公开(公告)号：WO2009080231A1

公开(公告)日：2009-07-02

申请号：PCT/EP2008/010622

申请日：2008-12-13

Applicant: CARL ZEISS SMT AG ,  SCHUBERT, Erich ,  KOHL, Alexander ,  ZIEGLER, Gerhard-Wilhelm ,  PATRA, Michael ,  DEGÜNTHER, Markus ,  LAYH, Michael

Inventor： SCHUBERT, Erich ,  KOHL, Alexander ,  ZIEGLER, Gerhard-Wilhelm ,  PATRA, Michael ,  DEGÜNTHER, Markus ,  LAYH, Michael

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70083 ,  G03F7/70116 ,  G03F7/70191 ,  G03F7/70433

Abstract: An illumination system (28) of a micro-lithographic projection exposure apparatus (12) is provided, which is configured to illuminate a mask (16) positioned in a mask plane. The system comprises a pupil shaping optical subsystem (58, 64) and illuminator optics (32, 38) that illuminate a beam deflecting component (46). For determining a property of the beam deflecting component, an intensity distribution in a system pupil surface (70) of the illumination system is determined. Then the property of the beam deflecting component is determined such that the intensity distribution produced by the pupil shaping subsystem in the system pupil surface approximates the intensity distribution determined before. At least one of the following aberrations are taken into account in this determination: (i) an aberration produced by the illuminator optics (32, 38); (ii) an aberration produced by the pupil shaping optical subsystem (58, 64); (iii) an aberration produced by an optical element (78) arranged between the system pupil surface and the mask plane.

Abstract translation: 提供微光刻投影曝光装置（12）的照明系统（28），其被配置为照亮位于掩模平面中的掩模（16）。 该系统包括光束成形光学子系统（58,64）和照射光束偏转部件（46）的照明器光学器件（32,38）。 为了确定光束偏转分量的特性，确定照明系统的系统光瞳表面（70）中的强度分布。 然后确定光束偏转分量的特性，使得瞳孔成形子系统在系统光瞳表面中产生的强度分布近似于之前确定的强度分布。 在该确定中考虑以下像差中的至少一个：（i）由照明器光学器件（32,38）产生的像差; （ii）由光瞳成形光学子系统（58,64）产生的像差; （iii）由布置在系统光瞳表面和掩模平面之间的光学元件（78）产生的像差。

公开(公告)号：WO2005028659A3

公开(公告)日：2005-06-23

申请号：PCT/EP2004052308

申请日：2004-09-16

Applicant: BASF AG ,  BECK CHRISTINE ,  BITTERLICH STEFAN ,  HARZ HANS-PETER ,  KLEIN DANIELA ,  LOHSCHEIDT MARKUS ,  SCHOLTEN EDZARD ,  SCHUBERT ERICH

Inventor： BECK CHRISTINE ,  BITTERLICH STEFAN ,  HARZ HANS-PETER ,  KLEIN DANIELA ,  LOHSCHEIDT MARKUS ,  SCHOLTEN EDZARD ,  SCHUBERT ERICH

IPC: A23K1/00 ,  A23K1/16 ,  C12P13/02

CPC classification number: C12P13/02 ,  A23K20/174

Abstract: The invention relates to an improved method for producing an animal food supplement containing D-panthothenic acid and/or salts thereof, in addition to the use thereof.

Abstract translation: 本发明涉及制备含有D-泛酸和/或其盐的动物饲料添加剂的改进方法及其用途。

公开(公告)号：WO2009040120A3

公开(公告)日：2009-06-18

申请号：PCT/EP2008008176

申请日：2008-09-25

Applicant: ZEISS CARL SMT AG ,  SCHUBERT ERICH ,  HEISLER ANDREAS ,  HARTJES JOACHIM

Inventor： SCHUBERT ERICH ,  HEISLER ANDREAS ,  HARTJES JOACHIM

IPC: G02B7/00 ,  G03F7/20

CPC classification number: G02B7/00 ,  G03F7/70266 ,  G03F7/70825

Abstract: The present invention relates to an optical unit, particularly for micro-lithography, comprising an optical module, a support structure und a force-generating device. The force-generating device is connected to the optical module and the support structure and is designed to exert a force on the optical module. The force-generating device comprises a fluid force-generating element having a working chamber that can be subjected to a working fluid having a working pressure. The force-generating element is designed as a muscle element, exerting a first tensile force at a first working pressure and exerting a second tensile force that is higher than the first tensile force at a second working pressure that is higher than the first working pressure.

