公开(公告)号：WO2016075399A3

公开(公告)日：2016-09-01

申请号：PCT/FR2015053020

申请日：2015-11-06

Applicant: GAZTRANSPORT ET TECHNIGAZ

Inventor： DELETRE BRUNO

IPC: F17C5/06 ,  B01D1/16 ,  F17C6/00 ,  F17C9/02 ,  F17C9/04

CPC classification number: F17C5/06 ,  B01D1/0082 ,  B01D1/16 ,  F17C6/00 ,  F17C9/02 ,  F17C9/04 ,  F17C2201/0104 ,  F17C2201/0128 ,  F17C2201/0152 ,  F17C2201/0157 ,  F17C2201/052 ,  F17C2201/054 ,  F17C2203/0358 ,  F17C2203/0631 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/0341 ,  F17C2205/0355 ,  F17C2221/032 ,  F17C2221/033 ,  F17C2221/035 ,  F17C2223/0161 ,  F17C2223/0169 ,  F17C2223/033 ,  F17C2223/041 ,  F17C2223/046 ,  F17C2223/047 ,  F17C2225/0123 ,  F17C2225/033 ,  F17C2225/038 ,  F17C2227/0114 ,  F17C2227/0135 ,  F17C2227/0178 ,  F17C2227/0306 ,  F17C2227/0339 ,  F17C2227/036 ,  F17C2227/0372 ,  F17C2227/0374 ,  F17C2227/0379 ,  F17C2227/0393 ,  F17C2227/0397 ,  F17C2250/01 ,  F17C2250/03 ,  F17C2250/043 ,  F17C2250/0443 ,  F17C2250/0626 ,  F17C2250/0636 ,  F17C2260/031 ,  F17C2265/066 ,  F17C2265/07 ,  F17C2270/0105 ,  F17C2270/0107 ,  F17C2270/0136

Abstract: The invention relates to a vaporisation device (4) for the cooling of a liquefied gas, said vaporisation device (1) comprising: a vaporisation chamber (14) disposed inside the inner space of a container (2, 19) that is intended to be filled with liquefied gas (3), the vaporisation chamber (14) comprising heat exchange walls (6) allowing the exchange of heat between an inner space inside the vaporisation chamber (14) and a liquefied gas (3) present in the inner space of the container (2, 19); an inlet circuit (5) comprising an intake that opens into the inner space of the container (2, 19) in order to remove a flow of liquefied gas in liquid phase from the container (2, 19) and a head loss member (13) that opens into the inner space of the vaporisation chamber (14) in order to expand the removed gas flow; and an outlet circuit (7) arranged to discharge the removed gas flow in gaseous phase from the vaporisation chamber (14) into a vapour-phase gas usage circuit (8), said outlet circuit (7) comprising a vacuum pump (9) that draws the gas flow into the vaporisation chamber (14), drives same towards the vapour-phase gas usage circuit (8) and maintains an absolute pressure below atmospheric pressure inside the vaporisation chamber (14).

Abstract translation: 本发明涉及一种用于冷却液化气体的蒸发装置（4），所述蒸发装置（1）包括：蒸发室（14），其设置在容器（2,19）的内部空间内， 充满液化气体（3），蒸发室（14）包括热交换壁（6），允许在蒸发室（14）内部的内部空间与存在于内部空间中的液化气体（3）之间的热交换 容器（2,19）; 入口回路（5），其包括通向所述容器（2,19）的内部空间的入口，以从所述容器（2,19）和头部损失构件（13）中去除液相的液化气体流 ），其通向蒸发室（14）的内部空间，以便膨胀除去的气体流; 和排出电路（7），其排出气态气体从气化室（14）排入气相气体使用回路（8），所述出口回路（7）包括真空泵（9），所述真空泵 将气体流动进入蒸发室（14），将其驱动到气相气体使用回路（8），并保持蒸发室（14）内的绝对压力低于大气压。

