公开(公告)号：WO0000767A9

公开(公告)日：2000-07-20

申请号：PCT/US9914845

申请日：1999-06-30

Applicant: ADCS LTD ,  NOAH CRAIG M ,  GREGG JOHN N

Inventor： NOAH CRAIG M ,  GREGG JOHN N

IPC: B01J4/00 ,  B67D7/02 ,  B67D7/84 ,  C23C16/448 ,  F17C7/00 ,  F17C13/04

CPC classification number: B67D7/0272 ,  B01J4/00 ,  B67D7/0277 ,  B67D7/84 ,  C23C16/448 ,  F17C7/00 ,  F17C13/04 ,  F17C2205/0146 ,  F17C2205/0323 ,  F17C2205/0335 ,  F17C2221/014 ,  F17C2221/016 ,  F17C2221/017 ,  F17C2221/05 ,  F17C2227/0114 ,  F17C2227/044 ,  F17C2227/045 ,  F17C2250/032 ,  F17C2250/0636 ,  F17C2270/0518

Abstract: This invention concerns a system for delivering multiple different chemicals to a process tool, comprising: a first supply canister connected to a first supply manifold that connects to a process line; a second supply canister connected to a second supply manifold that connects to the process line.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于将多种不同化学物质输送到处理工具的系统，包括：连接到第一供应歧管的第一供应罐，其连接到处理线; 连接到连接到生产线的第二供应歧管的第二供应罐。

公开(公告)号：WO2010123531A1

公开(公告)日：2010-10-28

申请号：PCT/US2009/069054

申请日：2009-12-21

Applicant: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. ,  XU, Chongying ,  CAMERON, Thomas, M. ,  HENDRIX, Bryan, C. ,  GREGG, John, N.

Inventor： XU, Chongying ,  CAMERON, Thomas, M. ,  HENDRIX, Bryan, C. ,  GREGG, John, N.

IPC: C07F7/00 ,  C01G25/02 ,  H01B3/10 ,  H01G9/07 ,  H01L21/8242

CPC classification number: H01B3/10 ,  C07C211/65 ,  C23C16/405 ,  C23C16/45553

Abstract: Zirconium precursors of the formulae (I) and (II). Such precursors are liquids at room temperature, and can be employed in vapor deposition processes such as ALD to form zirconium-containing films, e.g., high k dielectric films on microelectronic device substrates. The zirconium precursors can be stabilized in such vapor deposition processes by thermal stabilization amine additives.

Abstract translation: 式（I）和（II）的锆前体。 这样的前体在室温下是液体，并且可以用于气相沉积工艺如ALD中以形成含锆膜，例如在微电子器件基底上的高k电介质膜。 锆前体可以通过热稳定胺添加剂在这种气相沉积工艺中稳定。

公开(公告)号：WO2005002979A3

公开(公告)日：2005-09-15

申请号：PCT/US2004019900

申请日：2004-06-22

Applicant: ADVANCED TECH MATERIALS ,  GREGG JOHN N ,  NAITO DONN

Inventor： GREGG JOHN N ,  NAITO DONN

IPC: B65B1/04 ,  B65B3/04 ,  B65D20060101 ,  C23C16/44 ,  F17C13/00

CPC classification number: C23C16/4402 ,  C23C16/45561

Abstract: A canister guard for preventing liquid contamination of an oulet to a canister containing liquid. The canister guard may include baffles extending from a sidewall. Additionally, the canister guard may be configured to be replacable or for retrofitting to conventional liquid chemical containing canisters.

Abstract translation: 用于防止液体污染含有液体的罐的罐头的罐防护件。 罐护罩可以包括从侧壁延伸的挡板。 此外，罐防护件可以被配置为可更换或用于改装到常规的含液体化学容器的罐。

公开(公告)号：WO2005002979A2

公开(公告)日：2005-01-13

申请号：PCT/US2004/019900

申请日：2004-06-22

Applicant: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. ,  GREGG, John, N. ,  NAITO, Donn

Inventor： GREGG, John, N. ,  NAITO, Donn

IPC: B65D

CPC classification number: C23C16/4402 ,  C23C16/45561

Abstract: A canister guard for preventing liquid contamination of an oulet to a canister containing liquid. The canister guard may include baffles extending from a sidewall. Additionally, the canister guard may be configured to be replacable or for retrofitting to conventional liquid chemical containing canisters.

