VERFAHREN UND VORRICHTUNG FÜR DIE THERMISCHE ABGASREINIGUNG
    1.
    发明申请
    VERFAHREN UND VORRICHTUNG FÜR DIE THERMISCHE ABGASREINIGUNG 审中-公开
    方法和设备的热发射

    公开(公告)号:WO2005026616A1

    公开(公告)日:2005-03-24

    申请号:PCT/DE2004/001990

    申请日:2004-09-06

    Inventor: HARTUNG, Rolf

    CPC classification number: F23D14/22 F23C6/047 F23G7/065

    Abstract: Verfahren für die thermische Abgasreinigung, wobei Brenngas und Brennluft der Brennkammer (7) räumlich getrennt und direkt derart zugeführt und durch Verwirbelung der Gasströme gemischt werden, dass zwei, sich gegenüberliegende Flammenfronten entstehen, und dass die Abgase zwischen den Flammenfronten zugeführt werden sowie anordnungsgemäß dadurch, dass die Zuführungen für Brenngas (4) und Brennluft (1, 2) als Düsen (10, 14, 16) direkt in die Brennkammer (7) münden, dass für Brenngas und für Brennluft jeweils mehrere Düsen (10, 16) in einer Reihe und dabei die beiden Düsenreihen nah beieinander angeordnet sind, dass für zumindest einen der beiden Reaktionspartner eine zweite, gegenüber der ersten liegende Düsenreihen angeordnet ist und dass die Abgaszuführung zwischen diesen gegenüberliegenden Reihen in die Brennkammer (7) mündet.

    Abstract translation: 一种用于热排气净化,由此,燃料气体和燃烧空气到燃烧室(7)在空间通过气体的湍流分离,并直接提供给这样的混合过程流形成两个相对的火焰前缘,并且所述废气按照事实火焰锋面和装置之间供给 该入口用于燃料气体(4)和燃烧用空气(1,2)的喷嘴(10,14,16)直接进入所述燃烧室(7)打开,即在每种情况下在一排的多个喷嘴对燃料气体和燃烧用空气(10,16)的 对于两种反应物,第二,相反的喷嘴的第一躺在行中的至少一个被布置,并且(7)打开,同时两个喷嘴行被布置靠近在一起在燃烧室这些相对行之间的废气进料。

    CONTINUOUS FURNACE
    2.
    发明申请
    CONTINUOUS FURNACE 审中-公开
    连续炉

    公开(公告)号:WO1990014184A2

    公开(公告)日:1990-11-29

    申请号:PCT/DE1990000376

    申请日:1990-05-22

    CPC classification number: F27B9/243 F27B9/10 F27B9/24 F27B21/06 H05K3/227

    Abstract: A continuous furnace for sintering both sides of sintered disks on substrates simultaneously has a muffle (3), a belt conveyor which runs alongside the muffle and carries the substrate (1), and a pair of synchronously driven, mutually parallel single belts (2) the surfaces of which form mutually inclined planes inside the muffle (3). The substrates (1) are free-supporting between two parallel side edges (1'); one side edge rests on the surface of one single belt and the second side edge rests on the surface of the other single belt, so that the lower surface of the substrate does not touch the single belts (2).

    Abstract translation: 用于同时烧结基板上的烧结盘两面的连续炉具有马弗管(3),沿马弗管并带有基板(1)的带式输送机,以及一对同步驱动的相互平行的单个带(2) 其表面在马弗炉(3)内形成相互倾斜的平面。 基板(1)在两个平行的侧边缘(1')之间自由支撑; 一个侧边缘搁置在一个单一带的表面上,而第二侧边缘搁置在另一个单个带的表面上,使得基底的下表面不接触单个带(2)。

    WASTE GAS PURIFICATION DEVICE
    4.
    发明申请
    WASTE GAS PURIFICATION DEVICE 审中-公开
    设备技术废气清理

    公开(公告)号:WO1996023173A1

    公开(公告)日:1996-08-01

    申请号:PCT/DE1996000076

    申请日:1996-01-19

    Abstract: The invention concerns a waste gas purification device, in particular for purifying waste gases from CVD, plasma etching or similar processes. The device comprises at least one combustion chamber vertically disposed inside an outer tube delimited at the top by an umbrella-like covering. The device further comprises an inwardly mixing or outwardly mixing burner whose fuel gas nozzles project into the combustion chamber, fuel gas, oxygen or air and waste gas being fed to the burner. The device finally comprises means for feeding and removing oxidizing agents and/or sorbents to and from a scrubbing chamber above the combustion chamber. The object of the invention is to provide a waste gas purification device which can be produced economically and avoids the disadvantages of the prior art. The invention is characterized in that the burner (12) is secured centrally in the covering (5) and comprises fuel gas nozzles (13) and at least one waste gas nozzle (14) which is directed vertically downwards into the combustion chamber (6). The reaction products generated during the combustion process are guided along the inner side of the outer tube (1) into the scrubbing chamber (7).

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于外管,其由伞状盖界定了内垂直布置净化废气,在从CVD,等离子蚀刻或类似工艺特定的废气,具有至少一个燃烧室和一个内部或外部混合 布伦纳,突出的燃烧气体的喷嘴进入燃烧室,其中,所述燃烧器燃料气体,氧气或空气和废气被供给的装置,以及用于供应和氧化和/或吸附剂的在洗涤室内的燃烧室的上方除去。 本发明提供用于清洁排气的设备将被提供,其制造成本低,并且其中避免了现有技术的缺点。 本发明的特征在于,所述燃烧器(12)设置在所述盖的中央固定(5),即燃烧器燃料气体喷嘴(13)和至少一个排气口(14)(12),所述竖直向下(在燃烧室6 )被寻址,而)期间沿着在洗涤腔室(7外管(1)的内部的燃烧过程所形成的反应产物通过。

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