公开(公告)号：WO2015121861A1

公开(公告)日：2015-08-20

申请号：PCT/IL2015/050161

申请日：2015-02-12

Applicant: TECHNION RESEARCH AND DEVELOPMENT FOUNDATION LTD.

Inventor： NEMIROVSKY, Yael

IPC: H01L31/08 ,  G01J5/10

CPC classification number: G01J5/24 ,  G01J5/0215 ,  G01J5/20 ,  H01L27/14681 ,  H01L31/028 ,  H01L31/1105

Abstract: A method and a sensing device are provided. The sensing device may include a readout circuit, a bulk, a holding element and a heterojunction bipolar transistor; wherein heterojunction bipolar transistor is configured to generate detection signals responsive to a temperature of at least a portion of the heterojunction bipolar transistor; wherein the holding element is configured to support the heterojunction bipolar transistor; wherein the heterojunction bipolar transistor is thermally isolated from the bulk; wherein the readout circuit is electrically coupled to the heterojunction bipolar transistor; and wherein the readout circuit is configured to receive the detection signals and to process the detection signals to provide information about electromagnetic radiation that affected the temperature of the at least portion of the heterojunction bipolar transistor.

Abstract translation: 提供了一种方法和感测装置。 感测装置可以包括读出电路，本体，保持元件和异质结双极晶体管; 其中异质结双极晶体管被配置为产生响应于所述异质结双极晶体管的至少一部分的温度的检测信号; 其中所述保持元件构造成支撑所述异质结双极晶体管; 其中所述异质结双极晶体管与所述本体热隔离; 其中所述读出电路电耦合到所述异质结双极晶体管; 并且其中所述读出电路被配置为接收所述检测信号并且处理所述检测信号以提供关于影响所述异质结双极晶体管的所述至少部分的温度的电磁辐射的信息。

公开(公告)号：WO2011139328A2

公开(公告)日：2011-11-10

申请号：PCT/US2011/000659

申请日：2011-04-11

Applicant: L-3 COMMUNICATIONS CORPORATION ,  SCHIMERT, Thomas R. ,  FAGAN III, Thomas P. ,  SYLLAIOS, Athanasios J.

Inventor： SCHIMERT, Thomas R. ,  FAGAN III, Thomas P. ,  SYLLAIOS, Athanasios J.

IPC: H01L31/09 ,  G01J5/02 ,  G01J5/20

CPC classification number: G01J5/20 ,  G01J1/02 ,  G01J1/0204 ,  G01J1/04 ,  G01J1/0411 ,  G01J1/0429 ,  G01J1/0488 ,  G01J4/04 ,  G01J5/02 ,  G01J5/0215 ,  G01J5/023 ,  G01J5/024 ,  G01J5/08 ,  G01J5/0806 ,  G01J5/0825 ,  G01J5/0862

Abstract: Pixel-level monolithic optical element configurations for uncooled infrared detectors and focal plane arrays in which a monolithically integrated or fabricated optical element may be suspended over a microbolometer pixel membrane structure of an uncooled infrared detector element A monolithic optical element may be, for example, a polarizing or spectral filter element, an optically active filter element, or a microlens element that is structurally attached by an insulating interconnect to the existing metal interconnects such that the installation of the optical element substantially does not impact the thermal mass or thermal time constant of the microbolometer pixel structure, and such that it requires little if any additional device real estate area beyond the area originally consumed by the microbolometer pixel structure interconnects.

Abstract translation: 用于非制冷红外探测器和焦平面阵列的像素级单片光学元件结构，其中单片集成或制造的光学元件可以悬挂在非制冷红外探测器元件的微测光计像素膜结构上。单片光学元件可以是例如 偏振或光谱滤光器元件，光学有源滤光器元件或微透镜元件，其通过绝缘互连结构地附接到现有的金属互连，使得光学元件的安装基本上不影响光学元件的热质量或热时间常数 微照度计像素结构，并且使得其需要很少的额外的设备不动产区域超出由微测辐射热计像素结构相互消耗的区域。

公开(公告)号：WO00058803A1

公开(公告)日：2000-10-05

申请号：PCT/EP2000/002891

申请日：2000-03-31

IPC: D06F75/26 ,  G01J5/00 ,  G05D23/27 ,  H01L43/00

CPC classification number: G01J5/02 ,  D06F75/26 ,  G01J5/0215 ,  G01J5/0846 ,  G05D23/1902 ,  G05D23/27

Abstract: A temperature control system includes an integrated circuit that combines magnetic sensitive elements and infrared sensors to detect user temperature settings and measure temperature, respectively. Integration of the various sensors results in a very cost-effective and reliable temperature control system suitable for consumer applications.

