MEMS SCANNER PACKAGE AND SCANNING PROJECTOR INCLUDING THE SAME
    1.
    发明申请
    MEMS SCANNER PACKAGE AND SCANNING PROJECTOR INCLUDING THE SAME 审中-公开
    微机电系统扫描仪包装和扫描仪投影仪包括相同

    公开(公告)号:WO2017217800A1

    公开(公告)日:2017-12-21

    申请号:PCT/KR2017/006298

    申请日:2017-06-16

    Abstract: A mems scanner package and a scanning projector including the same are disclosed. The MEMS scanner package includes a MEMS scanner including a mirror surface for reflecting light, a magnet disposed behind the MEMS scanner, a lower case having an accommodation space formed therein to accommodate the magnet, an upper case having an opening formed therein to pass light, reflected from the MEMS scanner, therethrough, and a transparent cover unit for covering the opening. The transparent cover unit is embodied as a transparent member, and is coupled to the upper case while being inclined at a predetermined inclination angle with respect to the MEMS scanner.

    Abstract translation: 公开了一种mems扫描仪组件和包括该组件的扫描投影仪。 MEMS扫描仪封装包括:MEMS扫描仪,其包括用于反射光的镜面;磁体,其设置在MEMS扫描仪后面;下壳,其中形成有容纳空间以容纳磁体;上壳,其中形成有开口以传递光; 从MEMS扫描仪反射,穿过其中,以及用于覆盖开口的透明盖单元。 透明盖单元被实施为透明构件,并且在相对于MEMS扫描仪以预定倾斜角度倾斜的同时耦合到上壳体。

    MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND VERFAHREN ZUM VERSTELLEN EINES VERSTELLBAREN ELEMENTS
    2.
    发明申请
    MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND VERFAHREN ZUM VERSTELLEN EINES VERSTELLBAREN ELEMENTS 审中-公开
    用于调节可调元件的微机械部件和方法

    公开(公告)号:WO2017080762A1

    公开(公告)日:2017-05-18

    申请号:PCT/EP2016/075008

    申请日:2016-10-19

    Abstract: Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einer Aktoreinrichtung, welche dazu ausgelegt ist, ein verstellbares Element (10) in eine erste Verstellbewegung (20a) um eine erste Rotationsachse (20) und in eine zweite Verstellbewegung (28a) um eine geneigt zu der ersten Rotationsachse (20) ausgerichtete zweite Rotationsachse (28) zu versetzen; wobei die Aktoreinrichtung mindestens einen an einem ersten Federelement (12a) angeordneten ersten Permanentmagneten (16a) und mindestens einen an einem zweiten Federelement (12b) angeordneten zweiten Permanentmagneten (16b) umfasst, wobei der mindestens eine erste Permanentmagnet (16a) zu einer ersten Translationsbewegung geneigt zu der ersten Rotationsachse (20) und geneigt zu der zweiten Rotationsachse (28) und der mindestens eine zweite Permanentmagnet (16b) zu einer der ersten Translationsbewegung entgegen gerichteten zweiten Translationsbewegung anregbar sind, wodurch die zweite Verstellbewegung (28a) des verstellbaren Elements (20) um die zweite Rotationsachse (28) bewirkbar ist. Ebenso betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Verstellen eines verstellbaren Elements.

    Abstract translation:

    本发明涉及一种具有致动器装置的微机械部件,其适合于围绕旋转(20)的第一轴的第一调节运动(20a)的可调节的元件(10),并且在第二调整(28A )以偏移相对于所述第一旋转轴线(20)倾斜取向的第二旋转轴线(28); 其中,所述致动器装置的第一弹簧元件(12a)的至少一个布置的第一永久磁铁(16A)和至少(12B)设置在第二永久磁铁的第二弹簧元件中的一个(图16B),其中,所述至少一个第一永磁体(16A)倾斜到第一平移运动 到所述第一旋转轴(20)和倾斜的旋转(28)的第二轴线和所述至少一个第二永久磁铁(16b)的所述第一平移运动可以相对的第二平移运动,被激发,由此可调节元件的第二调节运动(28A)(20) 围绕第二旋转轴线(28)进行。 同样地,本发明涉及一种用于调节可调节元件的方法。

    APPARATUS AND METHOD FOR ELECTROMAGNETIC RADIATION SENSING
    3.
    发明申请
    APPARATUS AND METHOD FOR ELECTROMAGNETIC RADIATION SENSING 审中-公开
    电磁辐射感测装置及方法

    公开(公告)号:WO2015200796A1

    公开(公告)日:2015-12-30

    申请号:PCT/US2015/037981

    申请日:2015-06-26

    Abstract: Systems, methods, and apparatus for providing electromagnetic radiation sensing. The apparatus includes a radiation detection sensor including a plurality of micromechanical radiation sensing pixels having a reflecting top surface and configured to deflect light incident on the reflective surface as a function of an intensity of sensed radiation. In some implementations, the apparatus has equal sensitivities for at least some of the sensing pixels. In some implementations, the apparatus can provide adjustable sensitivity and measurement range. The apparatus can be utilized for human detection, fire detection, gas detection, temperature measurements, environmental monitoring, energy saving, behavior analysis, surveillance, information gathering and for human-machine interfaces.

