公开(公告)号：WO2017108400A1

公开(公告)日：2017-06-29

申请号：PCT/EP2016/080005

申请日：2016-12-07

申请人： FOGALE NANOTECH

发明人： PIEL, Jean-Philippe ,  SU, Jeff, WuYu ,  THOUY, Benoit

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01B11/06

CPC分类号： G01B11/0675 ,  G01B9/02021 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02044 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02065 ,  G01B9/0209 ,  G01B2210/44 ,  G01B2210/48 ,  G01B2290/35

摘要： La présente invention concerne un dispositif pour mesurer des hauteurs et/ou des épaisseurs sur un objet de mesure (24) tel qu'un wafer, comprenant (i) un premier interféromètre à faible cohérence agencé pour combiner dans un spectromètre (18) un faisceau optique de référence (17) et un faisceau optique de mesure (16) issu de réflexions de ladite lumière sur des interfaces de l'objet de mesure (24), de sorte à produire un signal de spectre cannelé (41) avec des fréquences de modulations spectrales, (ii) des moyens de déplacement (21) pour faire varier la longueur optique relative des faisceaux optiques de mesure (16) et de référence (17), et des moyens de mesure d'une information de position représentative de ladite longueur optique relative, (iii) des moyens électroniques et de calcul (20) agencés pour déterminer au moins une fréquence de modulation spectrale représentative d'une différence de trajet optique entre le faisceau optique de mesure (16) et le faisceau optique de référence (17), et pour déterminer, en exploitant ladite information de position et ladite au moins une fréquence de modulation spectrale, au moins une hauteur et/ou une épaisseur sur ledit objet de mesure (24), et (iv) des seconds moyens optiques de mesure de distance et/ou d'épaisseur (27) avec un second faisceau de mesure (28) incident sur l'objet de mesure (24) selon une seconde face à l'opposé du faisceau de mesure (16). L'invention concerne aussi un procédé mis en oeuvre dans ce dispositif.

摘要翻译：

公关é感觉发明涉及一种装置，用于测量测量对象上的高度和/或厚度é（24），如晶片，其包含：（i）第一干涉仪éROM＆egrave 成为; 低一致性一致性 用于在光谱仪（18）中组合折射光束（17）和由测量物体的界面上的所述光的反射产生的光学测量光束（16） （24），所以＆agr; 产生信道频谱信号; （41）配有频谱调制的英国的电子序列，（ⅱ）保护设备;放置（21），用于改变在光学测量光束的光学长度（16）和r电子网é号（17）， 以及用于测量表示所述相对光学长度的位置信息的装置，（iii）电子和计算装置（20），用于确定至少一个频谱调制频率。 表示光学测量光束（16）和所述光读é光束˚Fé号公报（17）之间的差异é号光路的ésentative，和用于解最后，通过利用所述位置信息和所述 至少一个FRéquence频谱调制，至少一个高度和/或上的DE厚度，所述测量对象（24），和（iv）用于测量距离和/或e厚度第二光学装置（ 27）与第二测量光束（28）附带地耦合 测量对象（24）根据第二面（α） 相反＆eacute; 的测量光束（16）。 本发明还涉及一种方法 在这个设备中实现。

公开(公告)号：WO2017041174A1

公开(公告)日：2017-03-16

申请号：PCT/CA2016/051060

申请日：2016-09-08

申请人： INSTITUT NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE

发明人： ROZTOCKI, Piotr ,  REIMER, Christian ,  KUES, Michael ,  HELSTEN, Robin ,  JESTIN, Yoann ,  MORANDOTTI, Roberto

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01H9/00 ,  G01K11/32 ,  A61B5/00

CPC分类号： G01B9/02067 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02027 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/70 ,  G01H9/004 ,  G01J3/45 ,  G01J9/02 ,  G01J2009/0226 ,  G01K11/00

摘要： A system and method for phase-readout/control and active stabilization on arbitrary interferometric phase in the optical interferometer platform is disclosed. The method makes use of a bi-colored polarization-multiplexed reference laser scheme. The disclosed scheme is based on two phase-locked reference signals with different frequencies that together remove the phase ambiguity. The two signals are polarization-multiplexed (either in free-space or optical fiber implementations) to enable easy separation and combining of these two signals through the use of polarization beam-splitters. The disclosed scheme provides a one-to-one map between phase and feedback signal levels, and enables phase- readout and stabilization even when one of the feedback-signals is at a maximum/minimum.

