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    THERMOWELL WITH INFRARED SENSOR
    1.
    发明申请
    THERMOWELL WITH INFRARED SENSOR 审中-公开
    带红外传感器的THERMOWELL

    公开(公告)号：WO2017003648A8

    公开(公告)日：2017-02-16

    申请号：PCT/US2016036140

    申请日：2016-06-07

    Applicant: ROSEMOUNT INC

    Inventor： KITZMAN ANDREW JOHN ,  KIENITZ SASCHA ULRICH ,  RUD JASON HAROLD

    IPC: G01J5/00 ,  G01J5/06

    CPC classification number: G01J5/048 ,  G01J5/0037 ,  G01J5/061 ,  G01J5/0803 ,  G01J5/10 ,  G01J2005/065

    Abstract: A thermowell assembly for measuring a process temperature includes an elongate thermowell (20) having a proximal end (70) and a distal end (72). A bore (74) extends between the two ends with the thermowell assembly configured to extend into a process fluid. An infrared sensor (24) detects infrared radiation from the distal end (70) through the bore (74) of the thermowell (20) and responsively provides a sensor output (26). A configuration is provided in which infrared radiation received by the infrared sensor (24) from a wall of the bore (76) is reduced and/or radiation received from the distal end (70) of the bore is increased.

    Abstract translation: 用于测量工艺温度的热套管组件包括具有近端（70）和远端（72）的细长热电偶套管（20）。 孔（74）在两端之间延伸，热套管组件构造成延伸到工艺流体中。 红外传感器（24）通过热套管（20）的孔（74）检测来自远端（70）的红外辐射，并且响应地提供传感器输出（26）。 提供了一种配置，其中红外传感器（24）从孔（76）的壁接收的红外辐射被减少，并且/或从孔的远端（70）接收的辐射增加。

    DEVICES AND METHODS FOR INFRARED REFERENCE PIXELS
    2.
    发明申请
    DEVICES AND METHODS FOR INFRARED REFERENCE PIXELS 审中-公开
    红外参考像素的设备和方法

    公开(公告)号：WO2016112360A1

    公开(公告)日：2016-07-14

    申请号：PCT/US2016/012760

    申请日：2016-01-08

    Applicant: FLIR SYSTEMS, INC. ,  HOWARD, David ,  ROSE, Jefferson ,  DEBAR, Michael

    Inventor： HOWARD, David ,  ROSE, Jefferson ,  DEBAR, Michael ,  KURTH, Eric A. ,  CHAN, Chris ,  PETERS, Kevin ,  FRANKLIN, Patrick ,  CANNATA, Robert F. ,  DALE, James L. ,  MARX, Tommy

    IPC: G01J5/04 ,  G01J5/02 ,  G01J5/06 ,  G01J5/20 ,  G01J5/08 ,  H01L27/146

    CPC classification number: G01J5/20 ,  G01J5/0225 ,  G01J5/024 ,  G01J5/0245 ,  G01J5/045 ,  G01J5/061 ,  G01J5/0846 ,  G01J2005/063 ,  G01J2005/065 ,  H01L27/14623 ,  H01L27/14669

    Abstract: A device is disclosed including a substrate and a floating blinded infrared detector and/or a shunted blinded infrared detector. The floating blinded infrared detector may include an infrared detector coupled to and thermally isolated from the substrate; and a blocking structure disposed above the infrared detector to block external thermal radiation from being received by the infrared detector; and wherein the blocking structure comprises a plurality of openings. The shunted blinded infrared detector may include an additional infrared detector coupled to the substrate; an additional blocking structure disposed above the infrared detector to block external thermal radiation from being received by the additional infrared detector; and a material that thermally couples the additional infrared detector to the substrate and the additional blocking structure. Methods for using and forming the device are also disclosed.

    Abstract translation: 公开了一种包括基板和浮动的无用红外检测器和/或分流的盲型红外检测器的装置。 浮动的无线红外检测器可以包括红外检测器，其与基板耦合并与基板热隔离; 以及阻挡结构，其设置在所述红外检测器上方以阻挡外部热辐射被所述红外检测器接收; 并且其中所述阻挡结构包括多个开口。 分流的盲型红外检测器可以包括耦合到衬底的另外的红外检测器; 设置在所述红外检测器上方以阻止外部热辐射被附加的红外检测器接收的附加阻挡结构; 以及将附加红外检测器热耦合到基板和附加阻挡结构的材料。 还公开了使用和形成装置的方法。

    PYROMETER BACKGROUND ELIMINATION
    3.
    发明申请
    PYROMETER BACKGROUND ELIMINATION 审中-公开
    染色体背景消除

    公开(公告)号：WO2015073185A1

    公开(公告)日：2015-05-21

    申请号：PCT/US2014/062016

    申请日：2014-10-23

    Applicant: APPLIED MATERIALS, INC.

    Inventor： ADERHOLD, Wolfgang R.

