公开(公告)号：WO2005027323A1

公开(公告)日：2005-03-24

申请号：PCT/JP2003/011430

申请日：2003-09-08

Applicant: ローツェ株式会社 ,  崎谷 文雄

Inventor： 崎谷 文雄

IPC: H02K41/03

CPC classification number: H02P25/06 ,  H02K29/08 ,  H02K41/03

Abstract: リニアモータの固定子部は１２０度の位相差を持つ電流が流されるＵ相、Ｖ相、Ｗ相のコイル部（１０Ｕ）、（１０Ｖ）、（１０Ｗ）を有する。各相のコイル部は時計回りに巻回した第１のコイルと反時計回りに巻回した第２のコイルとを対として移動方向に隣接させると共に直列接続したものを移動方向に複数対配列して成る。第１のコイルと第２のコイルとの延在長を３６０度とした場合、Ｖ相のコイル部はＵ相のコイル部に対して１２０度だけ、Ｗ相のコイル部はＶ相のコイル部に対して１２０度だけそれぞれ移動方向に関してずらしかつ重ねて設置されている。Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相のコイル部に磁石部（３０）が移動可能に組み合わされる。磁石部の移動方向の長さはコイルにより形成される磁束の波長の１／２以下の長さとする。可動部には、コイルにより形成される磁束の１／２波長の整数倍だけ磁石部の中心から移動方向に離れた位置にホール素子（４０）が取り付けられる。このホール素子の出力に基づいて各コイル部への電流の振幅あるいは位相制御を行う。

Abstract translation: 线性电动机的定子部分包括相位相差120度的电流的U相线圈部（10U），V相线圈部（10V）和W相线圈部（10W） 流。 每个线圈部分具有成对的顺时针缠绕的第一线圈和逆时针缠绕的第二线圈。 这些线圈在移动方向上彼此相邻并且串联连接并沿移动方向排列。 当从第一线圈到第二线圈的延伸长度为360度时，V相线圈部分与U相线圈部分重叠并且从U相线圈部分偏移了120度，并且W相线圈部分重叠并且被移位 从V相线圈部分相对于移动方向120度。 磁体部件（30）与U相，V相和W相线圈部件可移动地组合。 磁体部分在移动方向上的长度小于由线圈产生的磁通量波长的一半。 在可动部分上，霍尔元件（40）安装在远离磁体部分的中心的位置上由线圈产生的磁通量波长的一半的整数倍。 根据霍尔元件的输出，控制馈送到每个线圈部分的电流的幅度或相位。

公开(公告)号：WO2007004551A1

公开(公告)日：2007-01-11

申请号：PCT/JP2006/313084

申请日：2006-06-30

Applicant: ローツェ株式会社 ,  崎谷 文雄

Inventor： 崎谷 文雄

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67769

Abstract: 　処理装置の処理速度や配置構成等に応じてコンテナを好適に搬送できるコンテナ搬送装置及びコンテナ搬送システムを提供する。 　本願発明のコンテナ搬送システムは、内部に基板を収納するコンテナを搬送するものであって、保持した前記コンテナを昇降動作する昇降手段、及び、直線移動手段を備える搬送ロボットと、少なくとも１つのコンテナを載置する載置台と、からなるコンテナ搬送装置を複数備える。

Abstract translation: 本发明提供一种容器运送装置和容器运送系统，其能够适当地运送与处理装置的处理速度，配置结构等对应的容器。 集装箱搬送系统设置用于将存储基板的容器内部输送，并设置有多个集装箱搬运装置。 容器运送装置设有运送机器人，该运送机器人具有用于提升被保持的容器的提升装置和线性移动装置; 以及用于放置至少一个容器的放置台。

公开(公告)号：WO2006115157A1

公开(公告)日：2006-11-02

申请号：PCT/JP2006/308280

申请日：2006-04-20

Applicant: ローツェ株式会社 ,  崎谷 文雄 ,  坂田 勝則

Inventor： 崎谷 文雄 ,  坂田 勝則

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67784 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/6838

Abstract: A cassette conveyance system for conveying large-sized heavy objects such as substrates and cassettes having grown in size, where production of dust and the space the system occupies can be suppressed. A cassette (3) above a conveyance path (4, 7, 9a, 9b) is levitated by a levitation device (6) and horizontally moved along the conveyance path with the levitated cassette (3) held by a pair of cassette transfer arms (5a-5c) provided at a side of the conveyance path (4, 7, 9a, 9b). Since the cassette (3) is being levitated, production of dust by sliding friction is prevented and, in addition, a cassette movement device for moving the cassette (3) can be reduced in size.

