公开(公告)号：WO2007105820A1

公开(公告)日：2007-09-20

申请号：PCT/JP2007/055336

申请日：2007-03-12

Applicant: 栗田工業株式会社 ,  森田博志 ,  床嶋裕人

Inventor： 森田博志 ,  床嶋裕人

IPC: H01L21/304 ,  B01D19/00 ,  B01F1/00 ,  B08B3/08

CPC classification number: C02F1/70 ,  B01D19/0036 ,  B01F3/04269 ,  B01F2003/04404 ,  B01F2003/04914 ,  B08B3/12 ,  B08B9/0321 ,  C01B3/501 ,  C01B2203/0405 ,  C01B2203/0495 ,  C02F1/444 ,  C11D3/0052 ,  H01L21/67057

Abstract: 特定ガスを大気圧を超える加圧下に水に溶解して大気圧下の溶解度以上の濃度のガス溶解水とし、次いでガス溶解水を減圧して溶存ガスの一部を除去することを特徴とする、特定ガスを水に溶解したガス溶解洗浄水の製造方法；特定ガスを大気圧を超える加圧下に水に溶解するガス溶解装置（１４）と、ガス溶解装置からのガス溶解水を、ガス溶解時の圧力より低い圧力に減圧し、溶存ガスの一部を除去するガス部分除去装置（１５）とを有するガス溶解洗浄水の製造装置；及び、該ガス溶解洗浄水を用いる洗浄装置。真空ポンプなどの減圧機構を使用することなく、安全に所望のガス濃度のガス溶解洗浄水を製造することができ、使用済みのガス溶解洗浄水の水と特定ガスを再利用することができ、高度な清浄度を必要とする電子部品などの洗浄に好適に使用することができる。

Abstract translation: 一种生产其中溶解特定气体的洗涤水的方法，其特征在于包括在超过大气压的压力下加压下将特定气体溶解在水中以形成气体浓度不低于溶解度的气体的水溶液 在大气压下将气体减压并将溶液减压以除去部分溶解的气体; 用于生产其中溶解特定气体的洗涤水的设备，其包括用于在超过大气压力的压力下将特定气体溶解在水中的气体溶解单元（14）和气体分离单元（15） 将所得溶液从单元（14）减压至低于溶解气体以除去部分溶解气体的压力的压力; 以及使用洗涤水的清洁设备。 可以安全地生产以所需浓度溶解气体的洗涤水，没有任何减压系统如真空泵，同时洗涤水允许从废洗涤水中回收水和特定气体，并重新使用两者。 洗涤水适用于清洁需要高清洁度等的电子部件。

公开(公告)号：WO2010113863A1

公开(公告)日：2010-10-07

申请号：PCT/JP2010/055551

申请日：2010-03-29

Applicant: 栗田工業株式会社 ,  床嶋裕人 ,  瀬尾啓太

Inventor： 床嶋裕人 ,  瀬尾啓太

IPC: B01F1/00 ,  B01F5/06 ,  B08B3/08 ,  H01L21/304

CPC classification number: B08B3/08 ,  B01F3/04269 ,  B01F15/0022 ,  B01F15/00344 ,  B01F2003/04404 ,  B01F2215/0096 ,  Y10T137/0318 ,  Y10T137/8158 ,  Y10T137/86083

Abstract: 　溶存ガス濃度が低濃度（低飽和度）であるガス溶解水を安定して供給することが可能なガス溶解水供給装置及びガス溶解水の製造方法を提供する。ガス供給配管３１から気相室１３内に酸素ガスを供給すると共に、真空ポンプ３５を作動し、気相室１３内を真空排気する。また、原水配管２１から液相室１２内に原水を供給する。気相室１３内の酸素の一部は、気体透過膜１１を透過して液相室１２内の原水に溶存し、ガス溶解水が製造される。気相室１３内の酸素の残部は、凝縮水と共に真空ポンプ３５で吸引されて排気配管３３から排出される。ガス溶解水の溶存酸素濃度が溶存ガス濃度計２３で測定され、この測定濃度が目標値となるように、ガス流量制御弁３２の開度が調節される。

