公开(公告)号：WO2014070484A1

公开(公告)日：2014-05-08

申请号：PCT/US2013/065686

申请日：2013-10-18

申请人： SANDISK 3D LLC

发明人： KOIKE, Atsuyoshi ,  WAKABAYASHI, Takayuki ,  KISHI, Hideki

IPC分类号： H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67703 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67772

摘要： A semiconductor device manufacturing line includes a process system that includes a plurality of process units of a single wafer process type, and a carrier system that carries wafers to the plurality of process units. The carrier system includes a plurality of carrier units each carrying one wafer from one of the process units to another process unit of a next process.

摘要翻译： 半导体器件制造线包括包括单个晶片工艺类型的多个处理单元和将晶片运送到多个处理单元的载体系统的处理系统。 载体系统包括多个载体单元，每个载体单元将一个晶片从一个处理单元承载到另一个处理单元。

公开(公告)号：WO2013166512A1

公开(公告)日：2013-11-07

申请号：PCT/US2013/039763

申请日：2013-05-06

申请人： ENTERGRIS, INC.

发明人： FULLER, Matthew ,  BURNS, John

IPC分类号： H01L21/673 ,  B65D85/86 ,  B65D85/38

CPC分类号： H01L21/67772 ,  H01L21/67369 ,  H01L21/67373 ,  H01L21/67383 ,  Y10T29/4973

摘要： A wafer container an enclosure portion including a top wall, a bottom wall, a pair of side walls, a back wall, and a door frame opposite the back wall, the door frame defining a front opening, and a wafer support structure including two side wafer supports 5 each side wafer support including a removable backstop. The invention includes maintaining wafer containers by replacing the removable backstop. The invention includes converting shipping containers that ship large diameter wafers vertically to containers to be used in fabrication facilities that store wafers horizontally for robotic pickup for processing.

摘要翻译： 一种晶片容器，包括顶壁，底壁，一对侧壁，后壁和与后壁相对的门框的封闭部分，门框限定前开口，以及包括两侧的晶片支撑结构 晶片支撑5个每个侧面晶片支撑件，包括可拆卸的支撑件。 本发明包括通过更换可拆卸的止回阀来维持晶片容器。 本发明包括将运送大直径晶片的运输容器转换成容器，用于制造设备，用于水平存储晶片以用于机器人拾取处理。

公开(公告)号：WO2013084575A1

公开(公告)日：2013-06-13

申请号：PCT/JP2012/075681

申请日：2012-10-03

申请人： 独立行政法人 産業技術総合研究所

发明人： 原　史朗

IPC分类号： H01L21/02 ,  B65G49/07 ,  H01L21/027 ,  H01L21/677

CPC分类号： G03F7/7075 ,  G21F7/00 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67751 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775

摘要： 　塗布装置、露光装置、現像装置などを大きなイエロールーム内に一緒に配置することは、レシピ変更に伴うレイアウトの変更を困難にしているとともに、配置面積等の効率化が困難である。　規格化された同一の外形を有し、ワーク上に形成された感光材料への感光線を遮光するイエロールームを内包する複数の可搬可能な単位処理装置５０と、単位処理装置間で前記ワークを搬送するための、それ自体がイエロールームとして形成された搬送容器１１，１２と、単位処理装置５０の前室８０の上部に設けられたドッキングポート５６に形成された単位処理装置と搬送装置とを連結する遮光性の連結構造と、を有するイエロールームシステムとした。

摘要翻译： 在一个大的黄色房间内将涂布装置，曝光装置，显影装置等放置在一起使得配方修改附带的布局变化复杂化，并且在表面积使用效率等方面造成困难。 这种黄色房间系统具有：具有标准化和均匀外部形状的多个便携式单元处理器（50），并且包含用于屏蔽形成在工件上的感光材料与曝光光的黄色室; 用于在单元处理器之间运输工件的运输船（11,12），并且自身形成为黄色房间; 以及用于连接单元处理器和传送装置的遮光连接结构，并且形成在位于单元处理器（50）的前室（80）的顶部的对接端口（56）中。