公开(公告)号：WO2013083156A1

公开(公告)日：2013-06-13

申请号：PCT/EP2011/071792

申请日：2011-12-05

Applicant: BLUE WAVE CO S.A. ,  NETTIS, Francesco ,  BERGAMIN, Guiseppe ,  D'AMELJ, Daniele ,  MOTTA, Luca ,  NISO, Gianfranco ,  REDONDI, Paolo ,  ROSSI, Riccardo ,  TOMASELLI, Vanni Neri

Inventor： NETTIS, Francesco ,  BERGAMIN, Guiseppe ,  D'AMELJ, Daniele ,  MOTTA, Luca ,  NISO, Gianfranco ,  REDONDI, Paolo ,  ROSSI, Riccardo ,  TOMASELLI, Vanni Neri

IPC: F17C7/02 ,  F17C9/00

CPC classification number: F17C7/00 ,  F17C11/007 ,  F17C2201/0109 ,  F17C2201/032 ,  F17C2201/054 ,  F17C2205/0107 ,  F17C2205/0111 ,  F17C2205/0142 ,  F17C2205/0379 ,  F17C2221/012 ,  F17C2221/013 ,  F17C2221/033 ,  F17C2221/037 ,  F17C2223/0123 ,  F17C2223/035 ,  F17C2223/036 ,  F17C2227/0114 ,  F17C2227/0304 ,  F17C2227/0362 ,  F17C2227/044 ,  F17C2260/035 ,  F17C2265/017 ,  F17C2270/0105 ,  Y02E60/321

Abstract: A vessel emptying system for emptying CNGs from a vessel used to transport CNG, the vessel being one of a plurality of cylindrical containers that are arranged vertically, with substantially parallel axes, wherein said system is arranged to expand the CNG through a turboexpander-compressor device (40, 50), the turboexpander-compressor device (40, 50) being adapted to use kinetic energy from the resulting rotation or movement of that turboexpander-compressor device (40, 50) in a secondary gas processing step of the system. publication

Abstract translation: 一种用于从用于运输CNG的容器中排空CNG的容器排空系统，所述容器是垂直布置并具有基本上平行轴线的多个圆柱形容器之一，其中所述系统布置成通过涡轮膨胀机 - 压缩机装置 （40,50），所述涡轮膨胀机压缩机装置（40,50）适于在所述系统的二次气体处理步骤中使用来自所述涡轮膨胀机 - 压缩机装置（40,50）的所得旋转或运动的动能。 出版物

公开(公告)号：WO2004012996A1

公开(公告)日：2004-02-12

申请号：PCT/US2003/010599

申请日：2003-04-07

Applicant: ARCH SPECIALTY CHEMICALS, INC.

Inventor： BLATT, Christopher, S. ,  PEARCE, Richard, H. ,  GRAHAM, Williams ,  WENTWORTH, Edward, H., III

IPC: B65B1/04

CPC classification number: F17C5/005 ,  F17C5/00 ,  F17C13/025 ,  F17C13/026 ,  F17C13/028 ,  F17C13/045 ,  F17C2205/0146 ,  F17C2205/0326 ,  F17C2205/0335 ,  F17C2205/0364 ,  F17C2221/014 ,  F17C2221/05 ,  F17C2223/0123 ,  F17C2223/013 ,  F17C2225/0123 ,  F17C2227/0114 ,  F17C2227/04 ,  F17C2227/044 ,  F17C2227/045 ,  F17C2250/032 ,  F17C2250/0413 ,  F17C2250/0421 ,  F17C2250/0426 ,  F17C2250/043 ,  F17C2250/0439 ,  F17C2250/0473 ,  F17C2250/0636 ,  F17C2250/072 ,  F17C2270/0518 ,  G01F1/667 ,  G01F15/18 ,  G01F23/2921 ,  G01F23/2927 ,  Y10T137/3127

Abstract: A highly reliable and safe, modular automatic refill (bulk delivery) system for ultra-high purity pyrophoric metalorganic chemicals employing: a manifold that insures contamination-free operation; a liquid-level detection system (31) with fail-safe redundancy; and an evacuation system (V51) which leaves the system's manifold and transfer lines relatively free of chemical fire hazards; leaves them free of oxygen contamination; and leaves the composition of the system's carrier gas unaffected, between refills.