Abstract translation: 本发明涉及一种光学装置，特别是用于微光刻，包括：光学模块，支撑结构和力产生装置。 力产生装置连接到所述光模块和所述支撑结构并且被设计成施加在光学模块上的力。 力产生装置包括流体弹力生成构件与能够在与具有工作流体的工作压力被加载一个工作腔室。 力产生元件被构造为肌肉元件，其施加一个第一张力，在第一工作压力和施加拉伸力相对的相反侧的第一工作压力增加第二工作压力升高到所述第一第二拉伸力。

公开(公告)号：WO2009040120A2

公开(公告)日：2009-04-02

申请号：PCT/EP2008/008176

申请日：2008-09-25

Applicant: CARL ZEISS SMT AG ,  SCHUBERT, Erich ,  HEISLER, Andreas ,  HARTJES, Joachim

Inventor： SCHUBERT, Erich ,  HEISLER, Andreas ,  HARTJES, Joachim

IPC: G02B7/00 ,  G03F7/20

CPC classification number: G02B7/00 ,  G03F7/70266 ,  G03F7/70825

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Einrichtung, insbesondere für die Mikrolithographie, mit einem optischen Modul, einer Stützstruktur und einer Krafterzeugungseinrichtung. Die Krafterzeugungseinrichtung ist mit dem optischen Modul und der Stützstruktur verbunden und dazu ausgebildet, auf das optische Modul eine Kraft auszuüben. Die Krafterzeugungseinrichtung weist ein fluidisches Krafterzeugungselement mit einer Arbeitskammer auf, die mit einem einen Arbeitsdruck aufweisenden Arbeitsfluid beaufschlagbar ist. Das Krafterzeugungselement ist als Muskelelement ausgebildet, das bei einem ersten Arbeitsdruck eine erste Zugkraft ausübt und bei einem gegenüber dem ersten Arbeitsdruck erhöhten zweiten Arbeitsdruck eine gegenüber der ersten Zugkraft erhöhte zweite Zugkraft ausübt.

Abstract translation: 光学装置技术领域本发明涉及一种光学装置，特别是用于微光刻的光学装置，其包括光学模块，支撑结构和力产生装置。 力产生装置连接到光学模块和支撑结构，并设计成在光学模块上施加力。 该力产生装置具有带有工作室的流体力产生元件，该工作室可以通过具有工作压力的工作流体来作用。 所述力产生元件被构造为肌肉元件，在第一操作压力的第一拉伸力导航用途; BT并且在相对在所述第一工作压力ERH＆OUML; HTEN第二工作压力在第一拉伸力ERH＆OUML的计数器; HTE第二拉力导航用BT

公开(公告)号：WO2009012858A1

公开(公告)日：2009-01-29

申请号：PCT/EP2008/005160

申请日：2008-06-25

Applicant: SCHALTBAU GMBH ,  MAYER, Wolfgang ,  SCHUBERT, Erich ,  WIRZ, Paul

Inventor： MAYER, Wolfgang ,  SCHUBERT, Erich ,  WIRZ, Paul

IPC: H01H1/20 ,  H01H1/18

CPC classification number: H01H1/2083 ,  H01H1/18

Abstract: Die Erfindung betrifft einen Mikroschalter mit mindestens zwei Kontaktstellen mit je einem beweglichen Kontakt und einem Festkontakt, wobei die beweglichen Kontakte auf einer Kontaktbrücke angeordnet sind, die Kontaktbrücke mittels eines Stößels bewegbar und von einer ersten Schaltstellung, in der Kontaktstellen geöffnet sind, in eine zweite Schaltstellung, in der Kontaktstellen geschlossen sind, überführbar ist. Bei Gebrauch des Mikroschalters kann sich Schmutz an den Kontakten ablagern, der störend auf den Mikroschalter einwirkt und im schlimmsten Fall dazu führt, dass in der Schließstellung der Kontaktstellen kein Stromfluss mehr stattfindet. Es soll deshalb ein Mikroschalter mit sicheren Selbstreinigung bereitgestellt werden. Hierzu ist vorgesehen, dass die Kontaktbrücke so gelagert ist, dass die Kontaktbrücke beim Schließen und öffnen der Kontakte eine Drehbewegung um eine parallel zu ihrer Längserstreckung verlaufende Drehachse durchführt, wodurch zwischen den einander gegenüberliegenden Kontakten jeder Kontaktstelle eine zwangsgeführte Reibbewegung quer zur Längserstreckung der Kontaktbrücke stattfindet.

