公开(公告)号：WO2007104811A1

公开(公告)日：2007-09-20

申请号：PCT/ES2007/000121

申请日：2007-03-08

Applicant: BAOLAB MICROSYSTEMS S.L. ,  MONTANYÀ SILVESTRE, Josep ,  VALLE FRAGA, Juan José

Inventor： MONTANYÀ SILVESTRE, Josep ,  VALLE FRAGA, Juan José

IPC: G02F1/21 ,  B81B5/00

CPC classification number: G02B26/0841 ,  G02B26/085

Abstract: Dispositivo MEMS electroóptico reflector digital que comprende un elemento conductor (7), que es una pieza suelta y mecánicamente independiente de su entorno, y se desplaza a través de un espacio intermedio (5) del dispositivo en función de unos voltajes presentes en unas placas de condensador (1, 2, 3), y una superficie reflectora (19), que refleja un haz de luz incidente y es solidaria al elemento conductor (7). El elemento conductor (7) se mueve en el espacio intermedio (5) hasta apoyarse en unos puntos de apoyo dispuestos de tal manera que obligan al elemento conductor (7) a cambiar de orientación. Procedimiento de actuación del dispositivo MEMS anterior que comprende la aplicación de unos voltajes a las placas tales que el elemento conductor cambie de orientación. El elemento conductor también se puede mover en el espacio intermedio una distancia tal que provoca interferencias en función de la posición del elemento conductor.

Abstract translation: MEMS电光数字反射器装置，其包括导体元件（7），所述导体元件（7）是机械上独立于其环境并且随着电容器板（1,2）上存在的电压的函数而移动通过设备的中间空间（5） 3）和反射表面（19），其反射入射光束并与导体元件（7）成一体。 导体元件（7）在中间空间（5）中移动，直到其放置在静止点上，以便使导体元件（7）改变取向。 用于致动上述MEMS器件的方法，其包括向所述板施加电压，使得导体元件改变取向。 导体元件也可以在中间空间中移动一段距离，使其产生作为导体元件的位置的函数的干涉。

公开(公告)号：WO2006052908A3

公开(公告)日：2006-10-19

申请号：PCT/US2005040329

申请日：2005-11-08

Applicant: STEREO DISPLAY INC ,  ANGSTROM INC ,  KIM TAE HYEON ,  BAEK SANG HYUNE

Inventor： KIM TAE HYEON ,  BAEK SANG HYUNE

IPC: G02B26/00 ,  G02B7/32 ,  G02B26/08 ,  G02B26/10 ,  G02B27/40 ,  G02F1/29

CPC classification number: G02B26/085 ,  G02B3/00 ,  G02B7/32 ,  G02B17/0694 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/105 ,  G02B27/0068 ,  G02B27/40

Abstract: A variable focal length lens (121) consists of many micromirrors (122) with degrees of freedom rotation and/or degrees of freedom translation and actuating components. As operating methods for the lens, the actuating components control the positions of micromirrors (122) electrostatically and/or elec­tromagnetically. The optical efficiency of the variable focal length lens is increased by locating a mechanical structure upholding micromirrors and the actuating components under micromirrors. The lens (121) can correct aberration by controlling each micromirror independently. The lens (121) can also be of a desired arbitrary shape and/or size. The micromirrors (122) are arranged in a flat plane or in a curved plane with a predetermined curvature. The electrodes determining the position of the micromirrors can be made of material with high electrical conductivity, preferably metal. The surface material of the micromirror is made of a material with high reflectivity such as aluminum, silver, and gold, which are coated with multi-layer dielectric material or antioxidant.