Abstract translation: 温度控制系统包括集成电路，其组合磁敏元件和红外传感器以分别检测用户温度设置和测量温度。 各种传感器的集成产生了一种非常经济有效且可靠的温度控制系统，适用于消费者应用。

公开(公告)号：WO2014142750A1

公开(公告)日：2014-09-18

申请号：PCT/SG2014/000117

申请日：2014-03-12

Applicant: HEPTAGON MICRO OPTICS PTE. LTD.

Inventor： GEIGER, Jens

IPC: G01J5/00 ,  G01K1/00

CPC classification number: G01J5/0806 ,  G01J5/0215 ,  G01J5/04 ,  G01J5/046 ,  G01J5/06 ,  G01J5/0815 ,  G01J5/10

Abstract: Compact thermal sensor modules, which in some implementations can be manufactured in wafer-level fabrication processes, include features composed of or coated with a low-emissivity material to reduce or prevent detection by a sensor of radiation emitted by other parts of the module. For example, spacers that separate an optics substrate and a sensor package from one another can be composed of or coated with such a low emissivity material. In some cases, the low emissivity material has an emissivity of no more than 0.1.

Abstract translation: 在一些实施方式中可以在晶片级制造工艺中制造的紧凑型热传感器模块包括由低辐射材料组成或涂覆的特征，以减少或防止传感器对模块的其它部分发射的辐射进行检测。 例如，将光学基板和传感器封装彼此分开的间隔件可由这种低辐射率材料组成或涂覆。 在某些情况下，低辐射率材料的发射率不超过0.1。

公开(公告)号：WO2013139403A1

公开(公告)日：2013-09-26

申请号：PCT/EP2012/055249

申请日：2012-03-23

Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. ,  REINERT, Wolfgang

Inventor： REINERT, Wolfgang

IPC: G01J5/20 ,  G01J5/04 ,  G01J5/02 ,  G01J5/08 ,  G01J5/28

CPC classification number: H01L31/02165 ,  G01J5/0215 ,  G01J5/0235 ,  G01J5/024 ,  G01J5/045 ,  G01J5/046 ,  G01J5/0803 ,  G01J5/0806 ,  G01J5/0862 ,  G01J5/0875 ,  G01J5/20 ,  G02B1/115 ,  H01L31/18 ,  H01L2924/16235

Abstract: The invention refers to an electromagnetic radiation sensor micro device for detecting electromagnetic radiation, which device comprises a substrate and a cover at least in part consisting of an electromagnetic radiation transparent material, and comprising a reflection reducing coating and providing a hermetic sealed cavity and an electromagnetic radiation detecting unit arranged within the cavity. The reflection reducing coating is arranged in form of a multi‐layer thin film stack, which comprises a first layer and a second layer arranged one upon the other. The first layer has a first refractive index and the second layer has a second refractive index different from the one of said first layer. First and second layer are of such layer thickness that for a certain wavelength there is destructive interference. The invention also refers to a wafer element as well as method for manufacturing such a device.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于检测电磁辐射的电磁辐射传感器微型装置，该装置包括至少部分由电磁辐射透明材料构成的基底和盖，并且包括反射降低涂层并提供气密密封腔和电磁辐射 放射线检测单元布置在腔内。 反射降低涂层以多层薄膜叠层的形式布置，其包括彼此排列的第一层和第二层。 第一层具有第一折射率，第二层具有与所述第一层不同的第二折射率。 第一层和第二层具有这样的层厚度，对于一定的波长具有破坏性干扰。 本发明还涉及一种晶片元件及其制造方法。

公开(公告)号：WO2012132316A1

公开(公告)日：2012-10-04

申请号：PCT/JP2012/001916

申请日：2012-03-21

Applicant: 三菱マテリアル株式会社 ,  中村 賢蔵 ,  石川 元貴 ,  魚住 学司

Inventor： 中村　賢蔵 ,  石川　元貴 ,  魚住　学司

IPC: G01J1/02 ,  G01J5/02 ,  H01L37/02

CPC classification number: G01J5/10 ,  G01J5/0215 ,  G01J5/20 ,  G01J2005/067 ,  H01L37/02