Abstract translation: 提供一种用于供给含有溶解气体的水的装置和含有溶解气体的水的制造方法，能够稳定地供给溶解气体浓度低（饱和度低）的溶解气体的水。 氧气通过气体供给管道（31）供给气相室（13），同时与真空泵（35）同时运转，对气相室（13）进行排气。 原水通过原水管道（21）供应到液相室（12）。 气相室（13）内的一些氧气透过透气膜（11）并溶解在液相室（12）内的原水中。 因此，产生含有溶解气体的水。 气相室（13）内的剩余氧气与冷凝水一起用真空泵（35）吸入，并通过排放管道（33）排出。 使用溶解气体计（23）测量含有溶解气体的水的溶解氧浓度，调节气体流量调节阀（32）的开度，使得测定浓度成为期望值。

公开(公告)号：WO2009113682A1

公开(公告)日：2009-09-17

申请号：PCT/JP2009/054933

申请日：2009-03-13

Applicant: 栗田工業株式会社 ,  床嶋裕人 ,  森田博志 ,  亀谷茂二

Inventor： 床嶋裕人 ,  森田博志 ,  亀谷茂二

IPC: B08B3/08 ,  H01L21/304

CPC classification number: C02F1/68 ,  C02F1/66 ,  C02F1/685 ,  C02F1/727 ,  C02F1/74

Abstract: 　高濃度のガス溶解水を効率よく製造し、ユースポイントに循環供給することができるガス溶解水供給システム。貯留槽１に、ガス（酸素）を溶解させた水で被洗浄物を洗浄した後の排水（洗浄排水）が配管１５を経由して貯留され、また、補給水配管１ａを経由して補給水が供給される。貯留槽１の水は圧送ポンプ２及び水温を一定に保つための熱交換器３を経由して、純化装置４に送られる。純化装置４で異物が除去された水は、流量計５を経て、脱気装置６へ送られる。その後、ガス溶解装置７でガスが溶解され、薬品が添加され、ユースポイントに供給される。

Abstract translation: 提供一种气体溶解的供水系统，其可以有效地产生高密度的气体溶解的水，并且可以将水循环并供应到使用点。 在通过管道（15）清洗被清洗物体后，用含有溶解气体（氧气）的水进行清洗，并将废水保留在废水（或漂洗废水）中。 供水通过供水管道（1a）进料。 储存槽（1）的水通过强制供给泵（2）和用于保持水温恒定的热交换器（3）送入净化装置（4）。 通过净化装置（4）清除异物的水通过流量计（5）送入脱气装置（6）。 之后，通过气体溶解装置（7）将气体溶解，向其使用之后，向其供给化学物质后的水。

公开(公告)号：WO2010113861A1

公开(公告)日：2010-10-07

申请号：PCT/JP2010/055549

申请日：2010-03-29

Applicant: 栗田工業株式会社 ,  床嶋裕人 ,  小林秀樹

Inventor： 床嶋裕人 ,  小林秀樹

IPC: C02F1/00 ,  G01N33/18

CPC classification number: C02F1/008 ,  C02F1/006 ,  C02F2103/04 ,  C02F2209/02 ,  C02F2209/04 ,  C02F2209/05 ,  C02F2209/11 ,  C02F2209/14 ,  C02F2209/20 ,  C02F2209/22 ,  G01N33/18 ,  G01N33/1846 ,  Y02A20/206 ,  Y10T137/0318 ,  Y10T137/8593

Abstract: 　複数の計器で超純水の水質を測定してモニタリングする場合に必要とされるモニタリング水量を低減することにより超純水製造装置の規模を抑え、これにより装置コストの低減を図る。超純水製造装置からユースポイントに送給される超純水の一部を分取して水質をモニタリングするに当たり、異種の水質測定計器を直列に２段以上連結してなるモニタリング装置に通水して水質をモニタリングする。直列に２段以上に連結された異種の水質測定計器に、超純水製造装置からユースポイントへの給水配管から分取した超純水を直列に通水するため、これらの計器における水質測定に必要なモニタリング水を共通とすることで、モニタリング水量の低減を図り、この結果、超純水製造装置の規模を抑えて装置コストの低減を図ることができる。

