公开(公告)号：WO2006129576A1

公开(公告)日：2006-12-07

申请号：PCT/JP2006/310588

申请日：2006-05-26

Applicant: 日本電気株式会社 ,  本庄 弘明 ,  福本 能之

Inventor： 本庄 弘明 ,  福本 能之

IPC: H01L43/08 ,  H01F10/16 ,  H01F10/30 ,  H01L21/8246 ,  H01L27/105

CPC classification number: H01L27/222 ,  G11C11/161 ,  G11C11/1675 ,  H01F10/1936 ,  H01F10/3254 ,  H01F10/3272 ,  H01L43/08 ,  H01L43/10

Abstract: 　磁気抵抗効果素子は、磁化固定層と、磁化自由層と、磁化固定層と磁化自由との間に設けられたバリア層（１４）とを具備する。磁化自由層は、非磁性膜（２３）を介して互いに反強磁性的に結合した複数の強磁性膜（２１）を備える。複数の強磁性膜（２１）の少なくとも一つは、一般式：Ｆ１－ＸＭＸで示される材料を主成分とした第１磁性膜（２１ａ）を含む。Ｆは、Ｎｉ、Ｆｅ、及びＣｏからなる群から選択される少なくとも１種類の元素である。Ｍは、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｍｏ、及びＷからなる群から選択される少なくとも１種類の元素である。Ｘは、０．０５以上、０．２３以下である。

Abstract translation: 磁阻元件包括磁化固定层，无磁化层和布置在磁化固定层和无磁化层之间的阻挡层（14）。 无磁化层包括通过非磁性膜（23）反铁磁耦合的多个铁磁膜（21）。 至少一个铁磁膜（21）包含主要由以下通式表示的材料构成的第一磁性膜（21a）：F1-XMX。 在该式中，F表示选自Ni，Fe和Co中的至少一种元素; M表示选自Ti Zr，Nb，Hf，Ta，Mo和W中的至少一种元素; X不小于0.05且不大于0.23。

公开(公告)号：WO2006006630A1

公开(公告)日：2006-01-19

申请号：PCT/JP2005/012955

申请日：2005-07-13

Applicant: 日本電気株式会社 ,  本庄 弘明 ,  福本 能之

Inventor： 本庄 弘明 ,  福本 能之

IPC: H01L43/08 ,  G01R33/09 ,  G11C11/15 ,  H01F10/32 ,  H01L21/8246 ,  H01L27/105 ,  H01L43/12

CPC classification number: H01L43/12 ,  B82Y25/00 ,  B82Y40/00 ,  G01R33/093 ,  G11C11/16 ,  H01F10/3254 ,  H01F10/3268 ,  H01F10/3295 ,  H01F41/307 ,  H01L27/228 ,  H01L43/08

Abstract: 　磁気抵抗効果素子の製造方法は、反強磁性層を基板の上面側に形成することと、基板の上面側の反強磁性層の上に第１固定強磁性層を形成することと、第１固定強磁性層を５×１０ －７ Ｐａ以上１×１０ －４ Ｐａ以下の圧力で酸素原子を含む気体に暴露を行うことと、第１固定強磁性層の上に第２固定強磁性層を形成することと、第２固定強磁性層の上にトンネルバリア層を形成することと、トンネルバリア層の上に自由強磁性層を形成することとにより達成される。ただし、酸素原子を含む気体は、５×１０ －７ Ｐａ以上１×１０ －４ Ｐａ以下の圧力（又は分圧）の酸素ガスに例示される。上記の磁気抵抗効果素子の製造方法において、第２固定強磁性層の膜厚は、０より大きく１ｎｍ以下であるように形成される。