    IPC: H01L21/324 ,  H01L21/02

    CPC classification number: G01J5/06 ,  G01J5/0007 ,  G01J2005/0085 ,  G01J2005/065 ,  H01L21/67115

    Abstract: Embodiments disclosed herein provide an RTP system for processing a substrate. An RTP chamber has a radiation source configured to deliver radiation to a substrate disposed within a processing volume. One or more pyrometers are coupled to the chamber body opposite the radiation source. In one example, the radiation source is disposed below the substrate and the pyrometers are disposed above the substrate. In another example, the radiation source is disposed above the substrate and the pyrometers are disposed below the substrate. The substrate may be supported in varying manners configured to reduce physical contact between the substrate support and the substrate. An edge ring and shield are disposed within the processing volume and are configured to reduce or eliminate background radiation from interfering with the pyrometers. Additionally, an absorbing surface may be coupled to the chamber body to further reduce background radiation interference.

    Abstract translation: 本文公开的实施例提供了一种用于处理衬底的RTP系统。 RTP室具有被配置为将辐射传送到设置在处理容积内的衬底的辐射源。 一个或多个高温计耦合到与辐射源相对的腔体。 在一个示例中，辐射源设置在衬底下方，高温计设置在衬底上方。 在另一示例中，辐射源设置在衬底上方，高温计设置在衬底下方。 衬底可以以不同的方式被支撑，其被配置为减少衬底支撑件和衬底之间的物理接触。 边缘环和屏蔽件设置在处理体积内并且被配置为减少或消除背景辐射干扰高温计。 此外，吸收表面可以联接到腔体，以进一步减少背景辐射干扰。

    遮蔽板及び測定装置
    4.
    发明申请
    遮蔽板及び測定装置 审中-公开
    屏蔽板和测量装置

    公开(公告)号：WO2016190298A1

    公开(公告)日：2016-12-01

    申请号：PCT/JP2016/065278

    申请日：2016-05-24

    Applicant: 浜松ホトニクス株式会社

    Inventor： 中村　共則

    IPC: G01J5/48 ,  G01J5/00 ,  G01J5/06

    CPC classification number: G01J5/061 ,  G01J5/00 ,  G01J5/06 ,  G01J5/0831 ,  G01J5/0856 ,  G01J5/20 ,  G01J5/48 ,  G01J5/522 ,  G01J5/524 ,  G01J2005/065 ,  G01J2005/526

    Abstract: 遮蔽板は、測定対象の温度の非接触測定に用いられる遮蔽板であって、温度を調整可能な基材を備え、基材は、遮蔽板に形成された中心遮蔽部と、中心遮蔽部周りに形成された開口部と、基材の一方の面において中心遮蔽部を挟んで開口部と対向する部分を含むように形成され、赤外線を放射する黒体面と、を有する。

    Abstract translation: 该屏蔽板用于非接触式地测量待测物体的温度，并设置有能够调节温度的基板。 基板设置有形成在屏蔽板上的中心屏蔽部分; 围绕中心屏蔽部分形成的开口; 以及发射红外线的黑体表面，并且形成在基板的一个表面上，以夹住中心屏蔽部分并且包括面向开口的部分。

    TEMPERATURE MEASUREMENT ARRANGEMENT
    6.
    发明申请
    TEMPERATURE MEASUREMENT ARRANGEMENT 审中-公开
    温度测量装置

    公开(公告)号：WO2015037004A8

    公开(公告)日：2015-04-23

    申请号：PCT/IL2014050813

    申请日：2014-09-11

    Applicant: GOJI LTD ,  LIBMAN AVNER ,  DARSHAN LIOR

    Inventor： LIBMAN AVNER ,  DARSHAN LIOR

    IPC: H05B6/70

    CPC classification number: G01J5/0862 ,  G01J5/06 ,  G01J2005/065 ,  H05B6/705 ,  Y02B40/146

    Abstract: Disclosed is a system for dielectrically processing a product in a radio frequency (RF) cavity. The system may include a cavity; an RF feeding module that includes a plurality of radiating elements configured to feed RF radiation into the cavity, and a plurality of dummy loads for receiving RF energy coupled from the cavity into the radiating elements; and the system includes a processor configured to (a) estimate an effect operating the system at each of a plurality of sets of operating parameters will have on the temperature of each of the dummy loads; (b) choosing among the plurality of sets of operating parameters at least one set based on the estimation; and (c) controlling the system to operate at the chosen at least one set of operating parameters.