Abstract translation: 本发明涉及一种具有各自至少两个接触点与一个可动触点和固定触点，其中，所述可动触点被布置在接触桥，柱塞可移动和第一开关位置的接触桥装置，是在接触点打开，在第二切换位置的微动开关， 在接触点处被闭合可被转移。 在使用时，微污物上的联系人，这与微干扰，在最坏的情况下，在接触点没有电流流发生的关闭位置导致建立。 因此，应当提供安全自洁微动开关。 为了这个目的，它提供的是，接触桥被安装为使得所述接触桥通过围绕平行于旋转的其纵向延伸轴线延伸的轴线的旋转运动进行接点的闭合和打开，由此，每一个接触点的带正从动摩擦运动横向采用了相反的触点到接触桥的纵向延伸之间。

公开(公告)号：WO2006136353A1

公开(公告)日：2006-12-28

申请号：PCT/EP2006/005857

申请日：2006-06-19

Applicant: CARL ZEISS SMT AG ,  SINGER, Wolfgang ,  HAINZ, Joachim ,  SCHUBERT, Erich

Inventor： SINGER, Wolfgang ,  HAINZ, Joachim ,  SCHUBERT, Erich

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70075 ,  G03F7/70083 ,  G03F7/70191

Abstract: The invention relates to an illumination system with a light source (101) emitting radiation with a wavelength ≤ 193 nm, especially radiation in the EUV wavelength range. The invention comprises a first facetted optical element (102) in a first plane (150) with at least a first and second field raster element (309) which receive the light of the light source (101 ) and divide the same into a first and second bundle (21) of light; a optical component comprising at least a second facetted optical element (104) in a second plane (152) with a first and second pupil raster element (415), with the first light bundle impinging upon the first pupil raster element and the second light bundle impinging upon the second pupil raster element, with an attenuator (1100) being arranged in or close to the second plane (152) or a plane conjugated to the second plane at least in the first light bundle extending from the first field raster element to the first pupil raster element, wherein the optical component images the first and second field raster element into a field plane.

Abstract translation: 本发明涉及具有发射波长为193nm的辐射的光源（101）的照明系统，特别是EUV波长范围内的辐射。 本发明包括在第一平面（150）中的至少第一和第二场光栅元件（309）的第一刻面光学元件（102），其接收光源（101）的光并将其分成第一和第 第二束（21）光; 在第二平面（152）中至少包括具有第一和第二光瞳光栅元件（415）的第二刻面光学元件（104）的光学部件，其中第一光束撞击第一光瞳光栅元件和第二光束 撞击在第二光瞳光栅元件上，其中衰减器（1100）布置在第二平面（152）中或靠近第二平面（152）或至少在从第一场光栅元件延伸到第二光栅元件的第一光束中与第二平面共轭的平面 第一光瞳光栅元件，其中所述光学部件将所述第一和第二场光栅元素成像为场平面。

公开(公告)号：WO2005028659A2

公开(公告)日：2005-03-31

申请号：PCT/EP2004/052308

申请日：2004-09-16

Applicant: BASF AKTIENGESELLSCHAFT ,  BECK, Christine ,  BITTERLICH, Stefan ,  HARZ, Hans-Peter ,  KLEIN, Daniela ,  LOHSCHEIDT, Markus ,  SCHOLTEN, Edzard ,  SCHUBERT, Erich

Inventor： BECK, Christine ,  BITTERLICH, Stefan ,  HARZ, Hans-Peter ,  KLEIN, Daniela ,  LOHSCHEIDT, Markus ,  SCHOLTEN, Edzard ,  SCHUBERT, Erich

IPC: C12P13/02

CPC classification number: C12P13/02 ,  A23K20/174

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein verbessertes Verfahren zur Herstellung eines D-Pantothensäure und/oder deren Salze enthaltendes Tierfuttersupplement sowie dessen Verwendung.

Abstract translation: 本发明涉及一种改进的用于生产D-泛酸和/或其盐，含有动物饲料补充剂和它的使用。

公开(公告)号：WO2003070499A1

公开(公告)日：2003-08-28

申请号：PCT/IB2003/000507

申请日：2003-02-12

Applicant: GENCORP PROPERTY INC. ,  BOCCUTO, Domenico ,  SCHUBERT, Erich

Inventor： BOCCUTO, Domenico ,  SCHUBERT, Erich

IPC: B60J10/00

CPC classification number: B60J10/21

Abstract: A sealing or guiding assembly (91) is disclosed for sealing or guiding a corner of a closure member for an opening (10) and for attachment to a frame (8) for the opening (10). The sealing or guiding assembly (91) comprises strips of flexible material extendingtowards and meeting at the apex (18) of the corner and shaped to receive the closure member at the corner and adapted to be supported by a corner support (80) which in use forms part of the frame (8), and a separate flap (120) of flexible material interlocked to the strips of flexible material in the region of the corner and bridging across the corner between the strips 91, 302, 304. The flap (120) may additionally be moulded to strips.

Abstract translation: 公开了一种用于密封或引导用于开口（10）的封闭构件的角部并用于附接到用于开口（10）的框架（8）的密封或引导组件（91）。 密封或引导组件（91）包括向上延伸并在角部的顶点（18）处相交并且成形为在拐角处接收封闭构件并且适于由在使用中的角部支撑件（80）支撑的柔性材料条 形成框架（8）的一部分，以及在角部区域中互锁到柔性材料条的柔性材料的单独的折板（120），并跨过条91,302,304之间的角部桥接。 ）可另外模制成条带。