Abstract translation: 一种用于制造磁阻器件的方法包括在衬底的上表面上形成反铁磁性层的步骤，用于在衬底的上表面上的反铁磁性层上形成第一固定铁磁层的步骤， 在不低于5×10 -7 Pa且不大于1×10 -4 Pa的压力下将固定的铁磁层固定在含有氧原子的气体中，步骤为 在第一固定铁磁层上形成第二固定铁磁层，在第二固定铁磁层上形成隧道势垒层的步骤，以及在隧道势垒层上形成自由铁磁层的步骤。 在这方面，压力（分压）不低于5×10 -7 Pa且不大于1×10 -4 Pa的氧气示例为 含氧原子的气体。 在这种制造磁阻器件的方法中，第二固定铁磁层形成为具有大于0且不大于1nm的厚度。

公开(公告)号：WO2006054469A1

公开(公告)日：2006-05-26

申请号：PCT/JP2005/020539

申请日：2005-11-09

Applicant: 日本電気株式会社 ,  株式会社 東芝 ,  石綿 延行 ,  本庄 弘明 ,  西山 勝哉 ,  永瀬 俊彦

Inventor： 石綿 延行 ,  本庄 弘明 ,  西山 勝哉 ,  永瀬 俊彦

IPC: H01F10/16 ,  H01F10/32 ,  H01L21/8246 ,  H01L27/105 ,  H01L43/08 ,  H01L43/10

CPC classification number: G11C11/15 ,  B82Y25/00 ,  H01F10/3227 ,  H01F10/3254 ,  H01L43/10 ,  Y10T428/1107 ,  Y10T428/31678

Abstract: 　本発明に係る強磁性膜は、強磁性元素と非磁性元素とを含み、第１部分と第２部分とを有する。第１部分における非磁性元素の濃度は、強磁性膜中に占める非磁性元素の平均濃度より低い。一方、第２部分における非磁性元素の濃度は、強磁性膜中に占める非磁性元素の平均濃度より高い。また、非磁性元素は、Ｚｒ，Ｔｉ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｈｆ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選択される少なくとも一種類の元素を含む。この強磁性膜は、ＭＲＡＭ中の磁気抵抗素子が有する磁化自由層に適用される。

Abstract translation: 一种铁磁膜，其包含铁磁元件和非磁性元件，并且具有第一部分和第二部分，其中所述第一部分具有比所述非磁性元件的非磁性元件的平均浓度低的非磁性元件的浓度 铁磁膜，第二部分具有高于铁磁膜中的非磁性元件的平均浓度的非磁性元件的浓度，并且其中非磁性元件包括至少一种选自以下的元素： Zr，Ti，Nb，Ta，Hf，Mo和W.上述铁磁膜施加到MRAM中的磁阻元件的无磁层。

公开(公告)号：WO2008068967A1

公开(公告)日：2008-06-12

申请号：PCT/JP2007/070553

申请日：2007-10-22

Applicant: 日本電気株式会社 ,  本庄 弘明 ,  鈴木 哲広 ,  大嶋 則和

Inventor： 本庄 弘明 ,  鈴木 哲広 ,  大嶋 則和

IPC: H01L21/8246 ,  H01L27/105 ,  H01L29/82 ,  H01L43/08

CPC classification number: H01L43/12 ,  G11C11/161 ,  G11C11/1675 ,  H01L43/08

Abstract: 　本発明に係るＭＲＡＭは、ピン層６０と、トンネルバリヤ層５０を介してピン層６０に接続された磁気記録層４０とを備える。磁気記録層４０は、第１フリー層１０と、トンネルバリヤ層５０に接触する第２フリー層３０と、第１フリー層１０と第２フリー層３０との間に設けられた中間層２０とを有する。第１フリー層１０は、磁化反転領域１３と、第１磁化固定領域１１と、第２磁化固定領域１２とを含む。磁化反転領域１３は、反転可能な磁化を有し、第２フリー層３０とオーバーラップする。第１磁化固定領域１１は、磁化反転領域１３の第１境界Ｂ１に接続され、その磁化の向きは第１方向に固定される。一方、第２磁化固定領域１２は、磁化反転領域１３の第２境界Ｂ２に接続され、その磁化の向きは第２方向に固定される。第１方向及び第２方向は共に、磁化反転領域１３へ向かう方向、又は、磁化反転領域１３から離れる方向である。中間層２０は、少なくとも磁化反転領域１３を覆うように形成される。その磁化反転領域１３と第２フリー層３０は、中間層２０を介して磁気的に結合している。