Abstract translation: 高度可靠和安全的模块化自动补充（批量传输）系统，用于超高纯度自燃金属有机化学品，采用以下几种方式：确保无污染的操作; 具有故障安全冗余的液位检测系统（31）; 和撤离系统（V51），使系统的歧管和输送管线相对没有化学火灾危险; 使他们没有氧气污染; 并且在补充之间留下系统载气的组成不受影响。

公开(公告)号：WO0212780B1

公开(公告)日：2002-04-04

申请号：PCT/US0123993

申请日：2001-07-31

Applicant: ARCH SPEC CHEM INC

Inventor： BLATT CHRISTOPHER S ,  PEARCE RICHARD H ,  WILLIAMS GRAHAM ,  WENTWORTH EDWARD H III

IPC: B01J4/00 ,  F17C5/00 ,  F17C13/02 ,  F17C13/04 ,  G01F1/66 ,  G01F15/18 ,  G01F23/292 ,  H01L21/205 ,  F17C13/00

CPC classification number: F17C5/00 ,  F17C5/005 ,  F17C13/025 ,  F17C13/026 ,  F17C13/028 ,  F17C13/045 ,  F17C2205/0146 ,  F17C2205/0326 ,  F17C2205/0335 ,  F17C2205/0364 ,  F17C2221/014 ,  F17C2221/05 ,  F17C2223/0123 ,  F17C2223/013 ,  F17C2225/0123 ,  F17C2227/0114 ,  F17C2227/04 ,  F17C2227/044 ,  F17C2227/045 ,  F17C2250/032 ,  F17C2250/0413 ,  F17C2250/0421 ,  F17C2250/0426 ,  F17C2250/043 ,  F17C2250/0439 ,  F17C2250/0473 ,  F17C2250/0636 ,  F17C2250/072 ,  F17C2270/0518 ,  G01F1/667 ,  G01F15/18 ,  G01F23/2921 ,  G01F23/2927 ,  Y10T137/3127

Abstract: A highly reliable and safe, modular automatic refill (bulk delivery) system for ultra-high purity pyrophoric metalorganic chemicals employing: a manifold that insures contamination-free operation; a liquid-level detection system (54, 56) with fail-safe redundancy; and an evacuation system (78) which leaves the system's manifold and transfer lines relatively free of chemical fire hazards; leaves them free of oxygen contamination; and leaves the composition of the system's carrier gas unaffected, between refills.

Abstract translation: 用于超高纯度自燃金属有机化学品的高度可靠和安全的模块化自动填充（散装输送）系统采用：保证无污染运行的歧管; 具有故障安全冗余的液位检测系统（54,56） 以及离开系统的歧管和输送管线相对没有化学火灾危险的撤离系统（78）; 使它们免受氧气污染; 并且在再填充之间使系统载气的组成不受影响。

公开(公告)号：WO9011822A3

公开(公告)日：1990-11-15

申请号：PCT/US9001011

申请日：1990-03-05

Applicant: UNIT INSTR INC

Inventor： VAVRA RANDALL JAMES

IPC: B01F3/02 ,  B01F5/04 ,  B01F15/02 ,  B01J4/00 ,  B08B9/02 ,  F17C9/02 ,  B01F5/02 ,  F16K11/24

CPC classification number: B08B9/0321 ,  B01F3/022 ,  B01F5/0413 ,  B01F5/0428 ,  B01F5/043 ,  B01F15/0201 ,  B01J4/008 ,  F17C9/02 ,  F17C2205/0385 ,  F17C2223/0153 ,  F17C2225/0123 ,  F17C2227/0114 ,  F17C2227/0393 ,  F17C2250/0636 ,  F17C2270/0518 ,  Y10T137/87595 ,  Y10T137/87627 ,  Y10T137/87643