摘要翻译： 公开了一种在光干涉仪平台上的任意干涉相位上的相位读出/控制和主动稳定的系统和方法。 该方法利用双色偏振复用参考激光器方案。 所公开的方案基于具有不同频率的两个锁相参考信号，其一起消除相位模糊度。 两个信号被极化复用（在自由空间或光纤实现中），以便通过使用偏振分束器容易地分离和组合这两个信号。 所公开的方案在相位和反馈信号电平之间提供一对一映射，并且即使当反馈信号中的一个处于最大/最小时，也能够进行相位读出和稳定。

公开(公告)号：WO2017015424A1

公开(公告)日：2017-01-26

申请号：PCT/US2016/043251

申请日：2016-07-21

申请人： THE UNIVERSITY OF MISSISSIPPI

发明人： VYACHESLAV, Aranchuk

IPC分类号： G06T7/00 ,  G06T7/20 ,  G01B11/25

CPC分类号： G01B9/02083 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02019 ,  G01B9/02027 ,  G01B11/161 ,  G01H9/004

摘要： A sensor for a vibration imaging system is provided. The sensor includes a transmitter configured to project an array of laser beams onto a surface of an object such that neighboring beams in the array of laser beams are frequency shifted relative to each other, an interferometer configured to mix radiations reflected from neighboring points on the surface of the object such that the radiations from neighboring points interfere with one another, a photodetector array configured to produce output signals representative of the interfering beams, a demodulator configured to demodulate the output signals, and a computing device configured to calculate a deformation profile for the object based on the demodulated output signals.

摘要翻译： 提供了一种用于振动成像系统的传感器。 所述传感器包括发射器，所述发射器被配置为将激光束阵列投影到物体的表面上，使得所述激光束阵列中的相邻光束相对于彼此频移;干涉仪，被配置为混合从所述表面上的相邻点反射的辐射 所述对象的辐射使得来自相邻点的辐射彼此干扰，所述光电检测器阵列被配置为产生表示所述干扰波束的输出信号，被配置为解调所述输出信号的解调器，以及被配置为计算所述干扰波束的变形曲线的计算装置 对象基于解调输出信号。

公开(公告)号：WO2016169664A1

公开(公告)日：2016-10-27

申请号：PCT/EP2016/050372

申请日：2016-01-11

申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT

发明人： SCHICK, Anton

IPC分类号： G01B11/24 ,  G01B11/25 ,  G01B9/02

CPC分类号： G01B11/24 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02038 ,  G01B11/2441 ,  G01B11/25 ,  G01B11/254

摘要： Es wird ein Interferometrisches Verfahren zur Tiefenbestimmung eines Objektes (10) vorgeschlagen, welches das Bereitstellen einer Erfassungsvorrichtung (2), einer Rechenvorrichtung (3) und einer Projektionsvorrichtung (4), die wenigstens eine erste kohärente Lichtquelle (41) und eine zu dieser inkohärente zweite kohärente Lichtquelle (42) umfasst. Die Erfindung betrifft weiterhin eine Vorrichtung (1) zur Durchführung des Verfahrens.

摘要翻译： 它提出了一个对象（10）的深度确定的干涉的方法，包括：提供检测装置（2），计算装置（3）和（4），包括至少一个第一相干光源（41）和第二本非相干投影装置 包括相干光源（42）。 本发明还涉及一种用于实施该方法的装置（1）。

公开(公告)号：WO2016091783A1

公开(公告)日：2016-06-16

申请号：PCT/EP2015/078778

申请日：2015-12-07

申请人： UNIVERSITÄT KASSEL

发明人： LEHMANN, Peter ,  TERESCHENKO, Stanislav

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01B11/24 ,  G02B21/00 ,  G02B21/24

CPC分类号： G02B21/245 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02076 ,  G01B9/0209 ,  G01B11/2441 ,  G02B21/0004

摘要： Die Erfindung betrifft ein tiefenscannendes Mikroskop zur Bestimmung einer Oberflächentopographie eines Messobjekts (1), mit einer Lichtquelle (13) zur Beleuchtung des Messobjekts (1), wobei ein von der Lichtquelle (13) ausgehender und von dem Messobjekt (1) reflektierter Teilstrahl von einem Bildsensor (23) erfasst wird, und einer monochromatischen Lichtquelle (24), wobei sich ein von der monochromatischen Lichtquelle (24) ausgehender und von dem Messobjekt (1) reflektierter Teilstrahl und ein ebenfalls von der monochromatischen Lichtquelle (24) ausgehender und an einem Referenzspiegel (19) reflektierter Teilstrahl auf einem Fotosensor (26) überlagern. Das tiefenscannende Mikroskop weist zudem eine Verstelleinrichtung zum Verfahren von zumindest Teilen des Mikroskops und/oder des Messobjekts zur Variation der Länge der von dem Messobjekt (1) reflektierten Teilstrahlen auf. Das Mikroskop zeichnet sich dadurch aus, dass ein Antrieb (20) zur Bewegung des Referenzspiegels (19) entlang seiner optischen Achse und damit ebenfalls zur Variation des Gangunterschieds vorgesehen ist. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zum Betreiben eines derartigen tiefenscannenden Mikroskops.

