基板搬送装置及び基板搬送方法
    1.
    发明申请
    基板搬送装置及び基板搬送方法 审中-公开
    基板传输装置和基板传输方法

    公开(公告)号:WO2008032456A1

    公开(公告)日:2008-03-20

    申请号:PCT/JP2007/052670

    申请日:2007-02-15

    CPC classification number: H01L21/67715 B65G49/064 B65G2249/02

    Abstract:  この基板搬送装置は、基板を枚葉搬送するメインコンベヤと、上記メインコンベヤから水平に分岐する分岐コンベヤと、 上記メインコンベヤ上及び上記分岐コンベヤ上において上記基板(P)を浮上させて支持する支持部と、該支持部によって浮上させて支持された上記基板を、姿勢を変化させることなく上記メインコンベヤと上記分岐コンベヤとの間で受け渡す基板受渡部とを備える。この基板搬送装置によれば、メインコンベヤと分岐コンベヤ間における基板の受け渡し速度が向上する。

    Abstract translation: 基板输送装置设置有用于单独转印基板的主输送机; 从主输送机水平分支的分支输送机; 支撑部,用于通过浮置基板来支撑主输送机上的基板和分支输送机; 以及基板接收和传送部分,用于在不改变姿势的情况下接收和传送在主输送机和分支输送机之间由支撑部分浮动和支撑的基板。 通过使用基板输送装置,提高了在主输送机和分支输送机之间接收和传送基板的速度。

    突き合わせ溶接板材の位置決め方法及び装置
    2.
    发明申请
    突き合わせ溶接板材の位置決め方法及び装置 审中-公开
    用于定位焊接板材料的方法和装置

    公开(公告)号:WO2006131957A1

    公开(公告)日:2006-12-14

    申请号:PCT/JP2005/010319

    申请日:2005-06-06

    CPC classification number: B23K37/0408 B23K37/0461

    Abstract:  突き合わせ溶接板材を位置決めして溶接線を形成させる作業を短時間に可能にして突き合わせ溶接の作業能率を向上させる。  相対的に接近・離反が可能な第1テーブル1A及び第2テーブル1Bの夫々に板材17を載置し、各テーブル1A,1Bの対向端部1’前方で上方に突出する基準位置決め装置の基準位置決め部材16a,16bに板材17を当接させて各板材17の対向端面を各テーブル1A,1Bの対向端部1’の前方に張出させて位置決めすると共に各板材17の左右位置を位置決めした後、位置決めした板材17を各テーブル1A,1Bに固定し、続いて、基準位置決め装置を退避させた後、各テーブル1A,1Bを相対的に接近させて板材17の対向端面を当接させることにより溶接線Xを形成する。

    Abstract translation: 一种用于定位对接焊接板材的方法和装置,其能够在短时间内通过定位对接焊接板材料来形成焊接线的操作,从而提高对接焊接的工作效率。 平板材料(17)被放置在第一工作台(1A)和第二工作台(1B)上,第一工作台(1A)和第二工作台(1B)被允许彼此靠近并分开地移动并与基准定位构件(16a)和(16b)接触, (1A)和(1B)的相对的端部(1')向前突出的参考定位装置,并且板材(17)的相对的端面在相对的端部(1')的前方延伸, )用于定位的表(1A)和(1B)。 在板材(17)横向定位之后,定位的板材(17)固定在工作台(1A)和(1B)上。 在参考定位装置退回之后,台(1A)和(1B)彼此靠近移动直到它们接触板材(17)的相对端面以形成焊接线(X)。

    基板搬送装置及び基板搬送方法
    3.
    发明申请
    基板搬送装置及び基板搬送方法 审中-公开
    基板传输装置和基板传输方法

    公开(公告)号:WO2008032455A1

    公开(公告)日:2008-03-20

    申请号:PCT/JP2007/052669

    申请日:2007-02-15

    CPC classification number: H01L21/67715 B65G49/064 B65G49/067 B65G2249/02

    Abstract:  基板を枚葉搬送するメインコンベヤと、前記メインコンベヤから水平に分岐する分岐コンベヤと、前記基板の進行方向に対する向きが維持されるように前記基板を水平に回動させながら、前記メインコンベヤから前記分岐コンベヤに、あるいは、前記分岐コンベヤから前記メインコンベヤに前記基板を受け渡す基板受渡部と、を備える基板搬送装置である。

    Abstract translation: 基板输送装置设置有用于单独转印基板的主输送机; 从主输送机水平分支的分支输送机; 以及基板接收和传送部分,用于从主输送机接收基板并将其传送到分支输送机或用于从分支输送机接收基板并将其传送到主输送机,同时水平转动基板以保持基板的方向 基板相对于前进方向。

    浮上装置及び浮上搬送装置
    4.
    发明申请
    浮上装置及び浮上搬送装置 审中-公开
    LEVITATION DEVICE AND LEVITATION TRANSPORTATION DEVICE

    公开(公告)号:WO2009004882A1

    公开(公告)日:2009-01-08

    申请号:PCT/JP2008/060181

    申请日:2008-06-03

    Abstract:  下面を有する対象物を流体により浮上させて搬送するための浮上搬送装置が開示されている。前記浮上搬送装置は、前記流体が通過するチャンバを区画する基部と、上面と、前記チャンバと連通して前記上面に開口した一以上のノズルとを有し、前記チャンバを覆うように配置されたプレートと、上端に向かって狭まる内面を有し、前記内面と前記プレートの前記上面とが、前記ノズルに連通して上方向に開放された空虚な空間を囲むべく、前記プレートの上方に配置された枠部材と、を備えた浮上装置と、前記流体を与圧して前記チャンバへ供給する流体供給装置と、前記対象物を搬送するための搬送装置と、を備える。

    Abstract translation: 一种悬浮运输装置,用于在用液体漂浮物体的同时运送具有下表面的物体。 悬浮输送装置具有悬浮装置,流体供给装置和输送装置。 悬挂装置具有板和框架构件。 板具有基部,通过该基部限定流体通过的室,上表面和与室连通并且在上表面中打开的一个或多个喷嘴,并且将板放置以覆盖室。 框架构件具有朝向框架构件的上端会聚的内表面,并且被放置在板的上方,使得板的内表面和上表面围绕与喷嘴连通并且向上打开的空腔。 流体供应装置在将其加压之后将流体提供给腔室。 运输设备运输物体。

    基板搬送装置
    5.
    发明申请
    基板搬送装置 审中-公开
    基板传送装置

    公开(公告)号:WO2008044340A1

    公开(公告)日:2008-04-17

    申请号:PCT/JP2007/051953

    申请日:2007-02-05

    Abstract:  この基板処理装置は、基板を枚葉搬送する搬送部と、この搬送部によって形成される搬送経路の途中部位に設置されるとともに上記搬送部によって搬送される基板を一時的に溜めてから搬出するバッファ部とを備え、このバッファ部は、複数の基板を水平姿勢にて収納可能な収納部を多段に備える基板カセットと、任意の収納部にアクセス可能であるとともに基板カセットと搬送部との間において基板の受け渡しを行う基板搬入出部とを備える。その結果、搬送経路上における基板の搬送の停止が抑制される。

    Abstract translation: 基板处理装置设置有用于一个接一个地传送基板的转印部分和布置在由转印部分形成的转印路径的中间的缓冲部分,用于使转印部分转印的基板暂时停留 并用于执行基板。 缓冲部分设置有用于以水平姿态在多个阶段存储多个基板的基板盒,以及用于在基板盒和转印部分之间接收和传送基板的基板输入/输出部分。 结果,传输路径上的转台停止被抑制。

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