Abstract: Gas flow control apparatus for controlling the flow of a process gas through a conduit system to a process site, for halting the flow of gas when the process is completed, and for then developing a partial vacuum in the conduit system sufficiently high to reduce the concentration of process gas and maintain it in a gaseous state. The partial vacuum is developed by carrier gas flowing through a venturi in communication with the conduit system supplying the process gas. The carrier gas also expels any remnants of the process gas from all points between the venturi and the process site. Further, the system can be used for vaporizing gases from liquids for use in an atmospheric process at the process site, the carrier gas flowing through the venturi and vaporizing a liquid in a chamber upstream of the venturi. The vaporized gases can then be regulated by a mass flow controller.

Abstract translation: 用于控制工艺气体通过导管系统流向工艺现场的气流控制装置，用于在工艺完成时停止气体流动，然后在导管系统中产生足够高的部分真空以降低浓度 的过程气体并将其保持在气态。 部分真空通过流经与供应工艺气体的管道系统连通的文丘里管的载气产生。 载气也从文氏管和加工现场之间的所有点排出任何剩余的过程气体。 此外，该系统可用于蒸发来自液体的气体，用于在加工现场的大气过程中使用，载气流过文丘里管并蒸发文氏管上游的腔室中的液体。 蒸发的气体可以通过质量流量控制器进行调节。

公开(公告)号：WO2016075399A2

公开(公告)日：2016-05-19

申请号：PCT/FR2015/053020

申请日：2015-11-06

Applicant: GAZTRANSPORT ET TECHNIGAZ

Inventor： DELETRE, Bruno

IPC: F17C5/06 ,  F17C6/00 ,  F17C9/02 ,  F17C9/04

CPC classification number: F17C5/06 ,  B01D1/0082 ,  B01D1/16 ,  F17C6/00 ,  F17C9/02 ,  F17C9/04 ,  F17C2201/0104 ,  F17C2201/0128 ,  F17C2201/0152 ,  F17C2201/0157 ,  F17C2201/052 ,  F17C2201/054 ,  F17C2203/0358 ,  F17C2203/0631 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/0341 ,  F17C2205/0355 ,  F17C2221/032 ,  F17C2221/033 ,  F17C2221/035 ,  F17C2223/0161 ,  F17C2223/0169 ,  F17C2223/033 ,  F17C2223/041 ,  F17C2223/046 ,  F17C2223/047 ,  F17C2225/0123 ,  F17C2225/033 ,  F17C2225/038 ,  F17C2227/0114 ,  F17C2227/0135 ,  F17C2227/0178 ,  F17C2227/0306 ,  F17C2227/0339 ,  F17C2227/036 ,  F17C2227/0372 ,  F17C2227/0374 ,  F17C2227/0379 ,  F17C2227/0393 ,  F17C2227/0397 ,  F17C2250/01 ,  F17C2250/03 ,  F17C2250/043 ,  F17C2250/0443 ,  F17C2250/0626 ,  F17C2250/0636 ,  F17C2260/031 ,  F17C2265/066 ,  F17C2265/07 ,  F17C2270/0105 ,  F17C2270/0107 ,  F17C2270/0136

