公开(公告)号：US08956962B2

公开(公告)日：2015-02-17

申请号：US13242331

申请日：2011-09-23

申请人： Young-Jae Lee ,  Kyoung Jong Yoo ,  Jin Su Kim ,  Jun Lee ,  Yong In Lee ,  JunBo Yoon ,  JeongHo Yeon ,  Joo-Hyung Lee ,  Jeong Oen Lee

发明人： Young-Jae Lee ,  Kyoung Jong Yoo ,  Jin Su Kim ,  Jun Lee ,  Yong In Lee ,  JunBo Yoon ,  JeongHo Yeon ,  Joo-Hyung Lee ,  Jeong Oen Lee

IPC分类号： H01L21/40 ,  H01L21/033 ,  B82Y10/00

CPC分类号： H01L21/0337 ,  B82Y10/00 ,  H01L21/0338 ,  Y10S438/947

摘要： A method for fabricating a large-area nanoscale pattern includes: forming multilayer main thin films isolated by passivation layers; patterning a first main thin film to form a first main pattern; forming a first spacer pattern with respect to the first main pattern; and forming a second main pattern by transferring the first spacer pattern onto a second main thin film. By using multilayer main thin films isolated by different passivation films, spacer lithography capable of reducing a pattern pitch can be repetitively performed, and the pattern pitch is repetitively reduced without shape distortion after formation of micrometer-scale patterns, thereby forming nanometer-scale fine patterns uniformly over a wide area.

摘要翻译： 一种制造大面积纳米级图案的方法包括：形成由钝化层隔离的多层主薄膜; 图案化第一主薄膜以形成第一主图案; 相对于所述第一主图形形成第一间隔图案; 以及通过将第一间隔图案转印到第二主薄膜上而形成第二主图案。 通过使用由不同钝化膜分离的多层主薄膜，可以重复地进行能够减小图案间距的间隔光刻，并且在形成微米尺度图案之后，图案间距重复减小而没有形状变形，从而形成纳米级精细图案 均匀地在广泛的地区。

公开(公告)号：US20140144881A1

公开(公告)日：2014-05-29

申请号：US14130146

申请日：2012-06-28

申请人： Young Jae Lee ,  Kyoung Jong Yoo ,  Jun Lee ,  Jin Su Kim ,  Jae Wan Park

发明人： Young Jae Lee ,  Kyoung Jong Yoo ,  Jun Lee ,  Jin Su Kim ,  Jae Wan Park

IPC分类号： B22F9/16 ,  C04B35/622

CPC分类号： C23C14/0005 ,  B22F1/0044 ,  B22F9/16 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C04B35/622 ,  C23C16/01 ,  C30B11/12 ,  C30B29/60 ,  H01L29/0673 ,  H01L29/66469 ,  H01L29/775 ,  Y10S977/888 ,  Y10S977/89 ,  Y10T428/24802 ,  Y10T428/298

摘要： Provided is a nanowire manufacturing method, comprising forming a plurality of grid patterns on a substrate, forming a nanowire on the grid patterns, and separating the grid pattern and the nanowire. According to the present invention, the width and height of the nanowire can be adjusted by controlling the wet-etching process time period, and the nanowire can be manufactured at a room temperature at low cost, the nanowire can be mass-manufactured and the nanowire with regularity can be manufactured even in case of mass production.

摘要翻译： 提供一种纳米线制造方法，包括在基板上形成多个格栅图案，在网格图案上形成纳米线，以及分离网格图案和纳米线。 根据本发明，可以通过控制湿蚀刻工艺时间段来调节纳米线的宽度和高度，并且可以以低成本在室温下制造纳米线，可以大量制造纳米线，并且纳米线 即使在大规模生产的情况下也可以制造。

公开(公告)号：US20120160802A1

公开(公告)日：2012-06-28

申请号：US13242802

申请日：2011-09-23

申请人： Jin Su Kim ,  Kyoung Jong Yoo ,  Young-Jae Lee ,  Jun Lee

发明人： Jin Su Kim ,  Kyoung Jong Yoo ,  Young-Jae Lee ,  Jun Lee

IPC分类号： H01B13/00

CPC分类号： G02B5/3058 ,  G03F7/20

摘要： Provided is a method of manufacturing a wire grid polarizer in which a stable color coordinate can be implemented. According to the present invention, in a process where a second grid pattern of metal pattern is formed over a first grid pattern made of resin material, metal layer is deposited in a concave portion formed between adjacent first grid patterns to form void portion and a width and a height of the second grid pattern are adjusted depending on adjustment of a width of the voids, and thereby improving a process efficiency.