Abstract translation: 公开了一种超纯水生产设备，其中通过利用多个仪器测量其质量来减少监测超纯水所需的水量，从而降低超纯水生产单元的成本，从而减少超纯水的生产规模 水生产单位。 当通过将从超纯水生产单元进料的超纯水的一部分取样到使用点来监测水质时，使水流过由串联耦合的不同类型的水质量测量仪器组成的监测装置 两级以上，然后监测水质。 由于从用于从超纯水生产单元供水到使用点的管道采样的超纯水通过不同类型的两级或更多级联的水质测量仪器串联流动，所以需要监测水 用于测量这些仪器中的水质，从而减少监测用水量。 因此，超纯水生产单元的规模缩小，能够降低单位成本。

公开(公告)号：WO2009128327A1

公开(公告)日：2009-10-22

申请号：PCT/JP2009/055902

申请日：2009-03-25

Applicant: 栗田工業株式会社 ,  井田純一 ,  床嶋裕人

Inventor： 井田純一 ,  床嶋裕人

IPC: H01L21/304 ,  B08B3/08 ,  C11D7/02 ,  C11D17/08 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333 ,  G03F1/08

CPC classification number: C11D7/02 ,  C11D3/02 ,  C11D11/0047 ,  H01L21/02052

Abstract: 従来のガス溶解水に比べて格段に高い洗浄効果を発揮する電子材料用洗浄水を提供する。溶存ガスとして酸素とアルゴンとを含むガス溶解水よりなる電子材料用洗浄水であって、溶存酸素濃度が８ｍｇ／Ｌ以上であり、溶存酸素ガス量と溶存アルゴンガス量との合計に対して２体積％以上の溶存アルゴンガスを含む電子材料用洗浄水。この電子材料用洗浄水を用いて電子材料を洗浄する方法。酸素／アルゴンガス溶解水よりなる本発明の電子材料用洗浄水は、溶存ガス量が少なく、また、使用する薬品量も少ないものであっても高い洗浄効果を得ることができることから、安全に容易かつ安価に製造することができる。

Abstract translation: 提供用于电子材料的清洁水，其比具有溶解气体的常规水产生更高的清洁效果。 清洁水包含含有氧气和氩气作为溶解气体的水。 清洗水的溶解氧浓度为8mg / L以上，溶解的氩气的含量为溶解氧气量和溶解氩气的总和的2vol％以上 量。 还提供了用该清洁水清洁电子材料的方法。 即使当溶解气体的量少且化学品少量使用时，包含溶解有氧气和氩气的水的电子材料清洗水也能产生高的清洗效果。 因此，清洁水可以安全，容易和廉价地生产。

公开(公告)号：WO2010113918A1

公开(公告)日：2010-10-07

申请号：PCT/JP2010/055637

申请日：2010-03-30

Applicant: 栗田工業株式会社 ,  床嶋裕人 ,  池宮範人 ,  小林秀樹

Inventor： 床嶋裕人 ,  池宮範人 ,  小林秀樹

IPC: C02F1/58 ,  B01D19/00 ,  B01J31/28 ,  C02F1/20

CPC classification number: C02F1/705 ,  B01J23/42 ,  B01J31/08 ,  B01J2231/005 ,  C02F1/20 ,  C02F1/42 ,  C02F2001/422 ,  C02F2101/10 ,  C02F2303/18 ,  C02F2305/00

Abstract: 　％オーダーの比較的高濃度の過酸化水素含有排水であっても、連続運転で安定かつ効率的な処理を行える、構成が簡易で比較的小型な過酸化水素水処理装置を提供する。被処理水を過酸化水素分解触媒と接触させて、該被処理水中の過酸化水素を酸素と水とに分解して処理水を得る過酸化水素水処理装置において、該被処理水の導入口と処理水の排出口を有し、内部に過酸化水素分解触媒１が充填された過酸化水素分解反応器２と、該過酸化水素分解反応器２の流出水が導入される気液分離器３とを有し、該気液分離器３は、上部に排気配管１３が接続され、下部に排水配管１４が接続された筒状容器４よりなり、該筒状容器４の側部に、前記流出水が導入されることを特徴とする過酸化水素水処理装置。