Abstract: L'invention concerne un dispositif de vaporisation (4) pour le refroidissement d'un gaz liquéfié; ledit dispositif de vaporisation (1 ) comportant : - une enceinte de vaporisation (14) agencée dans l'espace intérieur d'un récipient (2, 19) destiné à être rempli de gaz liquéfié (3), l'enceinte de vaporisation (14) comportant des parois d'échange de chaleur (6) permettant un échange de chaleur entre un espace intérieur de l'enceinte de vaporisation (14) et un gaz liquéfié (3) présent dans l'espace intérieur du récipient (2, 19); - un circuit d'entrée (5) comportant une admission débouchant dans l'espace intérieur du récipient (2, 19) pour prélever un flux de gaz liquéfié en phase liquide dans le récipient (2, 19) et un organe de perte de charge (13) débouchant dans l'espace intérieur de l'enceinte de vaporisation (14) afin de détendre le flux de gaz prélevé; - un circuit de sortie (7) agencé pour évacuer le flux de gaz prélevé, en phase gazeuse depuis l'enceinte de vaporisation (14) vers un circuit d'utilisation de gaz en phase vapeur (8); ledit circuit de sortie (7) comportant une pompe à dépression (9) apte à aspirer le flux de gaz dans l'enceinte de vaporisation (14), à le refouler vers le circuit d'utilisation de gaz en phase vapeur (8) et à maintenir dans l'enceinte de vaporisation (14) une pression absolue inférieure à la pression atmosphérique.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于冷却液态气体的汽化装置（4） 所述汽化装置（1）包括： - 蒸发室（14），其布置在用于所述容器（2,19）的内部的容器（2,19）的内部空间中; ＆Agrave; 充满液化气 （3），所述汽化室（14）具有热交换壁（6），所述热交换壁允许所述汽化室（14）的内部空间和气体 液化éFi无线网络和eacute; （3）位于所述容器（2，19）的内部空间中; 具有入口的入口回路（5），所述入口插入所述容器（2,19）的内部空间以吸收液体气体流; 在容器（2，19）中的液相中以及塞入汽化室（14）的内部空间中的压降构件（13），以便减弱 天然气先行; 一个输出电路（7）; 用于将从蒸发室（14）上升的气流排出到气相气体利用回路（8）; 所述输出电路（7）具有泵和驱动器; 减压（9）适用于 吸入气体流入汽化室（14），> 将其重新压缩到气相气体利用回路（8）并且“ 在蒸发室（14）中保持绝对较低的压力; 大气压力。

公开(公告)号：WO2014086415A1

公开(公告)日：2014-06-12

申请号：PCT/EP2012/074558

申请日：2012-12-05

Applicant: BLUE WAVE CO S.A.

Inventor： NETTIS, Francesco ,  BERGAMIN, Giuseppe ,  CARINI, Giulio ,  MOTTA, Luca ,  MUSSARDO, Domenico ,  NISO, Gianfranco ,  REDONDI, Paolo ,  ROSSI, Riccardo ,  TOMASELLI, Vanni Neri

IPC: F17C7/00

CPC classification number: F17C7/00 ,  F17C2201/0104 ,  F17C2201/0128 ,  F17C2201/032 ,  F17C2201/052 ,  F17C2201/054 ,  F17C2203/0604 ,  F17C2203/0619 ,  F17C2203/0639 ,  F17C2203/066 ,  F17C2203/0663 ,  F17C2203/0665 ,  F17C2205/013 ,  F17C2205/0138 ,  F17C2205/0142 ,  F17C2205/0326 ,  F17C2205/0332 ,  F17C2205/0335 ,  F17C2205/0379 ,  F17C2221/012 ,  F17C2221/033 ,  F17C2223/0123 ,  F17C2223/036 ,  F17C2225/0123 ,  F17C2225/035 ,  F17C2225/036 ,  F17C2227/0114 ,  F17C2227/0128 ,  F17C2227/0306 ,  F17C2227/0327 ,  F17C2227/039 ,  F17C2227/04 ,  F17C2227/041 ,  F17C2227/043 ,  F17C2250/032 ,  F17C2250/043 ,  F17C2250/0439 ,  F17C2260/025 ,  F17C2265/068 ,  F17C2270/0105 ,  F17C2270/011 ,  F17C2270/0121 ,  F17C2270/0126 ,  F17C2270/0136 ,  Y02E60/321