Abstract translation: 可变焦距透镜（121）由许多具有自由度旋转和/或自由度平移和致动部件的微镜（122）组成。 作为透镜的操作方法，致动部件静电和/或电磁地控制微镜（122）的位置。 可变焦距透镜的光学效率通过将保持微镜和致动部件的机械结构定位在微镜下来增加。 透镜（121）可以通过独立地控制每个微镜来校正像差。 透镜（121）也可以是期望的任意形状和/或尺寸。 微镜（122）被布置在具有预定曲率的平面或弯曲平面中。 确定微镜的位置的电极可以由具有高导电性的材料制成，优选由金属制成。 微镜的表面材料由具有高反射率的材料制成，例如铝，银和金，其涂覆有多层电介质材料或抗氧化剂。

公开(公告)号：WO2006104084A1

公开(公告)日：2006-10-05

申请号：PCT/JP2006/306113

申请日：2006-03-27

Applicant: ブラザー工業株式会社 ,  村上 健一 ,  浅井 伸明

Inventor： 村上 健一 ,  浅井 伸明

IPC: G02B26/10 ,  G02B27/02 ,  H04N3/10 ,  H04N5/74

CPC classification number: G02B26/085 ,  G02B26/105

Abstract: 　揺動可能に支持された揺動部材（３４）を有する走査素子（１０、３０）と、鋸歯状波部（Ｗａ）、及び、走査素子の固有共振周波数に基づいて形成される補正波部（Ｗｂ）を含む走査信号（Ｗ）を所定周期で発生させる走査信号発生手段（５０、７０、８０、９０）と、発生された該走査信号に基づいて揺動部材を揺動させるよう駆動する駆動手段（１００、３７、３８、３９）とを備えたことを特徴とした光走査装置である。

Abstract translation: 一种具有振荡构件（34）的扫描元件（10,30）的振荡器支撑的扫描信号产生装置（50,70,80,90），用于产生包括锯齿波部分（W）的扫描信号（W） Wa）和基于预定周期的扫描元件的固有共振频率形成的校正波部分（Wb），以及用于基于产生的扫描信号振荡振荡部件的装置（100,37,38,39）。

公开(公告)号：WO2006005037A2

公开(公告)日：2006-01-12

申请号：PCT/US2005/023695

申请日：2005-06-29

Applicant: TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED ,  TURNER, Arthur, Monroe ,  HEATON, Mark, Wesley

Inventor： TURNER, Arthur, Monroe ,  HEATON, Mark, Wesley

IPC: G02B26/08 ,  G02B7/182

CPC classification number: G02B26/085 ,  G02B26/105 ,  G09G3/02 ,  H04N2201/0476

Abstract: Apparatus and methods are provided for removing jitter and stabilizing the feedback system of a torsional hinged device. Light source from beam 16 is directed toward a reflective surface of a rotating mirror 10 onto a photosensitive medium 20. Sensors 22a, 22b provide movement sensing signals to monitor and control circuitry 26 which controls drive mechanism 12. Stabilization is accomplished by providing asymmetry in the oscillating device 10 or the drive torque 18 applied to the device, to introduce a slight lateral motion in addition to the rotational motion.

Abstract translation: 提供了用于消除抖动并稳定扭转铰链装置的反馈系统的装置和方法。 来自光束16的光源被引向旋转镜10的反射表面到光敏介质20上。传感器22a，22b提供移动感测信号，以监控和控制电路26，控制电路26控制驱动机构12.稳定是通过在 摆动装置10或施加到装置的驱动扭矩18，除了旋转运动之外引入轻微的横向运动。

公开(公告)号：WO2005069057A9

公开(公告)日：2005-10-13

申请号：PCT/FR2004050758

申请日：2004-12-23

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE ,  DIVOUX CLAIRE ,  VAUDAINE MARIE-HELENE ,  ENOT THIERRY

Inventor： DIVOUX CLAIRE ,  VAUDAINE MARIE-HELENE ,  ENOT THIERRY

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B26/08

CPC classification number: G02B26/085 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0361 ,  B81C1/00626 ,  B81C2201/0136 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/0841 ,  Y10S29/016 ,  Y10S438/924 ,  Y10T29/42

Abstract: The invention relates to a method for production of an operation system for an optical component, comprising the engraving of a first face of a component to form blocks thereon, the engraving of a second face of the component to release a membrane of the same material as the blocks and the production of operating means of the blocks and the membrane.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造用于光学部件的操作系统的方法，该方法包括对部件的第一面进行雕刻以在其上形成块，雕刻该部件的第二面以释放与 砌块和砌块和隔膜的操作装置的制造。