公开(公告)号：WO2012054630A2

公开(公告)日：2012-04-26

申请号：PCT/US2011056921

申请日：2011-10-19

申请人： ENTEGRIS INC ,  FULLER MATTHEW A

发明人： FULLER MATTHEW A

IPC分类号： H01L21/673

CPC分类号： H01L21/67772 ,  H01L21/67369 ,  H01L21/67373

摘要： A front opening wafer container suitable for 450 mm diameter wafers. The front door has a pair of latch mechanism externally operable on the sides of the door, each latching mechanism having a pair of latch tips extendable from top and bottom peripheries of the door into receivers in the door frame of the front opening of the container portion. The door contains wafer cushions that support horizontally stacked wafers. The cushions have vertically extending support strip regions with arcuate wafer engagement portions therebetween. The arcuate wafer engagement portion is positioned in a vertically extending central recess on the inside surface of the door. The wafer cushion is secured to the inside of the door at the pair of vertically extending support strip portions at a pair of vertically extending loading junctures. The latching tips of each latching mechanism is in a vertical alignment with the vertically extending loading junctures.

摘要翻译： 适用于450毫米直径晶圆的前开式晶圆容器。 前门具有可在门的侧面上从外部操作的一对闩锁机构，每个闩锁机构具有一对闩锁尖端，该一对闩锁尖端可从门的顶部和底部周边延伸到容器部分的前部开口的门框中的接收器中 。 门包含支撑水平堆叠晶圆的晶圆垫。 垫子具有垂直延伸的支撑带区域，其间具有弧形晶片接合部分。 弓形晶片接合部分位于门内表面上的垂直延伸的中央凹部中。 在一对垂直延伸的加载接合处，晶片衬垫在一对垂直延伸的支撑条部分固定在门的内侧。 每个锁定机构的锁定尖端与竖直延伸的加载接合处垂直对齐。

公开(公告)号：WO2012003240A2

公开(公告)日：2012-01-05

申请号：PCT/US2011/042455

申请日：2011-06-29

申请人： CROSSING AUTOMATION, INC. ,  BONORA, Anthony, C.

发明人： BONORA, Anthony, C.

IPC分类号： H01L21/673 ,  H01L21/68 ,  H01L21/02

CPC分类号： H01L21/67772 ,  E06B3/50 ,  E06B3/5009 ,  E06B5/00 ,  E06B7/32 ,  H01L21/67763 ,  H01L21/67766 ,  Y10S414/135

摘要： A loadport has a port door and a frame with an opening through which the port door interfaces with a container door of a container for holding semiconductor workpieces. In one embodiment, a movable closure mechanism is connected to the port door and is defined to be movable in a controlled manner relative to both the port door and the frame. In this embodiment, a stationary closure mechanism is disposed on the frame proximate to the opening. In another embodiment, a stationary closure mechanism is connected to the port door, and a movable closure mechanism is disposed on the frame proximate to the opening. In both embodiments, the movable closure mechanism is defined to engage with the stationary closure mechanism such that movement of the movable closure mechanism to engage with the stationary closure mechanism applies a closing force between the port door and the container door.

摘要翻译： 装载端口具有端口门和具有开口的框架，端口门通过该开口与用于容纳半导体工件的容器的容器门连接。 在一个实施例中，可移动的关闭机构连接​​到端口门并且被限定为相对于端口门和框架以受控的方式移动。 在该实施例中，静止闭合机构靠近开口布置在框架上。 在另一个实施例中，静止闭合机构连接到端口门，并且可移动闭合机构靠近开口布置在框架上。 在两个实施例中，可动关闭机构被限定成与固定关闭机构接合，使得可动关闭机构与静止关闭机构接合的运动在端口门和集装箱门之间施加闭合力。

公开(公告)号：WO2011155356A1

公开(公告)日：2011-12-15

申请号：PCT/JP2011/062332

申请日：2011-05-30

申请人： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  原 史朗 ,  前川 仁

发明人： 原　史朗 ,  前川　仁

IPC分类号： H01L21/673 ,  B65D45/02 ,  B65D85/86

CPC分类号： H01L21/67742 ,  A47B47/0091 ,  A47B81/00 ,  B65D51/28 ,  B65D2313/04 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/67751 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775