Abstract: A system for offloading a compressed fluid from a series of pressure vessels, the system comprising a multilevel piping system and at least one ejector device, the ejector device being for recovering energy from a high pressure fluid stream from a substantially full pressure vessel, and for forced suction of residual fluid from a part offloaded pressure vessel, the multilevel piping system comprising, in use, at least three different pressure levels, including a high pressure line, a medium pressure line and a low pressure line, the high pressure line being intended to supply the said ejector device with the high pressure fluid stream, the medium pressure line being intended for both the forced suction of the residual fluid and mixing with the high pressure line, and the low pressure line being intended for each of mechanical suction of the residual gas not drawn off by the ejector, recompression thereof by means of at least one compression turbomachine, and assisting energy recovery by transferring heat via gas/gas exchangers.

Abstract translation: 一种用于从一系列压力容器卸载压缩流体的系统，所述系统包括多级管道系统和至少一个喷射器装置，所述喷射器装置用于从基本上全压力容器的高压流体流中回收能量，并且 所述多级管道系统在使用中包括至少三种不同的压力水平，包括高压管线，中压管线和低压管线，所述高压管线是预期的 为了向所述喷射器装置供应高压流体流，中压管路用于强制吸入残留流体并与高压管路混合，低压管线用于每个机械抽吸 残余气体不被喷射器吸出，通过至少一个压缩涡轮机进行再压缩，并辅助能量回收b y通过气体/气体交换器传递热量。

公开(公告)号：WO2013032340A1

公开(公告)日：2013-03-07

申请号：PCT/NO2012/000050

申请日：2012-08-28

Applicant: HAMWORTHY OIL & GAS SYSTEMS AS ,  RUMMELHOFF, Carl, Jørgen

Inventor： RUMMELHOFF, Carl, Jørgen

IPC: F25J1/00 ,  F02D19/02 ,  F02D19/06 ,  F02M21/02 ,  B63J2/14 ,  B63H21/14

CPC classification number: F02M21/0215 ,  B63H21/14 ,  B63J2099/003 ,  F02D19/022 ,  F02D19/0647 ,  F02M21/0227 ,  F02M21/0245 ,  F02M21/0287 ,  F17C9/02 ,  F17C2221/033 ,  F17C2223/0161 ,  F17C2223/033 ,  F17C2223/047 ,  F17C2225/0123 ,  F17C2225/035 ,  F17C2227/0114 ,  F17C2227/0135 ,  F17C2260/046 ,  F17C2265/034 ,  F17C2265/037 ,  F17C2265/05 ,  F17C2265/066 ,  F17C2270/0105 ,  Y02T10/32 ,  Y02T10/36 ,  Y02T70/5218 ,  Y02T70/5263

Abstract: A gas supply system for dual-fuel or gas engines, comprising at least one liquid natural gas (LNG) cargo tank (1), a first pump (2), a compressor (30), a cryogenic heat exchanger (16) and a high pressure pump (10) delivering gas to the engines. According to the present invention the system further comprises an ejector (4) and a suction drum (6); the ejector (4) is arranged to receive LNG motive fluid from the first pump, draw condensate from the cryogenic heat exchanger (16) and discharge a mixture of the motive fluid and condensate to the suction drum (6); and the suction drum (6) is arranged to supply the mixture of the LNG motive fluid and the condensate to the high pressure pump (10).