公开(公告)号：WO2005093484A1

公开(公告)日：2005-10-06

申请号：PCT/US2005/009280

申请日：2005-03-21

Applicant: STEREO DISPLAY, INC. ,  ANGSTROM, INC. ,  CHO, Gyoung, Il ,  GIM, Dong, Woo ,  SEO, Cheong, Soo ,  BOYD, James, Greenup ,  BAEK, Sang, Hyune

Inventor： CHO, Gyoung, Il ,  GIM, Dong, Woo ,  SEO, Cheong, Soo ,  BOYD, James, Greenup ,  BAEK, Sang, Hyune

IPC: G02B15/14

CPC classification number: G02B26/0825 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/085

Abstract: There is a need for a small and fast optical zoom device that can change magnification. Conventional zoom devices require coupled mechanical motions to adjust the axial separations between individual or groups of elements in order to change the optical magnification. The mechanical motions decrease the speed of zooming, increase space and weight for zoom system, may induce unwanted jitter, and require large power consumption. In addition, the mechanical zoom system is restricted to magnifying the area on-axis. To solve problems of conventional zoom system, the zoom system utilizing one or more variable focal length micromirror array lenses without macroscopic mechanical motion of lenses is invented.

Abstract translation:

需要一个可以改变放大倍率的小型快速光学变焦设备。 常规的变焦装置需要耦合的机械运动来调整单个或多组元件之间的轴向间隔以改变光学放大率。 机械运动会降低变焦速度，增加变焦系统的空间和重量，可能会引起不必要的抖动，并且需要较大的功耗。 此外，机械变焦系统仅限于放大轴上区域。 为了解决传统变焦系统的问题，发明了利用一个或多个可变焦距微镜阵列透镜而没有透镜的宏观机械运动的变焦系统。

公开(公告)号：WO2004077518A2

公开(公告)日：2004-09-10

申请号：PCT/US2004/005493

申请日：2004-02-24

Applicant: EXAJOULE LLC ,  AUBUCHON, Christopher M.

Inventor： AUBUCHON, Christopher M.

IPC: H01L

CPC classification number: G02B26/0866 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/085 ,  G02B26/0858

Abstract: Multi-tilt mirrors, assemblies and applications of the same, and methods of making. Micromirror devices employing a superstructure that includes a mirror supported over a hinge set above a substructure. Various features described are applicable to improve manufacturability, enable further miniaturization of the elements and/or to increase relative light return. Devices can be produced utilizing the various optional features described herein to provide miniaturized, highly controllable optics solutions.

Abstract translation: 多倾斜镜，组件及其应用，以及制作方法。 采用上层结构的微镜装置，其包括支撑在子结构之上的铰链组上的反射镜。 所描述的各种特征适用于提高可制造性，使元件进一步小型化和/或增加相对光返回。 可以使用本文所述的各种可选特征来生产设备，以提供小型化，高度可控的光学解决方案。

公开(公告)号：WO2004061904A2

公开(公告)日：2004-07-22

申请号：PCT/US0339947

申请日：2003-12-16

Applicant: TEXAS INSTRUMENTS INC ,  ORCUTT JOHN W ,  TURNER ARTHUR M

Inventor： ORCUTT JOHN W ,  TURNER ARTHUR M

IPC: G02B26/08 ,  H01L

CPC classification number: G02B26/0833 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/085 ,  G02B26/0858 ,  G02B26/101

Abstract: A functional surface, such as a reflective surface, is supported by a pair of torsional hinges for pivoting about a first axis which in turn is supported by a pair of anchors, according to one embodiment. The reflective surface may be driven into resonant oscillations about the first axis by inertially coupling energy to the device. According to a dual axis embodiment, the reflective surface is attached by torsional hinges to a gimbals portion which in turn is attached to the support members by a second pair of torsi al hinges which are orthogonal with the first pair of hinges so as to provide for pivoting of the surface about both pairs of torsional hinges. Thus, a light source may be reflected from a reflective surface to produce a beam sweep and moved orthogonally by the gimbals portion. The devices may be etched from silicon.

