applications for trench filling, where the trenches have widths of 100 nm or less and aspect ratios of at least (6). The polysilane−polysilazane copolymer can be prepared by amination of a perchloro polysilane having (2) or more silicon atoms per molecule with a primary amine.

摘要翻译： 聚硅烷 - 聚硅氮烷共聚物含有式（I）的聚硅烷单元和式（II）的聚硅氮烷单元，其中每个R 1和R 2各自独立地选自H，Si和N原子，R 3选自H， Si或C原子，a≥1，b≥1，数量（a + b）≥2。 聚硅烷 - 聚硅氮烷共聚物可以配制成具有溶剂的组合物。 聚硅烷 - 聚硅氮烷共聚物可用于PMD和STI应用于沟槽填充，其中沟槽具有100nm或更小的宽度和至少（6）的纵横比。 聚硅烷 - 聚硅氮烷共聚物可以通过每分子具有（2）个或更多个硅原子的氨氯化聚酰胺与伯胺胺化制备。