Abstract translation: 提供了一种MRAM，其包括通过隧道势垒层（50）与引脚层（60）连接的引脚层（60）和磁记录层（40）。 磁记录层（40）包括第一自由层（10），用于接触隧道势垒层（50）的第二自由层（30）和介于第一自由层（10）和 第二自由层（30）。 第一自由层（10）包括磁化反转区域（13），第一磁化固定区域（11）和第二磁化固定区域（12）。 磁化反转区域（13）具有可逆磁化并与第二自由层（30）重叠。 第一磁化固定区域（11）与磁化反转区域（13）的第一边界（B1）连接，并且其磁化方向固定在第一方向上。 另一方面，第二磁化固定区域（12）与磁化反转区域（13）的次边界（B2）连接，并且其磁化方向固定在第二方向。 第一方向和第二方向都朝向磁化反转区域（13）或远离磁化反转区域（13）。 中间层（20）形成为至少覆盖磁化反转区域（13）。 该磁化反转区域（13）和第二自由层（30）通过中间层（20）磁耦合。

公开(公告)号：WO2003031320A1

公开(公告)日：2003-04-17

申请号：PCT/JP2002/009680

申请日：2002-09-20

Applicant: 日本電気株式会社 ,  石綿 延行 ,  斉藤 信作 ,  本庄 弘明 ,  鳥羽 環 ,  大橋 啓之

Inventor： 石綿 延行 ,  斉藤 信作 ,  本庄 弘明 ,  鳥羽 環 ,  大橋 啓之

IPC: B81B3/00

CPC classification number: G02B26/0841 ,  G02B6/122 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3584 ,  G02B2006/12104 ,  H01H1/54 ,  H01H2059/0054

Abstract: A switching element, comprising electrical contacts (4, 4') disposed on a substrate (1) and a movable part (3a) having electrical contacts (5, 5') disposed thereon, wherein the movable part (3a) is fixed to support parts (3b, 3b') through spring parts (3c, 3c') formed of a thin structural member having one or more flat surfaces and the other one or more flat surfaces continued with the flat surfaces at an angle of, for example, approximately 90°.

Abstract translation: 一种开关元件，包括设置在基板（1）上的电触头（4,4'）和设置在其上的电触点（5,5'）的可动部分（3a），其中可动部分（3a）固定到支撑 部分（3b，3b'）通过由具有一个或多个平坦表面的薄结构构件形成的弹簧部分（3c，3c'），而另一个或多个平坦表面以平坦表面以例如约 90°。

公开(公告)号：WO2003017294A1

公开(公告)日：2003-02-27

申请号：PCT/JP2002/008292

申请日：2002-08-15

Applicant: 日本電気株式会社 ,  石綿 延行 ,  本庄 弘明 ,  鳥羽 環 ,  斉藤 信作 ,  大橋 啓之

Inventor： 石綿 延行 ,  本庄 弘明 ,  鳥羽 環 ,  斉藤 信作 ,  大橋 啓之

IPC: H01F7/06

CPC classification number: H01H50/005 ,  H01F7/08 ,  H01F2007/068

Abstract: A thin film electromagnet having a magnetic yoke and a thin film coil is characterized in that the magnetic yoke has a first magnetic yoke section and a second magnetic yoke section in contact with the first magnetic yoke section. The first magnetic yoke section is characterized by being located at the center of winding constituting the thin film coil, and the second magnetic yoke sections by being disposed above or below the thin film coil by facing the thin film coil and coats at least a part of the thin film coil.

Abstract translation: 具有磁轭和薄膜线圈的薄膜电磁铁的特征在于，磁轭具有与第一磁轭部接触的第一磁轭部和第二磁轭部。 第一磁轭部分的特征在于位于构成薄膜线圈的绕组的中心，并且第二磁轭部分通过面对薄膜线圈设置在薄膜线圈的上方或下方，并且涂覆至少部分 薄膜线圈。