摘要翻译： 提供一种可以实现稳定的色坐标的线栅偏振器的制造方法。 根据本发明，在由树脂材料制成的第一格栅图案上形成金属图案的第二格栅图案的方法中，金属层沉积在形成在相邻的第一格栅图案之间的凹部中，形成空隙部分和宽度 并且根据空隙的宽度的调整来调整第二格栅图案的高度，从而提高处理效率。

公开(公告)号：US09158052B2

公开(公告)日：2015-10-13

申请号：US13242802

申请日：2011-09-23

申请人： Jin Su Kim ,  Kyoung Jong Yoo ,  Young-Jae Lee ,  Jun Lee

发明人： Jin Su Kim ,  Kyoung Jong Yoo ,  Young-Jae Lee ,  Jun Lee

IPC分类号： H01B13/00 ,  G02B5/30 ,  G03F7/20

CPC分类号： G02B5/3058 ,  G03F7/20

摘要： Provided is a method of manufacturing a wire grid polarizer in which a stable color coordinate can be implemented. According to the present invention, in a process where a second grid pattern of metal pattern is formed over a first grid pattern made of resin material, metal layer is deposited in a concave portion formed between adjacent first grid patterns to form void portion and a width and a height of the second grid pattern are adjusted depending on adjustment of a width of the voids, and thereby improving a process efficiency.

摘要翻译： 提供一种可以实现稳定的色坐标的线栅偏振器的制造方法。 根据本发明，在由树脂材料制成的第一格栅图案上形成金属图案的第二格栅图案的方法中，金属层沉积在形成在相邻的第一格栅图案之间的凹部中，形成空隙部分和宽度 并且根据空隙的宽度的调整来调整第二格栅图案的高度，从而提高处理效率。

公开(公告)号：US08821740B2

公开(公告)日：2014-09-02

申请号：US14130146

申请日：2012-06-28

申请人： Young Jae Lee ,  Kyoung Jong Yoo ,  Jun Lee ,  Jin Su Kim ,  Jae Wan Park

发明人： Young Jae Lee ,  Kyoung Jong Yoo ,  Jun Lee ,  Jin Su Kim ,  Jae Wan Park

IPC分类号： B44C1/22 ,  C03C15/00 ,  C03C25/68 ,  C23F1/00

CPC分类号： C23C14/0005 ,  B22F1/0044 ,  B22F9/16 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C04B35/622 ,  C23C16/01 ,  C30B11/12 ,  C30B29/60 ,  H01L29/0673 ,  H01L29/66469 ,  H01L29/775 ,  Y10S977/888 ,  Y10S977/89 ,  Y10T428/24802 ,  Y10T428/298

摘要： Provided is a nanowire manufacturing method, comprising forming a plurality of grid patterns on a substrate, forming a nanowire on the grid patterns, and separating the grid pattern and the nanowire. According to the present invention, the width and height of the nanowire can be adjusted by controlling the wet-etching process time period, and the nanowire can be manufactured at a room temperature at low cost, the nanowire can be mass-manufactured and the nanowire with regularity can be manufactured even in case of mass production.

摘要翻译： 提供一种纳米线制造方法，包括在基板上形成多个格栅图案，在网格图案上形成纳米线，以及分离网格图案和纳米线。 根据本发明，可以通过控制湿蚀刻工艺时间段来调节纳米线的宽度和高度，并且可以以低成本在室温下制造纳米线，可以大量制造纳米线，并且纳米线 即使在大规模生产的情况下也可以制造。

公开(公告)号：US20130271834A1

公开(公告)日：2013-10-17

申请号：US13976320

申请日：2011-10-11

申请人： Jin Su Kim ,  Kyoung Jong Yoo ,  Young Jae Lee ,  Jun Lee

发明人： Jin Su Kim ,  Kyoung Jong Yoo ,  Young Jae Lee ,  Jun Lee

IPC分类号： G02B5/30

CPC分类号： G02B5/3058 ,  G02B5/008

摘要： Provided is a wire grid polarizer including: a first grid patterns on a substrate; a second grid pattern on the first grid patterns; and a passivation layer filling between the first grid patterns and the second grid patterns.

摘要翻译： 提供一种线栅偏振器，包括：基板上的第一栅格图案; 第一网格图案上的第二网格图案; 以及填充在第一栅格图案和第二栅格图案之间的钝化层。

公开(公告)号：US20120075830A1

公开(公告)日：2012-03-29

申请号：US13240028

申请日：2011-09-22

申请人： YOUNG-JAE LEE ,  Jin Su Kim ,  Jun Lee

发明人： YOUNG-JAE LEE ,  Jin Su Kim ,  Jun Lee

IPC分类号： F21V9/14 ,  G02B5/30

CPC分类号： G02B5/3058

摘要： Provided is a wire grid polarizer and a backlight unit using the wire grid polarizer. The wire grid polarizer comprises a first grid layer thrilled on a substrate and provided with at least one of a first grid pattern, and a second grid layer formed on the first grid pattern and provided with at least one of a second grid pattern made of metal material wherein the first grid layer is made of high molecular substance having a lower refraction index than that of the substrate.According to the present invention, by forming a first grid pattern on a substrate using a high molecular substance layer and by forming a metal grid pattern on the first grid pattern, transmission rates of respective wavelengths depending on light angles of incident light are controlled and thereby minimizing color variations depending on view angle.