    Abstract translation: 用于提供电磁辐射感测的系统,方法和装置。 该装置包括辐射检测传感器,其包括多个具有反射顶表面的微机械辐射感测像素,并且被配置为根据感测辐射的强度偏转入射在反射表面上的光。 在一些实现中,该装置对于至少一些感测像素具有相同的灵敏度。 在一些实施方案中,该装置可以提供可调的灵敏度和测量范围。 该装置可用于人体检测,火灾探测,气体检测,温度测量,环境监测,节能,行为分析,监视,信息收集和人机界面。

    REACTION COMPENSATED TILT PLATFORM
    5.
    发明申请
    REACTION COMPENSATED TILT PLATFORM 审中-公开
    反应补偿倾斜平台

    公开(公告)号:WO2014149169A1

    公开(公告)日:2014-09-25

    申请号:PCT/US2014/011684

    申请日:2014-01-15

    CPC classification number: G02B7/182 F16M11/18 G02B7/1821 G02B26/085 G02B26/101

    Abstract: A reaction compensated tilt platform assembly comprises a support base, and a reaction mass, pivotally coupled to the support base. A tilt platform which can function as or support a mirror is pivotally coupled to the support base. At least two linear actuator coil assemblies are carried by the reaction mass. At least two linear actuator magnet assemblies are carried by the tilt platform and are disposable within the at least two linear actuator coil assemblies. The linear actuator magnet assemblies taper from a larger diameter toward a center of the magnet assembly to a smaller diameter toward an end of the magnet assemblies. Actuation of the linear actuator magnets results in pivotal movement of the tilt platform relative to the reaction mass.

    Abstract translation: 反应补偿倾斜平台组件包括支撑基座和可枢转地联接到支撑基座的反作用质量块。 可以用作或支撑反射镜的倾斜平台枢转地联接到支撑基座。 至少两个线性致动器线圈组件由反作用物质承载。 至少两个线性致动器磁体组件由倾斜平台承载并且在至少两个线性致动器线圈组件内是一次性的。 线性致动器磁体组件从较大直径朝向磁体组件的中心逐渐变细到朝向磁体组件的端部的较小直径。 线性致动器磁体的致动导致倾斜平台相对于反作用质量的枢转运动。

    駆動装置
    7.
    发明申请
    駆動装置 审中-公开
    驱动装置

    公开(公告)号:WO2013168275A1

    公开(公告)日:2013-11-14

    申请号:PCT/JP2012/062051

    申请日:2012-05-10

    Inventor: 鈴木 純

    CPC classification number: G02B26/101 G02B26/085 H02K16/00 H02K33/18

    Abstract:  駆動装置(106)は、第1ベース部(110-1)と、第1ベース部によって支持される第2ベース部(110-2)と、第1ベース部と第2ベース部とを接続し、且つ第2ベース部を他の方向(X軸)に沿った軸を回転軸として回転させるような弾性を有する第1弾性部(120a-1、120b-1)と、回転可能な被駆動部(130)と、第2ベース部と被駆動部とを接続し、且つ被駆動部を一の方向(Y軸)に沿った軸を回転軸として回転させるような弾性を有する第2弾性部(120a-2、120b-2)と、第2ベース部上に配置され且つ巻き線の外側に被駆動部が配置される第1コイル部(140a)と、第1コイル部との間に被駆動部を挟み込むように第2ベース部上に配置され且つ巻き線の外側に被駆動部が配置される第2コイル部(140b)と、第1コイル部及び第2コイル部に対して磁界を付与する磁界付与部(161、162)とを備え、磁界付与部は、第1コイル部のうち一の方向に沿って対向する2つの辺に磁界を付与する。