摘要翻译： 本发明涉及一种深扫描显微镜用于确定测量物体（1）的表面形貌，其包括光源（13）用于照亮所述测量对象（1），其中的传出和从测量对象光源（13）的一（1）反射的来自副光束 图像传感器被检测到（23），和一个单色光源（24），其中，从出射的单色光源（24）和（1）从测量对象反射的从出射的单色光源（24）和上一个参考反射镜的部分光束，并且还 重叠（19）反射的光束部分至光传感器（26）。 深度扫描显微镜还具有用于在所述显微镜和/或测量对象的的至少一部分移动，用于改变的测量对象（1）反射的部分光束的长度的调节装置。 该显微镜的特征在于，用于沿其光轴移动所述参照镜（19），因此也向路径差的变化的驱动器（20）设置。 本发明还涉及一种用于操作这样的深度扫描显微镜的方法。

公开(公告)号：WO2015040618A1

公开(公告)日：2015-03-26

申请号：PCT/IL2014/050834

申请日：2014-09-17

申请人： RAMOT AT TEL-AVIV UNIVERSITY LTD.

发明人： GIRSHOVITZ, Pinhas ,  SHAKED, Natan Tzvi

IPC分类号： G01B9/02 ,  G02B21/14 ,  G01B9/04 ,  G02B21/00 ,  G03H1/26

CPC分类号： G01B9/0203 ,  G01B9/02011 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02028 ,  G01B9/02041 ,  G01B9/02047 ,  G01B9/02085 ,  G01B9/02097 ,  G01B9/04 ,  G01B11/06 ,  G02B5/12 ,  G02B17/08 ,  G02B21/0056 ,  G02B21/14 ,  G02B27/106 ,  G02B27/283 ,  G03H1/0443 ,  G03H1/265 ,  G03H2001/0445 ,  G03H2001/0456 ,  G03H2001/046

摘要： The present invention provides a sample inspection and quantitative imaging system and method for performing off-axis interferometric imaging while enabling to record off-axis holograms in an extended field of view (FOV) than possible using a given camera and imaging setup, and thus to enlarge (e.g. double, triple, or even more than this) the interferometric FOV, without changing the imaging parameters, such as the magnification and the resolution.

摘要翻译： 本发明提供了一种用于执行离轴干涉成像的样本检查和定量成像系统和方法，同时能够使用给定的相机和成像设置在可能的范围内记录扩展视野（FOV）中的离轴全息图，并且因此 放大（例如，双重，三倍或甚至更大）干涉式FOV，而不改变成像参数，例如放大倍数和分辨率。

公开(公告)号：WO2014201951A1

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：PCT/CN2014/079227

申请日：2014-06-05

申请人： 清华大学

发明人： 朱煜 ,  王磊杰 ,  张鸣 ,  刘召 ,  成荣 ,  杨开明 ,  徐登峰 ,  叶伟楠 ,  张利 ,  赵彦坡 ,  秦慧超 ,  田丽 ,  张金 ,  尹文生 ,  穆海华 ,  胡金春

IPC分类号： G01B11/02

CPC分类号： G01B9/02007 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02021 ,  G01B9/02022 ,  G01B9/02027 ,  G01B11/14 ,  G01B2290/70

摘要： 一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器（1）、光栅干涉仪（2）、测量光栅（3）、接收器（4）、电子信号处理部件（5）；光栅干涉仪（2）包括偏振分光镜（21）、参考光栅（22）、折光元件（23，24）；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频激光器（1）出射的双频激光入射至光栅干涉仪（2）、测量光栅（3）后输出四路光信号至接收器（4），后至电子信号处理部件（5）。当光栅干涉仪（2）与测量光栅（3）做三自由度线性相对运动时，系统可输出三个线性位移。该测量系统能够实现亚纳米甚至更高分辨率及精度，且能够同时测量三个线性位移。该测量系统具有对环境不敏感、测量精度高、体积小、质量轻等优点，作为光刻机超精密工件台位置测量系统可提升工件台综合性能。

公开(公告)号：WO2014201503A1

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：PCT/AU2014/000637

申请日：2014-06-20

申请人： CYLITE PTY LTD

发明人： FRISKEN, Steven James ,  FRISKEN, Grant Andrew

IPC分类号： G01J9/00 ,  G01J3/00 ,  G01J11/00 ,  G01B9/02 ,  A61B3/10

CPC分类号： A61B3/1015 ,  A61B3/0025 ,  A61B3/1025 ,  A61B3/107 ,  A61B3/117 ,  A61B3/14 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02039 ,  G01B9/02041 ,  G01B9/02044 ,  G01B9/02091 ,  G01B2290/70 ,  G01J9/02 ,  G01J2009/0219 ,  G01J2009/0238 ,  G02B27/1013 ,  G02B27/283 ,  G02C7/027 ,  G02C2202/24

