公开(公告)号：WO9964780A9

公开(公告)日：2004-06-24

申请号：PCT/US9912648

申请日：1999-06-04

Applicant: ADVANCED DELIVERY & CHEMICAL S ,  GREGG JOHN N ,  NOAH CRAIG M ,  JACKSON ROBERT M

Inventor： GREGG JOHN N ,  NOAH CRAIG M ,  JACKSON ROBERT M

IPC: B01J4/00 ,  B67D7/02 ,  B67D7/84 ,  C23C16/44 ,  C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  F17C7/00 ,  F17C7/02 ,  F17C9/00 ,  F17C13/02 ,  F17C13/04 ,  F17C13/08 ,  F24H3/00 ,  H01L21/285 ,  H01L21/31 ,  F17C13/00

CPC classification number: B67D7/0272 ,  B01J4/00 ,  B67D7/0277 ,  B67D7/84 ,  B67D7/845 ,  C23C16/4402 ,  C23C16/448 ,  F17C7/00 ,  F17C7/02 ,  F17C9/00 ,  F17C13/02 ,  F17C13/04 ,  F17C13/087 ,  F17C2205/0323 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/0391 ,  F17C2227/044 ,  F17C2270/0518

Abstract: A chemical delivery system (500) which utilizes a purge technique which may utilize a variety of combinations of a medium level vacuum source, a hard vacuum source, and/or a liquid flush system (506). Also a chemical delivery system is disclosed that may be provided with a heater system for heating the chemical delivery system.

Abstract translation: 使用可利用中等水平真空源，硬真空源和/或液体冲洗系统（506）的各种组合的吹扫技术的化学物质输送系统（500）。 还公开了一种化学输送系统，其可以设置有用于加热化学物质输送系统的加热器系统。

公开(公告)号：WO9902251A3

公开(公告)日：1999-08-26

申请号：PCT/US9814373

申请日：1998-07-10

Applicant: ADVANCED DELIVERY & CHEMICAL S ,  NOAH CRAIG M ,  GREGG JOHN N ,  JACKSON ROBERT M ,  ESSER CRAIG

Inventor： NOAH CRAIG M ,  GREGG JOHN N ,  JACKSON ROBERT M ,  ESSER CRAIG

IPC: B01J4/00 ,  B67D7/02 ,  B67D7/84 ,  C23C16/44 ,  C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  F17C7/00 ,  F17C7/02 ,  F17C9/00 ,  F17C13/02 ,  F17C13/04 ,  H01L21/31 ,  B67D5/02

CPC classification number: F17C13/04 ,  B01J4/00 ,  B67D7/0272 ,  B67D7/0277 ,  B67D7/84 ,  B67D7/845 ,  C23C16/4402 ,  C23C16/448 ,  F17C7/00 ,  F17C7/02 ,  F17C9/00 ,  F17C13/02 ,  F17C2201/056 ,  F17C2205/0111 ,  F17C2205/0126 ,  F17C2205/0323 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/0391 ,  F17C2221/011 ,  F17C2221/014 ,  F17C2221/016 ,  F17C2221/017 ,  F17C2223/0123 ,  F17C2227/044 ,  F17C2270/0518 ,  G05D7/0605 ,  H01J37/3244

Abstract: A bulk chemical delivery system, comprising: a bulk chemical canister that is connected to at least one manifold box, wherein each manifold box has at least two output lines, wherein each output line connects to a secondary canister. In non-limiting representative example, the bulk chemical canister may have a capacity of 200 liters. Also disclosed are novel manifolds for use in delivering chemicals from canisters and a transportation/containment cart.

Abstract translation: 一种批量化学品输送系统，包括：大容量化学罐，其连接到至少一个歧管箱，其中每个歧管箱具有至少两条输出线，其中每条输出线连接到次级罐。 在非限制性的代表性示例中，本体化学罐可以具有200升的容量。 还公开了用于从罐输送化学品和运输/收容车的新型歧管。

公开(公告)号：WO1999064780A1

公开(公告)日：1999-12-16

申请号：PCT/US1999/012648

申请日：1999-06-04

Applicant: ADVANCED DELIVERY & CHEMICAL SYSTEMS, LTD. ,  GREGG, John, N. ,  NOAH, Craig, M. ,  JACKSON, Robert, M.

Inventor： GREGG, John, N. ,  NOAH, Craig, M. ,  JACKSON, Robert, M.

IPC: F17C13/00

CPC classification number: B67D7/0272 ,  B01J4/00 ,  B67D7/0277 ,  B67D7/84 ,  B67D7/845 ,  C23C16/4402 ,  C23C16/448 ,  F17C7/00 ,  F17C7/02 ,  F17C9/00 ,  F17C13/02 ,  F17C13/04 ,  F17C13/087 ,  F17C2205/0323 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/0391 ,  F17C2227/044 ,  F17C2270/0518

Abstract: A chemical delivery system (500) which utilizes a purge technique which may utilize a variety of combinations of a medium level vacuum source, a hard vacuum source, and/or a liquid flush system (506). Also a chemical delivery system is disclosed that may be provided with a heater system for heating the chemical delivery system.

Abstract translation: 使用可利用中等水平真空源，硬真空源和/或液体冲洗系统（506）的各种组合的吹扫技术的化学物质输送系统（500）。 还公开了一种化学输送系统，其可以设置有用于加热化学物质输送系统的加热器系统。

公开(公告)号：WO0000767A9

公开(公告)日：2000-07-20

申请号：PCT/US9914845

申请日：1999-06-30

Applicant: ADCS LTD ,  NOAH CRAIG M ,  GREGG JOHN N

Inventor： NOAH CRAIG M ,  GREGG JOHN N

IPC: B01J4/00 ,  B67D7/02 ,  B67D7/84 ,  C23C16/448 ,  F17C7/00 ,  F17C13/04

CPC classification number: B67D7/0272 ,  B01J4/00 ,  B67D7/0277 ,  B67D7/84 ,  C23C16/448 ,  F17C7/00 ,  F17C13/04 ,  F17C2205/0146 ,  F17C2205/0323 ,  F17C2205/0335 ,  F17C2221/014 ,  F17C2221/016 ,  F17C2221/017 ,  F17C2221/05 ,  F17C2227/0114 ,  F17C2227/044 ,  F17C2227/045 ,  F17C2250/032 ,  F17C2250/0636 ,  F17C2270/0518

Abstract: This invention concerns a system for delivering multiple different chemicals to a process tool, comprising: a first supply canister connected to a first supply manifold that connects to a process line; a second supply canister connected to a second supply manifold that connects to the process line.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于将多种不同化学物质输送到处理工具的系统，包括：连接到第一供应歧管的第一供应罐，其连接到处理线; 连接到连接到生产线的第二供应歧管的第二供应罐。