Abstract translation: 一种用于双燃料或燃气发动机的气体供应系统，包括至少一个液体天然气（LNG）货舱（1），第一泵（2），压缩机（30），低温热交换器（16）和 高压泵（10）将气体输送到发动机。 根据本发明，系统还包括喷射器（4）和吸入鼓（6）; 喷射器（4）被布置成从第一泵接收LNG运动流体，从低温热交换器（16）抽出冷凝物并将运动流体和冷凝物的混合物排出到吸入鼓（6）; 并且所述抽吸鼓（6）被布置成将所述LNG运动流体和所述冷凝物的混合物供应到所述高压泵（10）。

公开(公告)号：WO2005051510A2

公开(公告)日：2005-06-09

申请号：PCT/US2004039405

申请日：2004-11-23

Applicant: ADVANCED TECH MATERIALS ,  WODJENSKI MICHAEL J ,  DIETZ JAMES A

Inventor： WODJENSKI MICHAEL J ,  DIETZ JAMES A

IPC: B01D20060101 ,  F17C13/04 ,  G05D7/00 ,  B01D

CPC classification number: F17C13/04 ,  F17C2205/0142 ,  F17C2205/0146 ,  F17C2205/0326 ,  F17C2205/0329 ,  F17C2205/0335 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2223/033 ,  F17C2223/035 ,  F17C2223/036 ,  F17C2223/038 ,  F17C2227/0114 ,  F17C2227/044 ,  F17C2270/0518 ,  Y10T137/0396 ,  Y10T137/0419 ,  Y10T137/4259 ,  Y10T137/7043 ,  Y10T137/87877

Abstract: A gas cabinet including an enclosure containing at least one gas supply vessel and flow circuitry coupled to the gas supply vessel(s). The flow circuitry is constructed and arranged to flow dispensed gas from an on-stream gas supply vessel to multiple sticks of the flow circuitry, with each of the multiple sticks being joined in gas flow communication to a respective gas-utilizing process unit. The flow circuitry is valved to enable sections of the flow circuitry associated with respective ones of the multiple sticks to be isolated from other sections of the flow circuitry, so that process gas can be flowed to one or more of the sticks, while other sticks are being evacuated and purged, or otherwise are closed to dispensed gas flow therethrough.

Abstract translation: 一种包括外壳的气柜，所述外壳包含至少一个气体供应容器和联接到所述气体供应容器的流动回路。 流动回路被构造和布置成使分配的气体从在线气体供应容器流动到流动回路的多个支杆，其中多个支杆中的每一个以气流连通的方式连接到相应的气体利用处理单元。 流动回路被阀门控制以使得与多个杆中的相应杆相关联的流动回路的部分能够与流动回路的其他部分隔离，使得处理气体可以流到一个或多个杆，而其他杆是 被抽空并被吹扫，或者被关闭以分配通过其中的气流。

公开(公告)号：WO0000767A9

公开(公告)日：2000-07-20

申请号：PCT/US9914845

申请日：1999-06-30

Applicant: ADCS LTD ,  NOAH CRAIG M ,  GREGG JOHN N

Inventor： NOAH CRAIG M ,  GREGG JOHN N

IPC: B01J4/00 ,  B67D7/02 ,  B67D7/84 ,  C23C16/448 ,  F17C7/00 ,  F17C13/04

CPC classification number: B67D7/0272 ,  B01J4/00 ,  B67D7/0277 ,  B67D7/84 ,  C23C16/448 ,  F17C7/00 ,  F17C13/04 ,  F17C2205/0146 ,  F17C2205/0323 ,  F17C2205/0335 ,  F17C2221/014 ,  F17C2221/016 ,  F17C2221/017 ,  F17C2221/05 ,  F17C2227/0114 ,  F17C2227/044 ,  F17C2227/045 ,  F17C2250/032 ,  F17C2250/0636 ,  F17C2270/0518

Abstract: This invention concerns a system for delivering multiple different chemicals to a process tool, comprising: a first supply canister connected to a first supply manifold that connects to a process line; a second supply canister connected to a second supply manifold that connects to the process line.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于将多种不同化学物质输送到处理工具的系统，包括：连接到第一供应歧管的第一供应罐，其连接到处理线; 连接到连接到生产线的第二供应歧管的第二供应罐。