公开(公告)号：US09196765B2

公开(公告)日：2015-11-24

申请号：US14716233

申请日：2015-05-19

申请人： Shuqiang Yang ,  Michael N. Miller ,  Mohamed M. Hilali ,  Fen Wan ,  Gerard M. Schmid ,  Liang Wang ,  Sidlgata V. Sreenivasan ,  Frank Y. Xu

发明人： Shuqiang Yang ,  Michael N. Miller ,  Mohamed M. Hilali ,  Fen Wan ,  Gerard M. Schmid ,  Liang Wang ,  Sidlgata V. Sreenivasan ,  Frank Y. Xu

IPC分类号： H01L31/0236 ,  C23C14/34 ,  H01L31/20

CPC分类号： H01L31/02363 ,  B82Y20/00 ,  C23C14/34 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/035263 ,  H01L31/035281 ,  H01L31/03762 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/03921 ,  H01L31/03926 ,  H01L31/0463 ,  H01L31/075 ,  H01L31/076 ,  H01L31/202 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

摘要： Systems and methods for fabrication of nanostructured solar cells having arrays of nanostructures are described, including nanostructured solar cells having a repeating pattern of pyramid nanostructures, providing for low cost thin-film solar cells with improved PCE.

摘要翻译： 描述了具有纳米结构阵列的纳米结构太阳能电池的制造系统和方法，包括具有金字塔纳米结构重复图案的纳米结构太阳能电池，为具有改进的PCE的低成本薄膜太阳能电池提供。