    Abstract translation: 驱动装置(106)具有:第一基座(110-1); 由所述第一基座支撑的第二基座(110-2); 第一弹性部件(120a-1,120b-1),其连接第一基座和第二基座,并且具有弹性,以便通过在一个方向(X轴)上作为旋转轴线允许第二基座旋转, ; 可旋转驱动部件(130); 第二弹性部件(120a-2,120b-2),其连接第二基座和被驱动部分,并且具有弹性,以便通过用作另一个方向上的旋转轴线(Y轴)来允许被驱动部分旋转 ); 第一线圈(140a),其设置在所述第二基座上,所述被驱动部分设置在所述第一线圈的绕组的外侧; 第二线圈(140b),其以从动部分位于第一线圈和第二线圈之间的方式设置在第二基座上,其中被驱动部分设置在第二线圈的绕组的外侧上; 以及每个向第一线圈和第二线圈施加磁场的磁场施加部分(161,162)。 磁场施加部分对另一方向彼此面对的第一线圈的两侧施加磁场。

    駆動装置
    8.
    发明申请
    駆動装置 审中-公开
    驱动装置

    公开(公告)号:WO2013168273A1

    公开(公告)日:2013-11-14

    申请号:PCT/JP2012/062049

    申请日:2012-05-10

    Inventor: 鈴木 純

    Abstract: 本発明は,ミラー等の被駆動物を回転させるMEMSスキャナ等の駆動装置において,ミラーを取り囲むようにコイルが配置されていたため,小型化や磁石の好適な位置への配置が困難になっていたという課題を解決するものである。本発明の駆動装置(103,104)は,第1ベース部(110-1)の内部に第1弾性部(120a-1,120b-1)を介してX軸まわりに回転する第2ベース部(110-2)と,前記第2ベース部の内部に第2弾性部(120a-2,120b-2)を介してY軸まわりに回転する被駆動部(130)とを備え,前記第2ベース上に被駆動部を挟むように配置される第1コイル部(140a)及び第2コイル部(140b)の各巻き線の外側に前記被駆動部を配置されるようにした。さらに,各コイル部に対して磁界を付与する磁界付与部(161,162)をX軸方向又はY軸方向に沿って相互にオフセットされるように配置した。

    Abstract translation: 本发明解决了由于线圈被布置成围绕诸如MEMS扫描器的驱动装置中的反射镜而设置的适当位置的磁体的困难的问题,其中制造诸如镜子的被驱动物体 旋转 这些驱动装置(103,104)设置有:第一基座(110-1)内的第一弹性部(120a-1,120b-1)绕X轴旋转的第二基座(110-2)。 以及通过第二基座内的第二弹性部件(120a-2,120b-2)绕Y轴旋转的从动部件(130)。 被驱动部件设置在第一线圈(140a)和第二线圈(140b)的绕组的外侧,第一线圈(140a)和第二线圈(140b)设置在第二基座上,其间的从动部分。 此外,各个向每个线圈施加磁场的磁场施加部件(161,162)以在X轴方向或Y轴方向彼此偏移的方式设置。

    駆動装置
    9.
    发明申请
    駆動装置 审中-公开
    驱动装置

    公开(公告)号:WO2013168267A1

    公开(公告)日:2013-11-14

    申请号:PCT/JP2012/062043

    申请日:2012-05-10

    Inventor: 鈴木 純

    CPC classification number: G02B26/101 G02B26/085 G02B26/105 H02K33/18

    Abstract: 本発明は、ミラー等の被駆動物を回転させるMEMSスキャナ等の駆動装置において、ミラーを取り囲むようにコイルが配置されていたため、小型化や磁石の好適な位置への配置が困難になっていたという課題を解決するものである。本発明の駆動装置(105)は、第1ベース部(110-1)の内部に第1弾性部(120a-1,120b-1)を介してX軸まわりに回転する第2ベース部(110-2)と、前記第2ベース部の内部に第2弾性部(120a-2,120b-2)を介してY軸まわりに回転する被駆動部(130)とを備え、前記第2ベース上に配置されるコイル部(140)の巻き線の外側に前記被駆動部を配置されるようにした。さらに、コイル部に対して磁界を付与する磁界付与部(161,162)を設け、コイル部を、第2ベース部の回転軸からY軸に沿ってオフセットした位置にコイル部の中心が位置するように配置した。

    Abstract translation: 本发明解决了由于线圈被布置成围绕诸如MEMS扫描器的驱动装置中的反射镜而设置的适当位置的磁体的困难的问题,其中制造诸如镜子的被驱动物体 旋转 该驱动装置(105)设置有:第一基座(110-1)内的第一弹性部(120a-1,120b-1)绕X轴旋转的第二基座(110-2)。 以及通过第二基座内的第二弹性部件(120a-2,120b-2)绕Y轴旋转的从动部件(130)。 驱动部件设置在设置在第二基座上的线圈(140)的绕组的外侧。 此外,提供各自向线圈施加磁场的磁场施加部件(161,162),并且线圈被设置成使得线圈的中心位于偏移的位置 从第二基座的旋转轴线的Y轴方向。

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