Abstract translation: 用于防止液体污染液体到罐的液体污染的罐头防护装置。 罐防护装置可以包括从侧壁延伸的挡板。 另外，罐头保护罩可以被构造成可替换或用于改装传统的含有液体化学物质的罐。

公开(公告)号：WO9964780A9

公开(公告)日：2004-06-24

申请号：PCT/US9912648

申请日：1999-06-04

Applicant: ADVANCED DELIVERY & CHEMICAL S ,  GREGG JOHN N ,  NOAH CRAIG M ,  JACKSON ROBERT M

Inventor： GREGG JOHN N ,  NOAH CRAIG M ,  JACKSON ROBERT M

IPC: B01J4/00 ,  B67D7/02 ,  B67D7/84 ,  C23C16/44 ,  C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  F17C7/00 ,  F17C7/02 ,  F17C9/00 ,  F17C13/02 ,  F17C13/04 ,  F17C13/08 ,  F24H3/00 ,  H01L21/285 ,  H01L21/31 ,  F17C13/00

CPC classification number: B67D7/0272 ,  B01J4/00 ,  B67D7/0277 ,  B67D7/84 ,  B67D7/845 ,  C23C16/4402 ,  C23C16/448 ,  F17C7/00 ,  F17C7/02 ,  F17C9/00 ,  F17C13/02 ,  F17C13/04 ,  F17C13/087 ,  F17C2205/0323 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/0391 ,  F17C2227/044 ,  F17C2270/0518

Abstract: A chemical delivery system (500) which utilizes a purge technique which may utilize a variety of combinations of a medium level vacuum source, a hard vacuum source, and/or a liquid flush system (506). Also a chemical delivery system is disclosed that may be provided with a heater system for heating the chemical delivery system.

Abstract translation: 使用可利用中等水平真空源，硬真空源和/或液体冲洗系统（506）的各种组合的吹扫技术的化学物质输送系统（500）。 还公开了一种化学输送系统，其可以设置有用于加热化学物质输送系统的加热器系统。

公开(公告)号：WO9902251A3

公开(公告)日：1999-08-26

申请号：PCT/US9814373

申请日：1998-07-10

Applicant: ADVANCED DELIVERY & CHEMICAL S ,  NOAH CRAIG M ,  GREGG JOHN N ,  JACKSON ROBERT M ,  ESSER CRAIG

Inventor： NOAH CRAIG M ,  GREGG JOHN N ,  JACKSON ROBERT M ,  ESSER CRAIG

IPC: B01J4/00 ,  B67D7/02 ,  B67D7/84 ,  C23C16/44 ,  C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  F17C7/00 ,  F17C7/02 ,  F17C9/00 ,  F17C13/02 ,  F17C13/04 ,  H01L21/31 ,  B67D5/02

CPC classification number: F17C13/04 ,  B01J4/00 ,  B67D7/0272 ,  B67D7/0277 ,  B67D7/84 ,  B67D7/845 ,  C23C16/4402 ,  C23C16/448 ,  F17C7/00 ,  F17C7/02 ,  F17C9/00 ,  F17C13/02 ,  F17C2201/056 ,  F17C2205/0111 ,  F17C2205/0126 ,  F17C2205/0323 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/0391 ,  F17C2221/011 ,  F17C2221/014 ,  F17C2221/016 ,  F17C2221/017 ,  F17C2223/0123 ,  F17C2227/044 ,  F17C2270/0518 ,  G05D7/0605 ,  H01J37/3244

Abstract: A bulk chemical delivery system, comprising: a bulk chemical canister that is connected to at least one manifold box, wherein each manifold box has at least two output lines, wherein each output line connects to a secondary canister. In non-limiting representative example, the bulk chemical canister may have a capacity of 200 liters. Also disclosed are novel manifolds for use in delivering chemicals from canisters and a transportation/containment cart.

Abstract translation: 一种批量化学品输送系统，包括：大容量化学罐，其连接到至少一个歧管箱，其中每个歧管箱具有至少两条输出线，其中每条输出线连接到次级罐。 在非限制性的代表性示例中，本体化学罐可以具有200升的容量。 还公开了用于从罐输送化学品和运输/收容车的新型歧管。

公开(公告)号：WO1999064780A1

公开(公告)日：1999-12-16

申请号：PCT/US1999/012648

申请日：1999-06-04

Applicant: ADVANCED DELIVERY & CHEMICAL SYSTEMS, LTD. ,  GREGG, John, N. ,  NOAH, Craig, M. ,  JACKSON, Robert, M.

Inventor： GREGG, John, N. ,  NOAH, Craig, M. ,  JACKSON, Robert, M.

IPC: F17C13/00

CPC classification number: B67D7/0272 ,  B01J4/00 ,  B67D7/0277 ,  B67D7/84 ,  B67D7/845 ,  C23C16/4402 ,  C23C16/448 ,  F17C7/00 ,  F17C7/02 ,  F17C9/00 ,  F17C13/02 ,  F17C13/04 ,  F17C13/087 ,  F17C2205/0323 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/0391 ,  F17C2227/044 ,  F17C2270/0518

Abstract: A chemical delivery system (500) which utilizes a purge technique which may utilize a variety of combinations of a medium level vacuum source, a hard vacuum source, and/or a liquid flush system (506). Also a chemical delivery system is disclosed that may be provided with a heater system for heating the chemical delivery system.

Abstract translation: 使用可利用中等水平真空源，硬真空源和/或液体冲洗系统（506）的各种组合的吹扫技术的化学物质输送系统（500）。 还公开了一种化学输送系统，其可以设置有用于加热化学物质输送系统的加热器系统。