公开(公告)号：WO2016169694A1

公开(公告)日：2016-10-27

申请号：PCT/EP2016/054975

申请日：2016-03-09

Applicant: INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING GMBH

Inventor： WEISKE, Ingo ,  EVERS, Arndt ,  HARTGERS, Han ,  BIRKNER, Andreas ,  VAN LOON, Guido

IPC: H01L21/677

CPC classification number: B65G1/026 ,  G03F7/70 ,  H01L21/67709 ,  H01L21/67733

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Serviceeinrichtung für den Reinraum oder für Anlagen im Reinraum mit einem horizontal und vertikal verfahrbarem Anlagenteil. Dieser ist an Magnetschienen aufgehängt.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于清洁室服务设施或用于在洁净室与所述植物的水平和垂直方向可动部的安装。 此悬挂在磁轨上。

公开(公告)号：WO2022084271A1

公开(公告)日：2022-04-28

申请号：PCT/EP2021/078862

申请日：2021-10-19

Applicant: INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING GMBH

Inventor： BIRKNER, Andreas ,  LANGENBACH, Ralf

IPC: H01L21/67 ,  G01N21/88 ,  H01L21/68

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Abbilden eines Objektes in zumindest zwei Ansichten. Die Vorrichtung und das Verfahren können eingesetzt werden beispielsweise zum Anlernen oder Kontrollieren eines Roboters oder zur Kontrolle von Handlingsystemen oder allgemein bei Vorrichtungen, bei denen eine Abbildung eines Objektes für eine Analyse oder Überwachung erforderlich ist. Die Vorrichtung ermöglicht ein zeitgleiches Abbilden eines Objektes in zumindest zwei unterschiedlichen Ansichten, umfassend zumindest ein abbildendes optisches Element und zumindest ein reflektierendes Element, wobei das reflektierende Element zumindest teilweise im Objektraum des abbildenden optischen Elements angeordnet ist, wobei die optische Achse des abbildenden optischen Elements der ersten Ansicht des Objektes zugeordnet ist, und wobei das reflektierende Element im Betrieb eine zweite Ansicht des Objektes abbilden kann, welche sich von der ersten Ansicht unterscheidet.

公开(公告)号：WO2020187999A1

公开(公告)日：2020-09-24

申请号：PCT/EP2020/057496

申请日：2020-03-18

Applicant: INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING GMBH

Inventor： HARTGERS, Han ,  EVERS, Arndt ,  SCHADT, Simon

IPC: F16F15/03 ,  G03F7/20 ,  H01F7/02 ,  H01F7/06 ,  H02K11/01 ,  H02K41/02 ,  H02K33/18 ,  H01F7/08 ,  H02K5/04 ,  H02K41/035

Abstract: Aktives Schwingungsisolationssystem mit einem Magnetaktor. Der Magnetaktor umfasst einen Spulenträger mit zumindest einer Spule, welcher berührungslos in einen Magnetträger greift, so dass dieser in der Art eines Linearmotors ausgebildet ist. Der Magnetaktor ist mit einer magnetischen Abschirmung versehen, welche eine Öffnung aufweist, durch die der Spulenträger in den Magnetträger hineinragt.

公开(公告)号：WO2009097994A2

公开(公告)日：2009-08-13

申请号：PCT/EP2009/000563

申请日：2009-01-29

Applicant: INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING GMBH ,  HEILAND, Peter

Inventor： HEILAND, Peter

IPC: F16F15/02

CPC classification number: F16F15/02

Abstract: Die Erfindung betrifft ein aktives Schwingungsisolationssystem, bei welchem die Schwingungskompensation ausschließlich über einen kapazitiv arbeitenden Geophonsensor erfolgt und eine aktive Regelung in einem Frequenzbereich zwischen 1 mHz und 200 Hz stattfindet.

Abstract translation: 本发明涉及其中通过电容式工作的地震检波器传感器专门执行振动补偿并且在1 MHz和200赫兹之间的频率范围内的主动控制的主动振动隔离系统。

公开(公告)号：WO2007045286A1

公开(公告)日：2007-04-26

申请号：PCT/EP2006/005061

申请日：2006-05-26

Applicant: INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING GMBH ,  MAAS, Hans-Jürgen ,  HEILAND, Peter

Inventor： MAAS, Hans-Jürgen ,  HEILAND, Peter

IPC: G05B19/402

CPC classification number: G05B19/402 ,  G05B2219/37423

Abstract: Eine Vorrichtung zur Überwachung der Relativposition und/oder zur Vermessung und Auswertung von Relativpositionen bei einem System, das mindestens zwei Subsystemen enthält, wird bereitgestellt . Die Vorrichtung weist mehrere Einrichtungen (20, 30) auf, von denen zumindest eine Einrichtung (20) eine Schwingungsisolationseinrichtung (2, 3) aufweist. Weiterhin ist zumindest eine Einrichtung (9) zum Bestimmen der Relativposition der Einrichtungen (20, 30) und eine Auswerteeinrichtung (40) zum Prüfen, ob die gemessene Relativposition der Einrichtungen (20, 30) innerhalb eines Toleranzintervalls liegt, vorgesehen.

Abstract translation: 本发明提供一种用于监测的相对位置和/或用于测量和在含有至少两个子系统的系统的相对位置的分析装置。 该设备包括多个装置（20，30），其中至少一个装置（20）具有一个防振装置（2，3）。 此外，至少一个装置（9），用于确定用于测试是否提供了一种公差区间内的设备（20，30）的测量的相对位置的装置（20，30）和分析装置（40）的相对位置。

公开(公告)号：WO2016198174A1

公开(公告)日：2016-12-15

申请号：PCT/EP2016/054978

申请日：2016-03-09

Applicant: INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING GMBH

Inventor： BIRKNER, Andreas ,  VAN LOON, Guido ,  EVERS, Arndt

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/6719

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Servicemodul, über welches ein Anlagenmodul, welches insbesondere der Prozessierung von Wafern dient, aus einer Anlage herausfahrbar ist.

Abstract translation: 本发明涉及通过该服务模块，从植物中移出的系统模块，其特别用于晶片加工。

公开(公告)号：WO2016180565A1

公开(公告)日：2016-11-17

申请号：PCT/EP2016/056366

申请日：2016-03-23

Applicant: INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING GMBH

Inventor： BIRKNER, Andreas

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/68707 ,  H01L21/68 ,  H01L21/681

Abstract: Die Erfindung betrifft einen Endeffector mit integriertem Prealigner, welcher vorzugsweise eine verschiebbare Zunge mit einem Drehteller umfasst.

Abstract translation: 本发明涉及一种具有集成的预对准器，其优选地包括可动舌与转台末端执行器。