Abstract: 軽量でかつ基板に立設させて十分な支持強度で取り付けることが容易な赤外線センサを提供する。絶縁性フィルム２と、該絶縁性フィルム２の一方の面に互いに離間させて設けられた第１の感熱素子３Ａ及び第２の感熱素子３Ｂと、絶縁性フィルム２の一方の面に形成され第１の感熱素子３Ａに接続された導電性の第１の配線膜４Ａ及び第２の感熱素子３Ｂに接続された導電性の第２の配線膜４Ｂと、第２の感熱素子３Ｂに対向して絶縁性フィルム２の他方の面に設けられた赤外線反射膜６とを備え、センサ部に対応したセンサ部用窓部８ａが形成されて絶縁性フィルムに貼り付けられた補強板８と、第１の配線膜および第２の配線膜に接続され絶縁性フィルムの端部に形成されコネクタに嵌め込み可能な第１の端子電極７Ａおよび第２の端子電極７Ｂとを備えている。

Abstract translation: 提供了一种重量轻的红外线传感器，以立式的方式设置在基板上，并且容易地以足够的支撑强度附着。 一种红外线传感器，具备：绝缘膜（2）; 设置在所述绝缘膜（2）的一个表面上以彼此分离的第一热敏元件（3A）和第二热敏元件（3B）; 形成在所述绝缘膜（2）的一个表面并连接到所述第一热敏元件（3A）的第一导电布线膜（4A）; 连接到第二热敏元件（3B）的第二导电布线膜（4B）; 以及设置在所述绝缘膜（2）的另一个表面上以与所述第二热敏元件（3B）相对的红外反射膜（6）。 所述红外线传感器还设置有：加强板（8），形成有与传感器部件对应的传感器部分窗口（8a），并附着在所述绝缘膜上; 并且分别连接到第一布线膜和第二布线膜的第一端子电极（7A）和第二端子电极（7B）形成在绝缘膜的边缘上，并且能够插入到连接器 。

公开(公告)号：WO0058803A9

公开(公告)日：2001-10-25

申请号：PCT/EP0002891

申请日：2000-03-31

Applicant: MELEXIS NV ,  DUCHATELET ROLAND ,  HILIGSMANN VINCENT ,  DIELS ROGER

Inventor： DUCHATELET ROLAND ,  HILIGSMANN VINCENT ,  DIELS ROGER

IPC: D06F75/26 ,  G01J5/00 ,  G05D23/27 ,  H01L43/00

CPC classification number: G01J5/02 ,  D06F75/26 ,  G01J5/0215 ,  G01J5/0846 ,  G05D23/1902 ,  G05D23/27

Abstract: A temperature control system includes an integrated circuit that combines magnetic sensitive elements and infrared sensors to detect user temperature settings and measure temperature, respectively. Integration of the various sensors results in a very cost-effective and reliable temperature control system suitable for consumer applications.

Abstract translation: 温度控制系统包括集成电路，其组合磁敏元件和红外传感器以分别检测用户温度设置和测量温度。 各种传感器的集成产生了一种非常经济高效可靠的温度控制系统，适用于消费者应用。

公开(公告)号：WO2011139328A3

公开(公告)日：2012-01-19

申请号：PCT/US2011000659

申请日：2011-04-11

Applicant: L 3 COMM CORP ,  SCHIMERT THOMAS R ,  FAGAN III THOMAS P ,  SYLLAIOS ATHANASIOS J

Inventor： SCHIMERT THOMAS R ,  FAGAN III THOMAS P ,  SYLLAIOS ATHANASIOS J

IPC: H01L31/09 ,  G01J5/02 ,  G01J5/20

CPC classification number: G01J5/20 ,  G01J1/02 ,  G01J1/0204 ,  G01J1/04 ,  G01J1/0411 ,  G01J1/0429 ,  G01J1/0488 ,  G01J4/04 ,  G01J5/02 ,  G01J5/0215 ,  G01J5/023 ,  G01J5/024 ,  G01J5/08 ,  G01J5/0806 ,  G01J5/0825 ,  G01J5/0862

Abstract: Pixel-level monolithic optical element configurations for uncooled infrared detectors and focal plane arrays in which a monolithically integrated or fabricated optical element may be suspended over a microbolometer pixel membrane structure of an uncooled infrared detector element A monolithic optical element may be, for example, a polarizing or spectral filter element, an optically active filter element, or a microlens element that is structurally attached by an insulating interconnect to the existing metal interconnects such that the installation of the optical element substantially does not impact the thermal mass or thermal time constant of the microbolometer pixel structure, and such that it requires little if any additional device real estate area beyond the area originally consumed by the microbolometer pixel structure interconnects.