    Abstract translation: 公开了一种用于在射频（RF）空腔中对产品进行介电处理的系统。 该系统可以包括空腔; RF馈送模块，其包括被配置为将RF辐射馈送到空腔中的多个辐射元件，以及用于接收从空腔耦合到辐射元件中的RF能量的多个虚拟负载; 并且所述系统包括处理器，其被配置为（a）估计在多组操作参数中的每一个将对每个所述虚拟负载的温度具有的操作系​​统的影响; （b）基于所述估计在所述多组运行参数中选择至少一组; 以及（c）控制所述系统在所选择的至少一组操作参数下操作。

    赤外線温度センサ
    8.
    发明申请
    赤外線温度センサ 审中-公开
    红外温度传感器

    公开(公告)号：WO2017217272A1

    公开(公告)日：2017-12-21

    申请号：PCT/JP2017/020818

    申请日：2017-06-05

    Applicant: 株式会社芝浦電子

    Inventor： 濱田　守富 ,  今野　達也 ,  ▲樋▼口　祐子 ,  蒲田　恭平

    IPC: G01J5/02 ,  G01J5/04 ,  G01J5/10

    CPC classification number: G01J5/04 ,  G01J5/0022 ,  G01J5/06 ,  G01J5/0818 ,  G01J5/10 ,  G01J2005/065 ,  G01J2005/068

    Abstract: 検知対象物の表面温度を正確に計測できるという検知感度を担保しつつ、小型化に対応できる赤外線温度センサを提供すること。本発明の赤外線温度センサ１０は、センサケース２０と、赤外線を吸収して熱に変換する熱変換フィルム４０と、熱変換フィルム４０を介してセンサケース２０に対向して配置されるセンサカバー３０と、熱変換フィルム４０に配置される赤外線検知素子４３と温度補償素子４５と、を備える。本発明のセンサケース２０は、おもて面２１１及びうら面２１２を有するケース基部２１と、ケース基部２１のおもて面２１１及びうら面２１２を貫通して形成される導光域２８と、ケース基部２１のおもて面２１１の側から立ち上がる遮光ドーム２２の内部に形成される遮光域２５と、を備える。

    Abstract translation: 提供一种能够响应小型化的红外线温度传感器，同时确保检测灵敏度，使得可以精确测量检测对象的表面温度。 本发明的红外线温度传感器10具有传感器壳体20，吸收红外线并将其转换为热量的热转换膜40，经由热转换膜40与传感器壳体20相对的传感器罩30 并且设置在热转换膜40上的红外检测元件43和温度补偿元件45。 本发明的传感器外壳20包括：具有前表面211和后表面212的外壳基部21;通过外壳基部21的前表面211和后表面212形成的光引导区域28; 并且在遮光罩22的内侧形成遮光区域25，该遮光区域25从壳体基部21的前表面211侧立起。

    赤外線センサ
    9.
    发明申请
    赤外線センサ 审中-公开
    红外传感器

    公开(公告)号：WO2013088653A1

    公开(公告)日：2013-06-20

    申请号：PCT/JP2012/007559

    申请日：2012-11-26

    Applicant: パナソニック株式会社

    Inventor： 吉田　岳司 ,  杉山　貴則

    IPC: G01J1/02 ,  G01J5/06

    CPC classification number: G01J5/0205 ,  G01J5/04 ,  G01J5/06 ,  G01J5/0806 ,  G01J5/0875 ,  G01J5/12 ,  G01J2005/065 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48137 ,  H01L2924/00014

    Abstract: 　赤外線センサ（１，１Ａ）は、赤外線（Ｒ）を受光する赤外線センサ素子（２）と、当該赤外線センサ素子（２）の出力信号を処理する信号処理部（３）と、赤外線センサ素子（２）および信号処理部（３）が並設された基板（４）と、赤外線（Ｒ）を赤外線センサ素子（２）に入射させる開口部（５５）を有し、基板（４）に取り付けられて赤外線センサ素子（２）および信号処理部（３）を覆うケース（５）と、を備えている。この赤外線センサ素子（２）および信号処理部（３）は、当該赤外線センサ素子（２）および信号処理部（３）の並設方向と交差する方向に設けられた結線部（６）を介して基板（４）に電気的に接続されている。そして、赤外線センサ素子（２）および信号処理部（３）の両方を覆うカバー（７）をケース（５）内に設け、当該カバー（７）を基板（４）の並設方向両端部に取り付けた。

    Abstract translation: 红外线传感器（1,1A）设有：用于接收红外线（R）的红外线传感器元件（2）。 信号处理单元（3），用于处理红外线传感器元件（2）的输出信号; 红外线传感器元件（2）和信号处理单元（3）并排配置的板（4） 以及用于覆盖所述红外线传感器元件（2）和所述信号处理单元（3）的壳体（5），所述壳体附接到所述板（4）并具有用于使所述红外线（R）的开口（55） 入射到红外线传感器元件（2）上。 红外线传感器元件（2）和信号处理单元（3）经由布线连接部（6）电连接到基板（4），布线连接部（6）沿与红外线传感器元件（2）和 信号处理单元（3）并排布置。 用于覆盖红外线传感器元件（2）和信号处理单元（3）的盖（7）设置在壳体（5）内，盖（7）沿着方向 的并排安排。

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