Abstract translation: 提供了一种处理含有过氧化氢的水的装置，其具有简单的构造并且相对紧凑，并且可以连续地操作，以便以相对高的浓度依次以百分比的量级来稳定和有效地处理含有过氧化氢的废水。 用于处理含有过氧化氢的水的装置，其中待处理的水与过氧化氢分解催化剂接触以将包含在水中的过氧化氢分解成氧和水，从而获得处理过的水，其特征在于包括： 过氧化氢分解反应器（2），其具有待处理水的入口和处理水的出口，并保持装在其中的过氧化氢分解催化剂（1）; 和从二氧化碳分解反应器（2）排出的流出物的气液分离器（3）。 该装置的特征还在于，气液分离器（3）由具有连接到其上部的气体排出管道（13）的圆柱形容器（4）和与其下部连接的排水管道（14）构成， 并且将流出物引入圆筒形容器（4）的侧部。

公开(公告)号：WO2010013677A1

公开(公告)日：2010-02-04

申请号：PCT/JP2009/063352

申请日：2009-07-27

Applicant: 栗田工業株式会社 ,  床嶋裕人

Inventor： 床嶋裕人

IPC: C02F1/72 ,  B01D19/00 ,  B01D61/00 ,  B01J31/06 ,  C02F1/20 ,  C02F1/42 ,  C02F9/00

CPC classification number: C02F1/725 ,  B01D19/0031 ,  B01D2311/13 ,  B01J23/42 ,  B01J35/0013 ,  B01J37/16 ,  C02F1/20 ,  C02F1/70 ,  C02F1/727 ,  C02F2001/422 ,  C02F2001/425 ,  C02F2101/30 ,  C02F2103/04 ,  C02F2305/08

Abstract: 　開閉弁１ａ、５ａを開とし、開閉弁３ａ、１２ａを閉として、原水を原水供給配管１に通水する。酸素供給配管２の開閉弁２ａを開弁し、原水供給配管１内の原水に酸素を供給する。有機物及び酸素を含有する原水は、原水供給配管１を通って触媒充填カラム４に流入し、水素を吸着させた白金族金属触媒４ａと接触する。このように、原水中の有機物と白金族金属触媒４ａとを、溶存酸素と、金属触媒に吸着している水素の存在下で接触させるため、被処理水中の有機物を低消費エネルギーで簡便かつ高効率にて除去することができる。

Abstract translation: 通过打开开关阀（1a，5a）和关闭开关阀（3a，12a），使原水通过原水供给管（1）。 通过打开供氧管（2）的开关阀（2a），将氧气供给到原水供给管（1）中的原水。 所得到的含有机物和氧气的原水通过原水供给管（1），流入催化剂填充塔（4），与吸附有氢的铂族金属催化剂（4a）接触。 由于在溶解的氧和吸附在金属催化剂上的氢的存在下使原水中含有的有机物质与铂族金属催化剂（4a）接触，因此可以容易地除去被处理水中含有的有机物质 效率高，能耗低。

公开(公告)号：WO2007105441A1

公开(公告)日：2007-09-20

申请号：PCT/JP2007/053258

申请日：2007-02-22

Applicant: 栗田工業株式会社 ,  床嶋裕人 ,  森田博志

Inventor： 床嶋裕人 ,  森田博志

IPC: G01N7/14

CPC classification number: G01N7/14

Abstract: 　溶存ガス濃度を長期にわたって精度よく測定することができる溶存ガス濃度測定装置及び方法。タンク４、スペース２１Ｓ及びそれに連通する配管３，５，１２，１３内を満水状態とする。次いで、開閉弁２，６，１４を閉め、ストッパ２７を退動させると共に、モータ２４を駆動して所定の力をピストン２２に与える。これにより、タンク４、スペース２１Ｓ、配管３，５，１２，１３内が減圧状態となり、その中の水に溶解していた溶存気体が気泡となり、水中から離脱する。この気泡が生じることによりピストン２２が下方に移動する。ピストンの移動ストローク量を目盛板２６の目盛から読み取る。

Abstract translation: 一种溶解气体浓度测定装置及方法，其能够在长时间内高精度地测定溶解气体的浓度。 罐（4）和空间（21S）的内部和与其连通的管（3,5,12,13）填充有水。 随后，切换阀（2,6,14）关闭，止动器（27）退回。 电机（24）被驱动，从而向活塞（22）施加一定的力。 结果，罐（4）和空间（21S）与管道（3,5,12,13）的内部进入真空，使得溶解在其中的水中的任何气体形成气泡并从 水。 起泡使活塞（22）向下移动。 从表盘（26）的刻度读取活塞的移动行程。