Abstract translation: 用于非制冷红外探测器和焦平面阵列的像素级单片光学元件配置，其中单片集成或制造的光学元件可以悬挂在非制冷红外探测器元件的微测辐射热计像素膜结构上。单片光学元件可以是例如 偏振或光谱滤光器元件，光学有源滤光器元件或微透镜元件，其通过绝缘互连结构地附接到现有的金属互连，使得光学元件的安装基本上不影响光学元件的热质量或热时间常数 微照度计像素结构，并且使得其需要很少的额外的设备房地产区域超出由微测热计像素结构原始消耗的区域互连。

公开(公告)号：WO2011139329A3

公开(公告)日：2012-01-05

申请号：PCT/US2011000660

申请日：2011-04-11

Applicant: L 3 COMM CORP ,  BERATAN HOWARD

Inventor： BERATAN HOWARD

IPC: H01L31/09 ,  G01J5/02

CPC classification number: H01L37/00 ,  G01J1/02 ,  G01J1/0204 ,  G01J1/04 ,  G01J1/0411 ,  G01J1/0429 ,  G01J1/0488 ,  G01J4/04 ,  G01J5/02 ,  G01J5/0215 ,  G01J5/023 ,  G01J5/024 ,  G01J5/08 ,  G01J5/0806 ,  G01J5/0825 ,  G01J5/0862 ,  G01J5/20 ,  G01N21/3581 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/14669 ,  H01L27/14683

Abstract: A thermal absorption structure of a radiation thermal detector element may include an optically transitioning material configured such that optical conductivity of the thermal absorption structure is temperature sensitive and such that the detector element absorbs radiation less efficiently as its temperature increases, thus reducing its ultimate maximum temperature.

Abstract translation: 辐射热检测器元件的热吸收结构可以包括光学过渡材料，其被配置为使得热吸收结构的光学导电性是温度敏感的，并且使得检测器元件随着其温度升高而更低效地吸收辐射，从而降低其最终最高温度 。

公开(公告)号：WO2011074678A1

公开(公告)日：2011-06-23

申请号：PCT/JP2010/072811

申请日：2010-12-17

Applicant: パナソニック電工株式会社 ,  植田 充彦 ,  奥林 敬未 ,  杉山 貴則 ,  佐名川 佳治 ,  明田 孝典 ,  中村 雄志 ,  桐原 昌男

Inventor： 植田　充彦 ,  奥林　敬未 ,  杉山　貴則 ,  佐名川　佳治 ,  明田　孝典 ,  中村　雄志 ,  桐原　昌男

IPC: G01J1/02

CPC classification number: G01J5/16 ,  G01J5/02 ,  G01J5/0205 ,  G01J5/0215 ,  G01J5/04 ,  G01J5/046 ,  G01J5/08 ,  G01J5/0806 ,  G01J5/0875 ,  H01L2224/48137 ,  H01L2924/3025 ,  H01L2924/00

Abstract: 　熱ノイズを低減し、高精度で信頼性の高い赤外線検出を行うことが可能な赤外線センサモジュールを提供する。　赤外線センサモジュールは、基板上に配置され、赤外線信号を受信する赤外線センサ素子と、前記赤外線センサ素子の出力を処理する信号処理回路素子と、前記赤外線センサ素子から所定の距離を隔てて設けられ、外部の赤外線信号を前記赤外線センサ素子に結像するための光学系を備えた入射窓を有し、前記赤外線センサ素子および前記信号処理回路素子を収容する金属製のケースと、前記赤外線センサ素子と、前記ケースおよび前記信号処理回路素子との間に、前記光学系を介して入射する前記赤外線信号を前記赤外線センサ素子に導く透光部を有するセンサカバーとを具備している。

Abstract translation: 公开了一种红外线传感器模块，其中热噪声降低，并且可以以高精度和高可靠性进行红外检测。 红外线传感器模块设置有：红外线传感器元件，其设置在基板上并接收红外信号; 信号处理电路元件，其处理来自所述红外线传感器元件的输出; 设置在与红外线传感器元件预定距离的金属壳体上具有设有光学系统的光入射窗口，该光学系统在红外线传感器元件上形成具有外部红外线信号的图像，并容纳红外线传感器元件和信号 处理电路元件; 以及传感器盖，其设置在红外线传感器元件，壳体和信号处理电路元件之间，并且具有将通过光学系统输入的红外信号引导到红外线传感器元件的半透明部分。