摘要： Method and systems are presented for analysing a wavefront using a spectral wavefront analyser to extract optical phase and spectral information at a two dimensional array of sampling points across the wavefront, wherein the relative phase information between the sampling points is maintained. Methods and systems are also presented for measuring an eye by reflecting a wavefront of an eye and measuring the wavefront at a plurality of angles to provide a map of the off-axis relative wavefront curvature and aberration of the eye. The phase accuracy between wavelengths and sample points over a beam aperture offered by these methods and systems have a number of ocular applications including corneal and anterior eye tomography, high resolution retinal imaging, and wavefront analysis as a function of probe beam incident angle for determining myopia progression and for designing and testing lenses for correcting myopia.

摘要翻译： 提出了一种方法和系统，用于使用光谱波前分析器分析波前，以在波阵面上的采样点的二维阵列提取光学相位和光谱信息，其中保持采样点之间的相对相位信息。 还提出了用于通过反射眼睛的波前并以多个角度测量波前来测量眼睛的方法和系统，以提供离轴相对波前曲率和眼睛的像差的图。 这些方法和系统提供的光束孔径之间的波长和采样点之间的相位精度具有许多眼睛应用，包括角膜和前眼层析成像，高分辨率视网膜成像和波前分析作为用于确定近视的探针束入射角的函数 进展和设计和测试矫正近视眼镜。

公开(公告)号：WO2014020159A1

公开(公告)日：2014-02-06

申请号：PCT/EP2013/066298

申请日：2013-08-02

申请人： UNIVERSIDAD POLITÉCNICA DE MADRID

发明人： HOLGADO BOLAÑOS, Miguel ,  SANZA GUTIERREZ, Francisco Javier ,  LAGUNAS HERAS, María Fe ,  LAVIN HUEROS, Alvaro ,  CASQUEL DEL CAMPO, Rafael

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01N21/45

CPC分类号： G01B9/02044 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/0207 ,  G01B11/0675 ,  G01B2290/60 ,  G01N21/4788

摘要： The present invention is an interferometric detection method which allows improving the limit of detection and taking interferometric measurements with a much higher degree of sensitivity than that allowed by interferometric devices known in the state of the art. The invention is characterized by the use of two interferometric measurements, a first reference measurement in a wavelength range and a second measurement on the observation region in at least the same wavelength range in which it is to be determined whether or not there are changes, where a quotient function, which is the function to be analyzed for establishing parameters determining the change experienced in the observation region with a high degree of sensitivity, is constructed from said measurements.

摘要翻译： 本发明是一种干涉检测方法，其能够以比现有技术中已知的干涉测量装置所允许的更高的灵敏度提高检测限和进行干涉测量。 本发明的特征在于使用两个干涉测量，在波长范围内的第一参考测量和在至少相同波长范围内的观察区域上的第二测量，其中确定是否存在变化，其中 根据所述测量构建商函数，该函数是用于建立确定观察区域中具有高灵敏度的变化的参数的分析函数。

公开(公告)号：WO2013019776A2

公开(公告)日：2013-02-07

申请号：PCT/US2012048940

申请日：2012-07-31

申请人： UNIV FLORIDA ,  WAN XIAOKE ,  GE JIAN

发明人： WAN XIAOKE ,  GE JIAN

IPC分类号： G01B11/02

CPC分类号： G01B11/06 ,  G01B9/02021 ,  G01B9/02022 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/0207 ,  G01B9/0209 ,  G01B11/0675 ,  G01N21/45

摘要： A scanning monochromatic spatial low-coherent interferometer (S-LCI) can be used to simultaneously measure geometric thickness and refractive index. The probe beam of the scanning S-LCI can be an off-axis converging single wavelength laser beam, and the decomposed incident angles of the beam on the sample can be accurately defined in the Fourier domain. The angle dependent phase shift of a plane parallel plate or other sample can be obtained in a single system measurement. From the angle dependent phase shift, the geometric thickness and refractive index of the sample can be simultaneously obtained. Additionally or alternatively, the S-LCI system can interrogate the sample to profile the location and refractive index of one or more layers within the sample using the disclosed techniques.

摘要翻译： 扫描单色空间低相干干涉仪（S-LCI）可用于同时测量几何厚度和折射率。 扫描S-LCI的探测光束可以是离轴会聚的单波长激光束，并且可以在傅里叶域中精确地定义样品上的光束的分解入射角。 平面平行板或其他样品的角度相关相移可以在单个系统测量中获得。 从角度相关相移可以同时获得样品的几何厚度和折射率。 附加地或替代地，S-LCI系统可以使用所公开的技术来询问样品以分析样品内的一个或多个层的位置和折射率。