摘要： 従来ウエハ等の搬送システムにおいて、予め装置に前室を設けた上で容器から、被搬送物を前室を通じることで装置区域に被搬送物を搬送していたため、容器と前室との接続が複雑な機構によってなされていた。本発明は、搬送容器（７）は、搬送容器本体（１１）と搬送容器扉（１２）の密着連結可能なシール構造を有し、装置（８）は、装置本体（１３）と装置扉（９）の密着連結可能なシール構造を有し、さらに、搬送容器と装置は、両者が密着連結可能なシール構造を有し、搬送容器と装置が密着連結したときだけ、密閉化された連結室を形成し、搬送容器扉が搬送容器から分離し装置内に取り込まれる構造を有し、搬送容器本体と搬送容器扉は磁石及び／又は磁性体（２８）、（２７）を有して、これらの間の磁気力により搬送容器扉と搬送容器を閉じる構造を有する搬送容器を構成し、装置本体と磁石（２６）を有する装置扉を有する装置からなる連結システム。

摘要翻译： 在用于晶片等的常规传送系统中，由于前部腔室预先设置在装置上，并且被搬运物体从容器传送到装置，因此通过复杂的机构形成容器和前室之间的连接 通过使要传送的物体通过前室。 公开了一种连接系统，其中：输送容器（7）具有用于输送容器主体（11）和输送容器门（12）的紧密连接的密封结构; 装置（8）具有用于装置主体（13）和装置门（9）的可紧密连接的密封结构; 输送容器和装置都具有紧密连接的密封结构; 仅当输送容器和装置紧密连接时才形成气密连接室; 该结构使得运输容器门与运输容器分离并且被带到装置内部; 输送容器主体和运送容器门具有磁体和/或磁体（28,27），并形成具有结构的运送容器，运送容器门和输送容器通过所述运送容器主体和运送容器门之间的磁力而封闭 磁体和/或磁体; 并且该装置具有装置主体和具有磁体（26）的装置门。

公开(公告)号：WO2011155355A1

公开(公告)日：2011-12-15

申请号：PCT/JP2011/062331

申请日：2011-05-30

申请人： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  原 史朗

发明人： 原　史朗

IPC分类号： H01L21/673

CPC分类号： H01L21/673 ,  H01L21/67353 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67386 ,  H01L21/67751 ,  H01L21/67772

摘要： 　従来、ウエハ等の搬送システムにおいて、予め装置に前室を設けた上で容器から、被搬送物を前室を通じることで装置区域に被搬送物を搬送していたため、容器と前室との接続が複雑な機構によってなされていた。本発明は、搬送容器本体（１１）と搬送容器扉（１２）で構成される搬送容器（７）と、装置本体（１３）と装置扉（１４）を有する装置（８）から成る連結システムであって、搬送容器は、搬送容器本体と搬送容器扉の密着連結により密閉可能なシール構造を有し、装置は、装置本体と装置扉の密着連結により密閉可能なシール構造を有し、さらに、搬送容器と装置は、両者が密着連結することにより形成される密閉可能なシール構造を有し、搬送容器と装置が密着連結したときだけ、シール構造によって密閉化された連結室を形成し、さらに該連結室内を清浄化する手段を設けると共に、搬送容器扉が搬送容器から分離し装置内に取り込まれる構造を有する連結システム。

摘要翻译： 在用于传送晶片等的常规系统中，容器和预备室通过复杂的机构彼此连接，因为要传送的被摄体已经通过预先向设备提供预备 然后，经由预备室将物体从容器转移到装置区域。 公开了一种连接系统，其由以下部分组成：由转移容器主体（11）和转移容器门（12）构成的转移容器（7）。 以及具有装置主体（13）和装置门（14）的装置（8）。 转印容器具有密封结构，其可以通过将转印容器主体和转印容器门紧密地连接在一起来密封转印容器，该装置具有密封结构，该密封结构可以通过紧密地附接装置主体 本体和装置门彼此之间，此外，转印容器和装置具有密封结构，其进行气密密封，所述结构通过使转印容器和装置彼此紧密地相连而形成，并且转印容器和 只有当转移容器和装置彼此紧密地连接时，该装置才形成连接室，所述连接室通过密封结构气密密封。 连接系统设置有用于清洁连接室的内部的装置，并且具有其中转移容器门与转移容器分离并被带入设备的结构。