Abstract translation: 用于输送大尺寸重型物品（例如基板和盒子）的盒式输送系统，其尺寸增大，可以抑制灰尘的产生和系统占据的空间。 输送路径（4,7,9a，9b）上方的盒（3）由悬浮装置（6）悬浮，并且沿着输送路径水平移动，悬浮的盒（3）由一对盒传送臂（ 5a，5c）设置在输送路径（4,7,9a，9b）的一侧。 由于盒（3）悬浮，因此防止了由滑动摩擦产生的灰尘，并且还可以减小用于移动盒（3）的盒移动装置的尺寸。

公开(公告)号：WO2003102476A1

公开(公告)日：2003-12-11

申请号：PCT/JP2003/007075

申请日：2003-06-04

Applicant: ローツェ株式会社 ,  崎谷 文雄

Inventor： 崎谷 文雄

IPC: F24F7/06

CPC classification number: H01L21/67017

Abstract: クリーン移載装置(2)の筐体(2a)内の搬送ロボット(10)の中位部にてアーム(17)のすぐ下に、パンチング板等からなり空気の流通する第１の床(11)を設け、搬送ロボット(10)の基部を支持する筐体底部フレーム(2b)の、外部に対する開口度も制限すると、クラス１を保つ事ができ、ここで、筐体底部フレーム(2b)上にパンチング板等からなる第２の床(13)を用いると、特定の条件下ではクラス０状態を実現でき、０．１μｍ線幅の半導体製造が可能となった。これにより、高集積度半導体ウエハ上の線幅の微細化に伴って移載装置にも要求される従来にない高クリーン度０．１μｍ粒子クラス１に対応可能となった。

Abstract translation: 一种片状电子部件清洁转印装置，其中由穿孔板形成并允许空气流动的第一层（11）安装在刚好在臂（17）下方的清洁转印装置（2）的壳体（2a）中， 在输送机器人（10）的中间高度部分，并且当将输送机器人（10）的基部支撑到外部的壳体底部框架（2b）的开度受到限制时，等级1可以是 并且当在壳体底部框架（2b）上使用由穿孔板形成的二层（13）时，可以在特定条件下实现0级的状态，从而可以制造线宽度为0.1μm的半导体 由此，根据在高度集成的半导体晶片上的线宽度的减小，该装置可以应付对于转印装置也要求的0.1μm级别的等级1的意外高度的清洁度。

公开(公告)号：WO2005004227A1

公开(公告)日：2005-01-13

申请号：PCT/JP2003/008629

申请日：2003-07-07

Applicant: ローツェ株式会社 ,  崎谷 文雄

Inventor： 崎谷 文雄

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/68707 ,  B25J19/021 ,  H01L21/681

Abstract: 薄板状物の取出しや収納時、支持アームのエンドエフェクタ上に於ける薄板状物の適正位置とずれ位置の検出を行い、且つその修正作業を効率的に行う。検出手段（１８）を支持アーム（１４）上に備え、検出手段（１８）はコ字状でその開放口をエンドエフェクタ（１１）側となし、且つ薄板状物（２）が通過するさい干渉することなく奥行きを有する構成となしてある。

Abstract translation: 在取出或存储薄片状物品时，检测出薄片状物品偏离其适当的位置，并且有效地执行其修正操作。 检测装置（18）安装在支撑臂（14）上。 检测装置（18）为ko形（ko表示以/ ko /表示的日本假名字符），其开口端在端部执行器（11）侧，检测装置被构造成具有相当大的深度以允许 薄片状物品（2）通过而不受干扰。

公开(公告)号：WO2003101677A1

公开(公告)日：2003-12-11

申请号：PCT/JP2003/000381

申请日：2003-01-17

Applicant: ローツェ株式会社 ,  崎谷 文雄 ,  佐藤 恭久 ,  長尾 哲也 ,  池田 敏之

Inventor： 崎谷 文雄 ,  佐藤 恭久 ,  長尾 哲也 ,  池田 敏之

IPC: B25J9/22

CPC classification number: B25J9/1692 ,  H01L21/681

Abstract: 　位置決め装置と搬送ロボットとを具える半導体製造装置における設備立ち上げの際の各ポートでの基準位置教示および定常生産工程での位置決めを自動化して生産性を高めるべく、本発明では、ウエハ等の円盤状物４７の円周と検出手段の軌跡４３とが交わる２点W1,W2を検出し、この２点とこれらを結ぶ線分の垂直二等分線４２上の特定点Ｏと円盤状物の半径ｒとを用いて円盤状物の中心位置Ａを算出する。これにより搬送ロボットに位置決め作業をさせることができ、その結果を用いて搬送経路の修正ばかりでなく設備立ち上げの際の基準位置教示も自動化することができた。切り欠き部がある場合は、円盤状物の円周を検出手段の２本の軌跡で検出し、正しい中心位置を見いだす。また半径未知の円盤状物の円周を検出手段の３本の軌跡で検出して半径を求めることで、直径の異なるウエハを用いる混合生産も可能となった。

Abstract translation: 一种用于盘状物体的自动参考位置教学方法，其能够通过在具有定位装置和携带机器人的半导体制造设备中启动设备时在端口自动化基准位置教导和固定生产过程中的定位来提高生产率，包括 检测两个点W1和W2的步骤，其中诸如晶片的盘状物体（47）的圆周与检测装置的轨迹（43）交叉，并且通过使用该方法计算盘状物体的中心位置A 这两点，连接这两个点的线段的垂直平分线（42）上的特定点O和盘状物体的半径r，由此可以由携带机器人执行定位操作，而不仅仅是 可以通过使用定位操作的结果来自动进行装载路线的校正以及起动设备时的参考位置示教。 当在盘状物体中存在切口部分时，通过检测装置的两个轨迹检测盘状物体的圆周，以找出正确的中心位置，并且具有未知的盘状物体的圆周 通过检测装置的三个轨迹检测半径以获得半径，以便允许使用不同直径的晶片的混合生产。