Abstract translation: 功能表面，例如反射表面，被一对扭转铰链支撑，用于围绕第一轴线枢转，第一轴线又由一对锚固件支撑，根据一个实施例。 反射表面可以通过将能量惯性耦合到器件而被驱动成围绕第一轴的谐振振荡。 根据双轴实施例，反射表面通过扭转铰链附接到万向节部分，万向节部分又通过与第一对铰链正交的第二对扭转铰链附接到支撑构件，以便提供 围绕两对扭转铰链枢转表面。 因此，光源可以从反射表面反射以产生光束扫描并且通过万向节部分正交地移动。 器件可以从硅上蚀刻。

公开(公告)号：WO2004034126A1

公开(公告)日：2004-04-22

申请号：PCT/JP2002/010560

申请日：2002-10-10

Applicant: 富士通株式会社 ,  富士通メディアデバイス株式会社 ,  壷井 修 ,  水野 義博 ,  上田 知史 ,  佐脇 一平 ,  奥田 久雄 ,  山岸 文雄 ,  曽根田 弘光

Inventor： 壷井 修 ,  水野 義博 ,  上田 知史 ,  佐脇 一平 ,  奥田 久雄 ,  山岸 文雄 ,  曽根田 弘光

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G02B26/0841 ,  G02B26/085 ,  H02N1/008

Abstract: マイクロ可動素子（Ｘ１）は、コア導体層（１１０ｂ）を含む複数の導体層（１１０ａ～１１０ｃ）および導体層（１１０ａ～１１０ｃ）間に介在する絶縁層（１１０ｄ，１１０ｅ）よりなる積層構造を有する材料基板において一体的に成形されている、可動部（１１１）と、フレーム（１１２）と、これらを連結する連結部（１１３）とを備える。可動部（１１１）は、コア導体層（１１０ｂ）に由来する第１構造体を含む。フレーム（１１２）は、コア導体層（１１０ｂ）に由来する第２構造体を含む。連結部（１１３）は、コア導体層（１１０ｂ）に由来して第１構造体および第２構造体に対して連続的に接続し且つ相互に電気的に分離されている複数のトーションバー（１１３ａ，１１３ｂ）を含む。

Abstract translation: 微型移动元件（X1）包括移动部分（111），框架（112），其一体地模制在具有包括导体层（110a-110c）的材料基板上，该导体层包括芯导体层（110b）和绝缘层 介于导体层（110a-110c）之间的层（110d，110e）和耦合部分（113）。 移动部分（111）包括从芯导体层（110b）衍生的第一结构。 框架（112）包括衍生自芯导体层（110b）的第二结构。 耦合部分（113）包括衍生自芯体导体层（110b）的扭杆（113a，113b），连续地连接到第一和第二结构，并彼此电分离。

公开(公告)号：WO2004019081A2

公开(公告)日：2004-03-04

申请号：PCT/US2003/027369

申请日：2003-08-21

Applicant: CHERN, Shy-Shiun

Inventor： CHERN, Shy-Shiun

IPC: G02B

CPC classification number: G02B6/3584 ,  G02B6/3512 ,  G02B6/355 ,  G02B6/3558 ,  G02B6/3564 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3572 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/085

Abstract: In an optical switch for routing an optical signal, a deflecting member is mounted movably on a base and is tiltable about a fulcrum shaft so as to deflect the optical signal. Multiple elongate cantilevers are disposed on the base and are arranged around the deflecting member. Each cantilever has a coupling end portion connected to the base and opposite to a hammer end portion disposed on a periphery of the deflecting member. Control units are disposed on the base, and are operably and respectively associated with the cantilevers so as to control movement of the cantilevers to an appropriate one of a suspending position, where the hammer end portion is spaced apart from the deflecting member, and a pumping position, where the hammer end portion strikes the deflecting member, thereby forcing the deflecting member to tilt to a desired direction about the fulcrum shaft.

Abstract translation: 在用于布置光信号的光开关中，偏转构件可移动地安装在基座上并且可围绕支点轴倾斜以便偏转光信号。 多个细长悬臂设置在基座上并围绕偏转构件设置。 每个悬臂具有连接到基座并且与设置在偏转构件的周边上的锤端部相对的联接端部。 控制单元设置在基座上，并且可操作地并且分别与悬臂相关联，以便控制悬臂的移动到悬挂位置的适当的一个，其中锤头部分与偏转构件间隔开，并且泵送 位置，其中锤头部分撞击偏转构件，从而迫使偏转构件围绕支点轴倾斜到期望的方向。