公开(公告)号：WO2009137395A3

公开(公告)日：2010-02-18

申请号：PCT/US2009042688

申请日：2009-05-04

申请人： APPLIED MATERIALS INC ,  BALASUBRAMANYAM CHANDRASEKHAR ,  LEE HELDER ,  SCHWARTZ MIRIAM ,  WU ELIZABETH ,  SANGAM KEDARNATH

发明人： BALASUBRAMANYAM CHANDRASEKHAR ,  LEE HELDER ,  SCHWARTZ MIRIAM ,  WU ELIZABETH ,  SANGAM KEDARNATH

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

CPC分类号： F16K15/147 ,  C23C16/4401 ,  C23C16/45519 ,  F16K51/02 ,  H01L21/67772

摘要： Methods and apparatus for increasing flow uniformity are provided herein. In some embodiments, a slit valve having increased flow uniformity may be provided, the slit valve may include a housing having an opening disposed therethrough, the opening configured to allow a substrate to pass therethrough; a gas inlet formed in the housing; an outer plenum disposed in the housing and coupled to the gas inlet; an inner plenum disposed in the housing and coupled to the outer plenum via a plurality of holes; and a plurality of gas outlets disposed in the housing and fluidly coupling the opening to the inner plenum.

摘要翻译： 本文提供了增加流动均匀性的方法和装置。 在一些实施例中，可以提供具有增加的流动均匀性的狭缝阀，所述狭缝阀可以包括具有穿过其中设置的开口的壳体，所述开口构造成允许衬底通过; 形成在壳体中的气体入口; 设置在壳体中并连接到气体入口的外部增压室; 内部增压室，其设置在所述壳体中并且经由多个孔联接到所述外部增压室; 以及设置在壳体中的多个气体出口，并且将开口流体地联接到内部增压室。

公开(公告)号：WO2009055507A1

公开(公告)日：2009-04-30

申请号：PCT/US2008/080842

申请日：2008-10-22

申请人： APPLIED MATERIALS, INC. ,  SICO, Angela, Rose ,  RICE, Michael, R. ,  STRASSNER, James, D.

发明人： SICO, Angela, Rose ,  RICE, Michael, R. ,  STRASSNER, James, D.

IPC分类号： C23F1/00

CPC分类号： F16K3/06 ,  F16K3/0227 ,  F16K51/02 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/67772

摘要： Apparatus, methods and systems are provided for sealing a door of a slit valve. The invention includes a seal, adapted to extend along a perimeter of a slit valve door; and a hard stop, disposed between the seal and an outer edge of the slit valve door, and adapted to extend along at least a portion of the length of the seal, wherein the hard stop and the seal fill at least a portion of a gap between the slit valve door and a substrate sealing surface. Numerous other aspects are provided.

摘要翻译： 提供了用于密封狭缝阀的门的装置，方法和系统。 本发明包括适于沿着狭缝阀门的周边延伸的密封件; 以及设置在所述密封件和所述狭缝阀门的外边缘之间并且适于沿着所述密封件的所述长度的至少一部分延伸的硬止动件，其中所述硬止动件和所述密封件填充至少一部分间隙 在狭缝阀门和基板密封面之间。 提供了许多其他方面。

公开(公告)号：WO2008070876A3

公开(公告)日：2008-10-02

申请号：PCT/US2007087034

申请日：2007-12-10

申请人： ASYST TECHNOLOGIES ,  BONORA ANTHONY C ,  PHARAND MICHEL ,  GOULD ROBERT

发明人： BONORA ANTHONY C ,  PHARAND MICHEL ,  GOULD ROBERT

IPC分类号： B65D85/48 ,  G02F1/13

CPC分类号： B65D81/2076 ,  B65D85/30 ,  B65D2585/6837 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/6734 ,  H01L21/67363 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67383 ,  H01L21/67393 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775

摘要： The present invention generally comprises a system for FPD material storage and transport. The FPD system may contain environmental protection, material tracking and/or workstation loading capabilities. One of the components of the system includes a transportable, sealable container. Another component of the system includes a sealable load port against which a container is docked so that the substrates may be processed.