公开(公告)号：WO2015142053A1

公开(公告)日：2015-09-24

申请号：PCT/KR2015/002628

申请日：2015-03-18

Applicant: 주식회사 유진테크 머티리얼즈

Inventor： 이근수 ,  이윤영 ,  이영민

IPC: C07F7/30 ,  C07C211/14 ,  C23C14/26

CPC classification number: H01L21/02205 ,  C07F7/30 ,  C23C16/28 ,  C23C16/303 ,  C23C16/34 ,  C23C16/407 ,  C23C16/45553 ,  H01L21/02112 ,  H01L21/02181 ,  H01L21/02186 ,  H01L21/02189 ,  H01L21/02271 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/0228

Abstract: 청구항 1 기재의 화학식 1로 표시되는 유기 게르마늄 아민 화합물 및 이 화합물을 전구체로서 이용하는 막 형성 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 상기 화합물을 전구체로서 사용하면 게르마늄 산화물막, 게르마늄 질화물막, 금속 게르마늄 산화물막, 또는 금속 게르마늄 질화물막 등을 효과적으로 증착 형성할 수 있다.

Abstract translation: 公开了由权利要求1所述的化学式1表示的有机锗胺化合物和使用该化合物作为前体的成膜方法。 当根据本发明的化合物用作前体时，可以通过沉积有效地形成氧化锗膜，氮化锗膜，金属氧化锗膜，金属锗氮化膜等。