摘要翻译： 提供了使用线栅偏振器的线栅偏振器和背光单元。 线栅偏振器包括在衬底上激发的第一栅格层，并且设置有形成在第一栅格图案上的第一栅格图案和第二栅格层中的至少一个，并且设置有由金属制成的第二栅格图案中的至少一个 材料，其中第一栅格层由具有比衬底的折射率低的折射率的高分子物质制成。 根据本发明，通过使用高分子物质层在基板上形成第一栅格图案，并且在第一栅格图案上形成金属栅格图案，控制根据入射光的光角度的各波长的透射率，由此 最小化取决于视角的颜色变化。

公开(公告)号：US09488764B2

公开(公告)日：2016-11-08

申请号：US13240028

申请日：2011-09-22

申请人： Young-Jae Lee ,  Jin Su Kim ,  Jun Lee

发明人： Young-Jae Lee ,  Jin Su Kim ,  Jun Lee

IPC分类号： G02B5/30

CPC分类号： G02B5/3058

摘要： Provided are a wire grid polarizer and a backlight unit using the wire grid polarizer. The wire grid polarizer comprises a first grid layer formed on a substrate and provided with at least one of a first grid pattern, and a second grid layer formed on the first grid pattern and provided with at least one of a second grid pattern made of metal material wherein the first grid layer is made of high molecular substance having a lower refraction index than that of the substrate. By forming a first grid pattern on a substrate using a high molecular substance layer and by forming a metal grid pattern on the first grid pattern, transmission rates of respective wavelengths depending on light angles of incident light are controlled and thereby minimize color variations depending on view angle.

摘要翻译： 提供了使用线栅偏振器的线栅偏振器和背光单元。 线栅偏振器包括形成在基板上的第一栅格层，并且设置有形成在第一栅格图案上的第一栅格图案和第二栅格层中的至少一个，并且设置有由金属制成的第二栅格图案中的至少一个 材料，其中第一栅格层由具有比衬底的折射率低的折射率的高分子物质制成。 通过使用高分子物质层在基板上形成第一栅格图案，并且通过在第一栅格图案上形成金属栅格图案，控制取决于入射光的光角的各波长的透射率，从而根据视图最小化颜色变化 角度。

公开(公告)号：US20120086887A1

公开(公告)日：2012-04-12

申请号：US13263814

申请日：2010-04-12

申请人： Young Jae Lee ,  Jin Su Kim ,  Jun Lee ,  Ki-Cheol Kim

发明人： Young Jae Lee ,  Jin Su Kim ,  Jun Lee ,  Ki-Cheol Kim

IPC分类号： G02F1/1335 ,  G02B27/26 ,  C23F1/02 ,  G02B5/30

CPC分类号： G02B5/3058 ,  G02B27/26 ,  G02F1/133528 ,  G02F2001/133548

摘要： The present invention relates to a wire grid polarizer capable of securing a high brightness and reducing the number of processes, a liquid crystal device including the wire grid polarizer, and a method of manufacturing the wire grid polarizer. According to the present invention, the wire grid polarizer, including first grids arranged in parallel at certain intervals over a substrate and second grids formed on the first grids, can be formed using only an imprint process, a deposition process, and a wet etch process. Accordingly, the number of processes and the process costs and time can be reduced, and high reliability can be guaranteed.

摘要翻译： 本发明涉及能够确保高亮度并减少工艺数量的线栅偏振器，包括线栅偏振器的液晶装置以及制造线栅偏振器的方法。 根据本发明，可以仅使用压印工艺，沉积工艺和湿蚀刻工艺来形成包括在衬底上以一定间隔平行布置的第一栅极和形成在第一栅极上的第二栅极的线栅偏振器 。 因此，可以减少过程的数量和过程成本和时间，并且可以保证高可靠性。

公开(公告)号：US09599762B2

公开(公告)日：2017-03-21

申请号：US13263814

申请日：2010-04-12

申请人： Young Jae Lee ,  Jin Su Kim ,  Jun Lee ,  Ki-Cheol Kim

发明人： Young Jae Lee ,  Jin Su Kim ,  Jun Lee ,  Ki-Cheol Kim

IPC分类号： G02F1/1335 ,  G02B5/30 ,  G02B27/26

CPC分类号： G02B5/3058 ,  G02B27/26 ,  G02F1/133528 ,  G02F2001/133548

摘要： The present invention relates to a wire grid polarizer capable of securing a high brightness and reducing the number of processes, a liquid crystal device including the wire grid polarizer, and a method of manufacturing the wire grid polarizer. According to the present invention, the wire grid polarizer, including first grids arranged in parallel at certain intervals over a substrate and second grids formed on the first grids, can be formed using only an imprint process, a deposition process, and a wet etch process. Accordingly, the number of processes and the process costs and time can be reduced, and high reliability can be guaranteed.