公开(公告)号：WO2015190900A1

公开(公告)日：2015-12-17

申请号：PCT/KR2015/006039

申请日：2015-06-15

Applicant: 주식회사 유진테크 머티리얼즈

Inventor： 이근수 ,  고영대 ,  이영민

IPC: C07F7/28 ,  C23C16/06

CPC classification number: C07F7/28 ,  C23C16/06

Abstract: 본 발명의 일 실시예에 의한 성막용 전구체 화합물은, 상기 의 M은 주기율표상에서 4A족 또는 4B족에 속하는 금속 원소 중에서 선택된 어느 하나이며, m은 1 내지 5의 정수 중에서 선택된 어느 하나이고, L은 C 1 -C 5 의 알콕사이드기, C 1 -C 5 의 아미노기 또는 C 1 -C 5 의 다이알킬아미노기 중에서 선택된 어느 하나이다.

Abstract translation: 根据本发明的一个实施方案的用于成膜的前体化合物，其中在化学式（1）中，M是选自属于周期表的4A族或4B族的金属元素中的任何一种，m是选自 从整数1-5，L是选自C1-C5烷氧基，C1-C5氨基和C1-C5二烷基氨基中的任一种。

公开(公告)号：WO2017086630A1

公开(公告)日：2017-05-26

申请号：PCT/KR2016/012456

申请日：2016-11-01

Applicant: 주식회사 유진테크 머티리얼즈

Inventor： 이근수 ,  이영민

IPC: C09D4/00 ,  C07F5/06 ,  C07F7/30 ,  C07F7/00 ,  H01L51/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/205

CPC classification number: C07F5/06 ,  C07F7/00 ,  C07F7/30 ,  C09D4/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/205 ,  H01L51/00

Abstract: 본 발명의 일 실시예에 의한 전구체 조성물은, 유기 알루미늄 화합물, 유기 갈륨 화합물 또는 유기 게르마늄 화합물 중에서 선택된 어느 하나의 화합물과 유기 4족 화합물의 혼합물을 포함한다.

Abstract translation: 根据本发明实施方式的前体组合物包含有机铝化合物，有机镓化合物或有机锗化合物和有机第IV族化合物的混合物。 p>

公开(公告)号：WO2016108398A1

公开(公告)日：2016-07-07

申请号：PCT/KR2015/009872

申请日：2015-09-21

Applicant: 주식회사 유진테크 머티리얼즈

Inventor： 이근수 ,  이영민 ,  김상민

IPC: C07F5/06 ,  H01L21/205

CPC classification number: C07F5/06 ,  H01L21/205

Abstract: 본 발명의 일 실시예에 의한 유기 13족 전구체는 (R 1 R 2 N)M(L 1 L 2 )로 표시되며, 상기 M은 주기율표상에서 13족 원소에 속하는 금속 원소 중에서 선택된 어느 하나이며, 상기 L 1 및 L 2 는 각각 독립적으로 탄소수 1 내지 6의 알킬기, 탄소수 3 내지 6의 시클로 알킬기 중에서 선택된 어느 하나이며, 상기 R 1 및 R 2 는 각각 독립적으로 탄소수 1 내지 6의 알킬기, 탄소수 3 내지 6의 시클로 알킬기 중에서 선택된 어느 하나이다.

Abstract translation: 根据本发明一个实施方案的有机基团13前体表示为（R1R2N）M（L1L2），其中M选自属于周期图中第13族元素的金属，L1和L2独立地选自烷基 具有1至6个碳数的基团或具有3至6个碳数的环烷基，R 1和R 2独立地选自具有1至6个碳数的烷基或具有3至6个碳数的环烷基。

公开(公告)号：WO2015142053A1

公开(公告)日：2015-09-24

申请号：PCT/KR2015/002628

申请日：2015-03-18

Applicant: 주식회사 유진테크 머티리얼즈

Inventor： 이근수 ,  이윤영 ,  이영민

IPC: C07F7/30 ,  C07C211/14 ,  C23C14/26

CPC classification number: H01L21/02205 ,  C07F7/30 ,  C23C16/28 ,  C23C16/303 ,  C23C16/34 ,  C23C16/407 ,  C23C16/45553 ,  H01L21/02112 ,  H01L21/02181 ,  H01L21/02186 ,  H01L21/02189 ,  H01L21/02271 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/0228

Abstract: 청구항 1 기재의 화학식 1로 표시되는 유기 게르마늄 아민 화합물 및 이 화합물을 전구체로서 이용하는 막 형성 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 상기 화합물을 전구체로서 사용하면 게르마늄 산화물막, 게르마늄 질화물막, 금속 게르마늄 산화물막, 또는 금속 게르마늄 질화물막 등을 효과적으로 증착 형성할 수 있다.

Abstract translation: 公开了由权利要求1所述的化学式1表示的有机锗胺化合物和使用该化合物作为前体的成膜方法。 当根据本发明的化合物用作前体时，可以通过沉积有效地形成氧化锗膜，氮化锗膜，金属氧化锗膜，金属锗氮化膜等。